超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积方法以及通过该方法制造的发光显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积方法以及通过该方法制造的发光显示装置。超精细图案沉积设备包括基底基板、加热部、源部和图案引导件。加热部容置于基底基板并且产生热。源部设置在加热部上。图案引导件具有包括侧向凹入的下部和从下部突出的上部的开口，以将从源部发射的源引导至目标区域。

Ultra-fine pattern depositing equipment, method of ultra-fine pattern depositing using it and luminescent display device manufactured by this method

The invention relates to a superfine pattern deposition device, a superfine pattern deposition method using the device, and a luminescent display device manufactured by the method. Ultra-fine pattern deposition equipment includes substrate, heating part, source part and pattern guide part. The heating part is placed on the base plate and generates heat. The source part is arranged on the heating part. The pattern guide has an opening including a side concave lower part and an upper part protruding from the lower part to guide the source emitted from the source to the target area.

【技术实现步骤摘要】
超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积方法以及通过该方法制造的发光显示装置相关申请的交叉引用本申请要求于2017年10月31日提交的韩国专利申请第10-2017-0144249号的权益，该申请如同在此完全阐述一样通过引用并入本文用于所有目的。
本专利技术涉及超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积方法以及通过超精细图案沉积方法制造的发光显示装置。
技术介绍
随着信息技术的发展，作为用户与信息之间的连接媒介的显示装置的市场正在增长。因此，越来越多地使用诸如有机发光显示器、液晶显示器、电泳显示器和量子点显示器的各种类型的显示装置。在制造显示装置时，薄膜形式的结构由沉积设备形成。传统的图案沉积设备基于精细的金属掩模。然而，传统的图案沉积设备由于掩模阴影的相当大的偏差(由于掩模的开口的结构阻挡待沉积在基板上的源)而增加了图案尺寸容差。此外，传统的图案沉积设备存在关于掩模中心的下垂和由此导致的精度降低的问题，因此无法沉积超精细(超精细间距)图案。因此，需要一种用于实现超精细(超精细间距)图案以实现大尺寸显示面板的沉积设备。
技术实现思路
在一方面中，本专利技术提供了一种超精细图案沉积设备，其包括基底基板、加热部、任选的源部和图案引导件。加热部容置于基底基板并且产生热。源部在沉积过程开始前设置在加热部上。图案引导件具有包括侧向凹入的下部和从下部突出的上部的开口，以便将从源部发射的源引导至目标区域。在另一方面中，本专利技术提供一种使用超精细图案沉积设备的超精细图案沉积方法，所述超精细图案沉积设备包括：容置于基底基板并且产生热的加热部，设置在加热部的源部，以及图案引导件，该图案引导件具有包括侧向凹入的下部和从下部突出的上部的开口，以便将从源部发射的源引导至目标区域。超精细图案沉积方法包括：将超精细图案沉积设备布置在目标基板下方；布置超精细图案沉积设备和目标基板并将超精细图案沉积设备和目标基板对准；以及向所述加热部供给电压，使得所述源沉积在所述目标基板的子像素的发光区域上以形成图案。在另一方面中，本专利技术提供了一种通过超精细图案沉积方法制造的发光显示装置。在还一方面中，本专利技术提供了超精细图案沉积设备，其包括：基底基板；设置在基底基板上或者至少部分地嵌入基底基板中的加热部，其中所述加热部包括配置成根据从外部施加的电压而产生热以提供加热图案的加热器，从而加热靠近所述加热部设置的源部。加热图案可以包括第一加热图案和具有与第一加热图案的温度不同的温度的第二加热图案。第一加热图案可以具有等于或高于允许源被发射的温度，而第二加热图案可以具有低于允许源被发射的温度。