掩模片、蒸镀掩模、显示面板的制造方法技术

本发明专利技术的掩模片为蒸镀用的掩模片，其包括：能够被夹住的侧端部(G1)；和中间部(M)，该中间部(M)包括形成有多个蒸镀孔(H)的有效部(YA)和包围该有效部的边缘部(FA)，上述掩模片的特征在于：在上述边缘部形成有多个凹处(P)或多个贯通孔(D)。

Manufacturing Method of Mask, Steaming Mask and Display Panel

The mask sheet of the present invention is a mask sheet for evaporation plating, which comprises a side end (G1) capable of being clamped and a middle part (M), which includes an effective part (YA) forming multiple evaporation holes (H) and an edge part (FA) enclosing the effective part. The feature of the mask sheet is that a plurality of concaves (P) or multiple through holes (D) are formed at the above edges.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】掩模片、蒸镀掩模、显示面板的制造方法
本专利技术涉及蒸镀用的掩模片等。
技术介绍
例如在OLED(有机发光二极管)面板的制造工序中，使有机物穿过具有多个蒸镀孔的蒸镀掩模蒸镀在基板上，从而形成与多个蒸镀孔对应的有机物的图案。蒸镀掩模可通过将多个掩模片以架设的状态固定在框体上来制作。在专利文献1中，通过以包围掩模片的有效部(形成有蒸镀孔的蒸镀部)的方式设置肋，提高了掩模片的刚度。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-132096(公开日：2012年7月12日)
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题当像专利文献1那样以包围有效部的方式设置肋时，会在掩模片内产生刚度低的有效部和将该刚度低的有效部包围的刚度高的部分，例如像图13那样，发生掩模片在架设时变形的问题。用于解决技术问题的手段本专利技术的一个方式的掩模片是蒸镀用的掩模片，其包括：能够被夹住的侧端部；和中间部，该中间部包括形成有多个蒸镀孔的有效部和包围该有效部的边缘部，上述掩模片的特征在于：在上述边缘部形成有多个凹处或多个贯通孔。专利技术效果采用本专利技术，能够改善掩模片在架设时变形的问题。附图说明图1的(a)是表示OLED面板的制造方法的概要的流程图，(b)是表示OLED面板的结构的截面图。图2是表示OLED面板的蒸镀工序的示意图。图3是表示实施方式1的掩模片的结构的平面图。图4是表示实施方式1的图，(a)是包含掩模片的蒸镀掩模的平面图，(b)是表示掩模片的架设方法的平面图，(c)是(a)的c-c截面图，(d)是(a)的f-f截面图。图5是表示蒸镀掩模的制作方法的流程图。图6是表示实施方式1的图，(a)是掩模片的平面图，(b)是(a)的A-A截面图，(c)是(a)的B-B截面图。图7是表示实施方式1的图，(a)是掩模片的平面图，(b)是(a)的C-C截面图，(c)是(a)的D-D截面图。图8是对掩模片的平均厚度的概念进行说明的图，(a)和(b)是有效部的截面图，(c)和(d)是边缘部的截面图，(e)是有效部的平面图，(f)是边缘部的平面图。图9是表示实施例1的变形例的图，(a)是掩模片的平面图，(b)和(c)是边缘部的截面图，(d)是边缘部的平面图。图10是表示实施方式2的掩模片的结构的平面图。图11的(a)是表示实施方式2的掩模片的有效部的平面图，(b)是表示上述掩模片的边缘部的平面图，(c)是表示实施方式2的蒸镀掩模的结构的平面图。图12是表示实施例2的变形例的图，(a)～(c)是掩模片的平面图。图13是表示以往的掩模片的问题点的平面图。具体实施方式下面，基于图1～图13对本专利技术的实施方式进行说明。图1(a)是表示OLED面板的制造方法的概要的流程图，图1(b)是表示OLED面板的结构的截面图。如图1(a)和(b)所示，在步骤S1中，在基板2上形成TFT阵列层4(例如包括薄膜晶体管、信号线等)。在步骤S2中，使用蒸镀掩模，形成OLED元件层8(例如包括电功能层、发光层、阴极)。在该蒸镀工序中，例如像图2那样，使设置有具有多个贯通孔的掩模片10的蒸镀掩模与包含TFT阵列层4的基板5紧贴，在真空下，使在蒸镀源70中气化或升华后的蒸镀颗粒Z(例如有机发光材料)穿过掩模片10蒸镀在基板5上，从而以与掩模片10的贯通孔对应的图案形成蒸镀图案。然后，在步骤S3中，用保护玻璃7等将OLED元件层8密封，在步骤S4中进行分割(单片化)，形成OLED面板30。在步骤S5中，在OLED面板30上安装驱动器、偏光板、触摸面板等。〔实施方式1〕图3是表示实施方式1的掩模片的结构的平面图。如图3所示，实施方式1的掩模片10为长条状，作为母材，例如可以使用厚度10μm～50μm的不胀钢等。掩模片10的下表面为图2中的与蒸镀源70相对的一侧的面，掩模片10的上表面为图2中的与基板5相对的一侧的面。掩模片10包括：能够被夹住的2个侧端部G1、G2；和中间部M。