用于在真空腔室内运输载体的设备及用于在真空腔室内运输载体的方法技术

提供用于在真空腔室(101)内运输载体(10)的设备(100)。设备(100)包含第一运输系统(112)，经构造以在运输方向(T)上沿着第一运输路径(T1)非接触地运输载体，及路径切换组件(150),具有载体保持部(151)，经构造以机械接触载体(10)以用于使载体在路径切换方向(S)上移动远离第一运输路径(T1)。进一步地，描述包含路径切换组件的系统，以及用于在真空腔室内运输载体的方法。

Equipment for transporting carrier in vacuum chamber and method for transporting carrier in vacuum chamber

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于在真空腔室内运输载体的设备及用于在真空腔室内运输载体的方法
本公开内容的实施方式有关于一种用于在真空腔室内运输载体的设备、一种用于真空处理基板的系统以及一种用于在真空腔室内运输载体的方法。本公开内容的实施方式特别有关于一种真空系统，所述真空系统具有沉积设备并具有路径切换组件，所述路径切换组件经构造以在真空腔室内的第一运输路径与第二运输路径之间移动载体。具体而言，描述了在真空腔室中切换载体的轨道的方法。
技术介绍
用于基板上的层沉积的技术包含例如溅射沉积(sputterdeposition)、蒸镀(evaporation)及化学气相沉积(chemicalvapordeposition；CVD)。溅射沉积工艺可用于使材料层沉积于基板上，例如绝缘材料层或导体材料层。为了沉积多层堆叠，可使用直列式排列(in-linearrangement)处理模块。串联式处理系统包含多个后续处理模块，例如沉积模块与可选地其他处理模块，例如清洁模块及/或蚀刻(etching)模块，其中处理方面在处理模块中相继进行，使得可在串联式处理系统中连续地或准连续地(quasi-continuously)处理多个基板。基板可由载体承载，即用于承载所述基板的承载装置。载体典型使用运输系统而被运输通过真空系统。所述运输系统可经构造以沿着一条或多条运输路径输送具有基板定位其上的载体。在真空腔室内可以彼此相邻地设置至少两条运输路径，例如用于在向前方向上运输载体的第一运输路径，而用于在与向前方向相反的返回方向上运输载体的第二运输路径。运输系统可有辊(rollers)或其他支撑件，所述辊或其他支撑件经构造以沿着运输路径和/或从一个运输路径至另一运输路径(也称为“路径切换”或“轨道切换”)支撑与输送载体。在运输载体期间，载体与载体支撑件之间的摩擦可产生可能对真空系统内的真空状态有负面影响的粒子。这些粒子可污染沉积于基板上的层，并且可使沉积层的品质下降。鉴于以上，需要减少真空腔室内粒子产生的用于在真空腔室内运输载体的新设备、用于真空处理基板的新系统、及用于在真空腔室内运输载体的新方法。也需要提供在真空腔室内的至少两条运输路径之间便利的路径切换的新设备、系统与方法。
技术实现思路
鉴于以上，提供用于在真空腔室内运输载体的设备、用于真空处理基板的系统和用于在真空腔室内运输载体的方法。本公开内容的其他方面、益处和特征从权利要求书、说明书和所附附图中是显而易见的。根据本公开内容的一个方面，提供用于在真空腔室内运输载体的设备。所述设备包含第一运输系统，所述第一运输系统经构造以在运输方向上沿着第一运输路径非接触地运输载体。所述设备更包含路径切换组件，所述路径切换组件包含载体保持部，所述载体保持部经构造以机械接触载体，以用于在路径切换方向上将载体移动远离第一运输路径。根据本公开内容的一个方面，提供用于在真空腔室内运输载体的设备。所述设备包含在运输方向上沿着第一运输路径设置的第一磁悬浮系统与包含载体保持部的路径切换组件，所述载体保持部在路径切换方向上是可移动的，且所述载体保持部包含载体接触部。根据本公开内容的另一个方面，提供用于真空处理基板的系统。所述系统包含真空腔室、根据本文描述的任意实施方式的设备、和一个或多个处理工具，所述一个或多个处理工具布置于真空腔室内，并从由以下项所组成的群组中选择：沉积源(depositionsources)、蒸发源(evaporationsources)、溅射源(sputtersources)、表面处理工具(surfacetreatmenttools)、加热装置、清洁装置、蚀刻工具(etchingtools)及上述项的组合。所述设备包含第一运输系统，所述第一运输系统经构造以在运输方向上沿着第一运输路径非接触地运输载体，和路径切换组件，所述路径切换组件包含载体保持部，所述载体保持部经构造以机械接触载体，以用于在路径切换方向上将所述载体移动远离所述第一运输路径。根据本公开内容的又一个方面，提供用于在真空腔室内运输载体的方法。所述方包含在运输方向上沿着第一运输路径非接触地运输一载体，将载体带至与路径切换组件的载体保持部接触，及在路径切换方向上转移由载体保持部保持的载体，使载体远离第一运输路径，所述路径切换方向横向于运输方向。实施方式也针对执行所公开方法的设备，且包含用于执行每个所描述的方法方面的设备部件。这些方法方面可通过硬件元件、由适当软件程序化的计算机、两者的任意组合或任意其他方法执行。再者，根据本公开内容的实施方式也针对用于操控所述设备的方法。用于操控所述设备的方法包含用于执行所述设备每个功能的方法方面。附图说明为了使本公开内容的上述特征可被详细了解，可参照实施方式来获得以上简要概述的本公开内容的更具体的描述。附图有关于本公开内容的实施方式，且说明如下：图1绘示根据本文描述的实施方式的用于运输载体的设备的剖视示意图；图2绘示根据本文描述的实施方式的包含用于运输载体的设备的系统的俯视图；图3A至图3C绘示根据本文描述的实施方式的使用设备运输载体的方法的一系列阶段；图4绘示根据本文描述的实施方式的用于运输载体的设备的剖视示意图；图5绘示根据本文描述的实施方式的用于运输载体的设备的剖视示意图；图6绘示根据本文描述的实施方式的用于运输载体的设备的剖视示意图；图7绘示根据本文描述的实施方式的用于运输载体的设备的剖视示意图；图8绘示根据本文描述的实施方式的用于运输载体的设备的剖视示意图；图9A至图9D绘示根据本文描述的实施方式的使用设备运输载体的方法的一系列阶段；及图10绘示根据本文描述的实施方式的用于运输载体的方法的流程图。具体实施方式现在将详细说明本公开内容的各种实施方式，这些实施方式的一个或多个示例描绘于附图中。以下对附图的叙述中，相同的元件符号代表相同元件。通常，仅描述个别实施方式的差异之处。每个示例是以用于解释本公开内容的方式而提供的，且并不意味着对本公开内容的显示。进一步地，作为一个实施方式的部分而被描绘或叙述的特征可用于其他实施方式或与其他实施方式结合，以再产生另外的实施方式。本说明意欲包含这些调整及变动。载体可用于在真空腔室内沿着传输路径承载基板。载体可在运输期间及/或在真空腔室内将涂布材料沉积于基板上的期间保持基板。例如，基板可以实质垂直的取向保持在载体的基板保持表面处，且保持基板的载体可被运输通过真空腔室。本文使用的“载体”可为经构造以承载基板的基板载体。或者，载体可经构造以承载和运输不同物体，例如掩模或屏蔽装置。用于在真空腔室内运输载体的设备可设置一个、两个或更多个运输路径，其中所述载体可沿着运输路径被移动或输送。第一运输路径T1可相邻于第二运输路径T2而延伸，例如实质平行于第一运输路径T1。第一运输路径T1及/或第二运输路径T2可在运输方向T延伸，运输方向T可为实质水平方向。第一运输路径T1及第二运输路径T2可在路径切换方向S上彼此水平偏移，路径切换方向S上的第一运输路径T1及第二运输路径T2之间的距离可为10厘米(cm)或更大，特别是20厘米或更大，且/或为100厘米或更小，特别是50厘米或更小。本文描述的设备100可为真空处理系统(例如串联式处理系统)的一部分，使得基板可连续地或准连续地处理。设备100可经构本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于在真空腔室(101)内运输载体(10)的设备(100)，包含：第一运输系统(112)，所述第一运输系统(112)经构造以在运输方向(T)上沿着第一运输路径(T1)非接触地运输所述载体；及路径切换组件(150)，包含载体保持部(151)，所述载体保持部(151)经构造以机械接触所述载体(10)，以用于在路径切换方向(S)上将所述载体移动远离所述第一运输路径(T1)。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于在真空腔室(101)内运输载体(10)的设备(100)，包含：第一运输系统(112)，所述第一运输系统(112)经构造以在运输方向(T)上沿着第一运输路径(T1)非接触地运输所述载体；及路径切换组件(150)，包含载体保持部(151)，所述载体保持部(151)经构造以机械接触所述载体(10)，以用于在路径切换方向(S)上将所述载体移动远离所述第一运输路径(T1)。2.根据权利要求1所述的设备，更包含第二运输系统(114)，所述第二运输系统(114)经构造以沿着从所述第一运输路径(T1)水平偏移的第二运输路径(T2)非接触地运输所述载体，其中所述载体保持部(151)在所述路径切换方向(S)上是可移动的，以用于将所述载体从所述第一运输路径(T1)转移至所述第二运输路径(T2)和处理位置(T3)中的至少一者，所述处理位置(T3)从所述第一运输路径与所述第二运输路径水平偏移。3.根据权利要求1或2所述的设备，其中所述载体保持部(151)在垂直方向(V)上是可移动的。4.根据权利要求1-3任一项所述的设备，其中所述载体保持部(151)包含以下安装件中的至少一者：经构造以与所述载体的侧表面接合的安装件、经构造以与所述载体的顶表面接合的安装件、和经构造以与所述载体的内表面接合的安装件。5.根据权利要求1-4任一项所述的设备，其中所述载体保持部(151)包含支撑表面，以用于从下方支撑所述载体。6.根据权利要求1-5任一项所述的设备，其中所述载体保持部(151)包含磁性卡盘。7.根据权利要求1-6任一项所述的设备，其中所述载体保持部(151)包含机械安装件，特别是用于将所述载体悬挂在所述载体保持部的挂钩。8.根据权利要求1-7任一项所述的设备，其中所述第一运输系统(112)包含下轨道区(121)、上轨道区(122)和致动器(125)，所述致动器(125)经构造以调整所述下轨道区(121)和所述上轨道区(122)之间的距离。9.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥利弗·海姆尔，克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼，拉尔夫·林登贝格，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US