超精细图案沉积设备还可包括图案引导件，所述图案引导件具有包括侧向凹入的下部和从下部突出的上部的开口，以便将从源部发射的源引导至目标区域。超精细图案沉积设备还可包括以下中的一者或更多者：设置在所述图案引导件上的涂层；用于减少传递到所述图案引导件的热或使所述图案引导件保持在低于所述加热部的温度的冷却部；设置在所述加热部并且传递热的导热层；设置在所述加热部上并且传递热的导热层和密封所述加热器与所述导热层的绝缘层二者。在还一方面中，本专利技术提供一种使用本专利技术的超精细图案沉积设备的超精细图案沉积方法，所述超精细图案沉积方法包括：提供已被施加有源部的超精细图案沉积设备；将超精细图案沉积设备布置在目标基板的下方或上方；将超精细图案沉积设备与目标基板对准；以及向加热部供给电压使得源沉积在目标基板上。附图说明被包括以提供对本专利技术的进一步理解并且被并入且构成本说明书的一部分的附图示出了本专利技术的实施方案并与说明书一起用于解释本专利技术的原理。图1是示意性示出传统的图案沉积设备的图。图2是示出根据本专利技术的第一实施方案的超精细图案沉积设备的图。图3是用于描述使用超精细图案沉积设备的图案沉积的示意图。图4示出用于描述从源预涂覆到图案沉积的过程的工艺流程。图5是示出根据本专利技术的第二实施方案的超精细图案沉积设备的图。图6是示出根据本专利技术的第三实施方案的超精细图案沉积设备和目标基板的图。图7和图8是用于描述当使用根据本专利技术的第四实施方案的超精细图案沉积设备沉积图案时提高源使用效率的方法的图。图9是示出根据本专利技术的第五实施方案的超精细图案沉积设备的一部分的第一示例性图。图10是示出根据本专利技术的第五实施方案的超精细图案沉积设备的一部分的第二示例性图。图11是示出根据本专利技术的第六实施方案的超精细图案沉积设备中包括的加热部的不同构造的图。图12是示出根据本专利技术的第六实施方案的超精细图案沉积设备中包括的加热部的布置的不同示例的图。图13和图14是根据本专利技术的第六实施方案的超精细图案沉积设备中包括的加热部的不同电极结构的平面图和截面图。具体实施方式现在将详细参照本专利技术的实施方案，其示例在附图中示出。在下文中，将参照附图描述本专利技术的具体实施方案。下面将描述的超精细(超精细间距)图案沉积设备可用于制造用于TV、视频播放器、个人计算机(PC)、家庭影院、智能手机、虚拟现实(VR)装置等的显示装置的显示面板。上述显示装置可以是有机发光显示器、液晶显示器、电泳显示器和量子点显示器。显示装置包括显示面板、驱动显示面板的驱动器和控制驱动器的控制器。存在用于显示装置的不同类型的显示面板。然而，显示装置的类似之处在于需要基板和在基板上形成为薄膜的结构以形成显示面板。因此，需要在基板上沉积薄膜特别是有机薄膜(有机层)的方法的任何显示装置可以通过本专利技术中描述的超精细图案沉积设备来制造，并且本专利技术不限于上述显示装置。此外，有机薄膜可以包括空穴传输层(HTL)、空穴注入层(HIL)、发光层(EML)、电子传输层(ETL)、电子注入层(EIL)、盖层(CPL)、电荷产生层(CGL)、电子阻挡层(EBL)、效率增强层(EEL)、RGB底层等。<相关技术>图1是示意性示出传统的图案沉积设备的图。如图1所示，传统的图案沉积设备基于精细金属掩模(FMM)(在下文中称为掩模)。掩模FMM具有开口OPN，用于仅在基板SUB上的特定区域上沉积从源存储单元SRP发射的有机源SRC。例如，如果已经形成绿色子像素G和蓝色子像素B，则如所示，掩模FMM的开口OPN仅露出与红色子像素R相对应的区域。然而，传统的图案沉积设备由于掩模阴影的相当大的偏差(由于掩模的开口的结构而阻挡待沉积在基板上的源)而增加了图案尺寸容差。此外，传统的图案沉积设备存在关于掩模FMM的中心下垂(由于掩模重量或重力的增加而引起的中心下垂)和由此导致的精度降低的问题，因此无法沉积超精细图案。因此，为了实现大尺寸的显示面板，需要与传统的图案沉积设备不同的沉积设备。<第一实施方案>图2是示出根据本专利技术的第一实施方案的超精细图案沉积设备的图，图3是用于描述使用超精细图案沉积设备的图案沉积的示意图，以及图4示出了用于描述从源预涂覆到图案沉积的过程的工艺流程。如图2所示，根据本专利技术的第一实施方案的超精细图案沉积设备100包括基底基板TSUB、加热部HTP、图案引导件PGP和源部SRC。基底基板TSUB用作超精细图案沉积设备100的基底。基板TSUB由透明材料形成。例如，基底基板TSUB可以由具有高透明度(透射率)的任何透明材料例如石英或非晶玻璃形成。然而，本专利技术不限于此。可以选择响应于向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超精细图案沉积设备，包括：基底基板；加热部，其容置于所述基底基板，配置成在沉积过程期间产生热用以加热；任选的设置在所述加热部的源部；以及图案引导件，其具有包括侧向凹入的下部和从所述下部突出的上部的开口，以便将从所述源部发射的源引导至目标区域。

【技术特征摘要】
2017.10.31 KR 10-2017-01442491.一种超精细图案沉积设备，包括：基底基板；加热部，其容置于所述基底基板，配置成在沉积过程期间产生热用以加热；任选的设置在所述加热部的源部；以及图案引导件，其具有包括侧向凹入的下部和从所述下部突出的上部的开口，以便将从所述源部发射的源引导至目标区域。2.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，还包括设置在所述图案引导件上的涂层；或者所述上部的最外端的尺寸不超过所述下部的最大尺寸的0.95倍、0.90倍、0.85倍、0.80倍、0.75倍、0.70倍、0.65倍、0.60倍、0.55倍或0.50倍。3.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，还包括用于减少传递至所述图案引导件的热或使所述图案引导件保持在比所述加热部低的温度下的冷却部。4.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，其中所述图案引导件由单层或至少两层形成。5.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，其中所述开口形成在所述图案引导件与所述基底基板之间的空间，所述空间的侧壁和顶部具有直线、非直线、斜线、圆形、椭圆形或多边形形式。6.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，其中所述加热部包括根据从外部供给的电压而产生热的加热器。7.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，其中所述加热部包括根据从外部供给的电压而产生热的加热器和设置在所述加热部上并且传递热的导热层。8.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，其中所述加热部包括根据从外部供给的电压而产生热的加热器、设置在所述加热部上并且传递热的导热层、以及密封所述加热器和所述导热层的绝缘层。9.根据权利要求8所述的超精细图案沉积设备，其中所述加热器、所述导热层和所述绝缘层中的至少一者位于所述基底基板的一侧上或所述基底基板的内部。10.根据权利要求6至9中任一项所述的超精细图案沉积设备，其中所述加热器以之字形、块形、线形、螺旋形和圆形中的至少一种形成。11.一种使用超精细图案沉积设备的超精细图案沉积方法，所述超精细图案沉积设备包括：容置于基底基板并且产生热的加热部、设置在所述加热部的源部、以及图案引导件，所述图案引导件具有包括侧向凹入的下部和从所述下部突出的上部的开口以将从所述源部发射的源引导至目标区域，所述超精细图案沉积方法包括：将所述超精细图案沉积设备布置在目标基板下方或上方；布置所述超精细图案沉积设备和所述目标基板并且将所述超精细图案沉积设备和所述目标基板对准；以及向所述加热部...

【专利技术属性】
技术研发人员：方炯锡，梁仲焕，崔东旭，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR