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提供用于在真空腔室(101)内运输载体(10)的设备(100)。设备(100)包含第一运输系统(112)，经构造以在运输方向(T)上沿着第一运输路径(T1)非接触地运输载体，及路径切换组件(150),具有载体保持部(151)，经构造以机械接...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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