中间部M包括：在长度方向上排列的多个有效部YA；和包围这些有效部YA的边缘部FA。在有效部YA形成有多个蒸镀孔H，各有效部相当于1块OLED面板的显示区域。即，从蒸镀源发射的蒸镀颗粒通过蒸镀孔H蒸镀在基板的显示区域。边缘部FA与将基板的显示区域包围的非显示区域(边框区域)重叠，蒸镀颗粒被边缘部FA遮断，不会到达非显示区域。在实施方式1中，为了使中间部M的刚度均匀化，如图3所示，在使有效部YA和边缘部FA的最大厚度与母材的厚度一致后，遍及边缘部FA的整个下表面，利用半蚀刻等形成了多个凹处P。图3是从掩模片上表面看而得到的图，蒸镀孔H的开口K形成在有效部YA的上表面。蒸镀孔H为从上表面的开口K越向下表面去，与片表面平行的截面越大的形状，下表面侧的开口kk(下表面蚀刻的区域)大于上表面侧的开口K(将在后面说明)。在图3中，在中间部M，为了使有效部YA与边缘部FA的刚度一定，对边缘部FA也实施了后述的加工。图4是表示实施方式1的图，(a)是包含掩模片的蒸镀掩模的平面图，(b)是表示掩模片的架设方法的平面图，(c)是(a)的c-c截面图，(d)是(a)的f-f截面图。如图4所示，实施方式1的蒸镀掩模20包括：框架(框体)12；沿框架12的纵向(掩模片的宽度方向)架设的多个支承片(suportsheet)13；沿框架12的横向(掩模片的长度方向)架设的多个盖片(coversheet)11a、11b；和多个掩模片10。在图4中，为了便于说明，只记载了1块掩模片10，但是实际上，可以设置所配置的面板的排数的掩模片10。在以往的掩模片中，对边缘部FA没有实施凹处P那样的加工，存在刚度低的有效部和刚度高的边缘部(有肋)，因此，在架设时会发生如图13所示的变形。但是，在实施方式1中，通过在边缘部FA设置凹处P，使边缘部FA的刚度与有效部YA的刚度一致，因此，如图4(b)那样能够抑制架设时的中间部M(特别是有效部YA)的变形，容易对掩模片进行形状修正和位置修正。蒸镀掩模的制作方法如图5所示。如图4(a)、(b)和图5所示，将支承片13的各端部嵌入在框架12上设置的凹部并焊接(步骤Sa)，进而，将盖片11a、11b的各端部嵌入在框架12上设置的凹部R使得盖片11a、11b的各端部不从凹部R的开口露出，并焊接(步骤Sb)。接着，将两侧端部G1、G2放入夹具(gripper)D1～D4，将掩模片10以与盖片11重叠的方式配置在掩模框架上(步骤Sc)。如图4(a)、(b)所示，侧端部G1、G2各自的中央部为缺口的形状，将侧端部G1的位于缺口的两侧的部分夹入夹具D1、D2，将侧端部G2的位于缺口的两侧的部分夹入夹具D3、D4。接着，利用夹具D1～D4对掩模片施加张力，分别独立地调整夹具D1～D4，从而进行掩模片10相对于框架12的对位(步骤Sd)。此时，以掩模片10的有效部YA的蒸镀孔H的开口K的位置与基板5的像素区域(发光区域)一致的方式进行对位，但是，当有效部YA的变形大时，这会变得困难。当对位结束时，使用激光将掩模片10的焊接部Y焊接在框架12上(步骤Se)。具体而言，进行多个点焊接。由此，如图4(c)和(d)所示，通过掩模片10和框架12的熔解形成多个焊接点。当焊接结束时，将两侧端部G1、G2的夹具D1～D4解除(步骤Sf)，切掉掩模片10的焊接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩模片，其为蒸镀用的掩模片，包括：能够被夹住的侧端部；和中间部，该中间部包括形成有多个蒸镀孔的有效部和包围该有效部的边缘部，所述掩模片的特征在于：在所述边缘部形成有多个凹处或多个贯通孔。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种掩模片，其为蒸镀用的掩模片，包括：能够被夹住的侧端部；和中间部，该中间部包括形成有多个蒸镀孔的有效部和包围该有效部的边缘部，所述掩模片的特征在于：在所述边缘部形成有多个凹处或多个贯通孔。2.如权利要求1所述的掩模片，其特征在于：所述多个蒸镀孔的开口图案由第一单位图案重复构成，所述多个凹处的开口图案由第二单位图案重复构成，第二单位图案中凹处的开口所占的面积比例大于第一单位图案中蒸镀孔的开口所占的面积比例。3.如权利要求2所述的掩模片，其特征在于：将连结相邻2个蒸镀孔的开口的中心的线段设为第一开口线，将长度与该第一开口线相同且不通过蒸镀孔的开口的线段设为第一间隙线时，所述边缘部的与第二单位图案对应的部分的平均厚度小于包含所述第一间隙线的截面的平均厚度。4.如权利要求3所述的掩模片，其特征在于：所述边缘部的与第二单位图案对应的部分的平均厚度大于包含所述第一开口线的截面的平均厚度。5.如权利要求2所述的掩模片，其特征在于：所述有效部的与第一单位图案对应的部分的平均厚度和所述边缘部的与第二单位图案对应的部分的平均厚度相等。6.如权利要求3所述的掩模片，其特征在于：将连结相邻2个凹处的开口的中心的线段设为第二开口线，将长度与该第二开口线相同且不通过凹处的开口的线段设为第二间隙线时，包含所述第一开口线的截面的平均厚度＜包含所述第二开口线的截面的平均厚度＜包含所述第一间隙线的截面的平均厚度以及包含所述第二间隙线的截面的平均厚度。7.如权利要求1～6中任一项所述的掩模片，其特征在于：将所述掩模片的与蒸镀源相对的一侧的表面设为下表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：山渕浩二，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP