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本实用新型属于太阳能电池片技术领域，公开了一种管式PECVD电极杆，其包括电极杆本体及电极头，电极杆本体用于连接射频电源，电极头的一端弹性连接于电极杆本体，电极头的另一端设有若干锥状凸起，用于与石墨舟抵接。通过设置电极杆本体及可相对电极杆本...该专利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司授权不得商用。