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本发明涉及超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积方法以及通过该方法制造的发光显示装置。超精细图案沉积设备包括基底基板、加热部、源部和图案引导件。加热部容置于基底基板并且产生热。源部设置在加热部上。图案引导件具有包括侧向凹入的下部和从下部...
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