一种MWT太阳能电池的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种电池的制备方法，尤其是一种MWT太阳能电池的制备方法，属于MWT太阳能电池组件加工技术领域。本发明专利技术MWT太阳能电池的制备方法，包括将硅片经打孔，制绒和扩散步骤后刻蚀再经过氧化退火，背钝化，正面镀膜，激光开槽，丝网印刷和烧结形成欧姆接触的步骤，最终得到MWT太阳能电池；所述刻蚀步骤去除硅片背面及四边侧面的磷硅玻璃，再加反应液进行碱抛光，得到反射率为40‑50％的背表面。本发明专利技术中槽式碱抛光工艺的硅片背面抛光效果比酸刻蚀工艺更优越，较低的减重，降低碎片风险；更高的背面反射率，提高长波段的内部反射效果，有利于钝化膜Al2O3的均匀沉积，提高对硅片的钝化效果，与现有技术相比，电池效率增益至少0.15％。

Preparation of a MWT Solar Cell

【技术实现步骤摘要】
一种MWT太阳能电池的制备方法
本专利技术涉及一种电池的制备方法，尤其是一种MWT太阳能电池的制备方法，属于MWT太阳能电池组件加工

技术介绍
金属穿孔卷绕硅太阳能电池(MWT)因其效率高，遮光面积小以及更好的外观特点以及易于现有传统晶硅工艺整合受到越来越多的关注。MWT硅太阳能电池是通过激光钻孔将正面收集的能量穿过电池转移至电池背面，以减少遮光面积来达到提高转换效率的目的。例如CN201410016190.6提供了一种MWT的低成本制备方法，在传统晶硅电池的制作流程上增加两道工序，即：制绒前激光打孔和扩散后掩膜印刷。在目前已有的硅基体高效电池技术中，钝化发射极及背表面电池(PERC电池)通过增加背面Al2O3层的钝化，将提升电池效率的工艺移至电池背面，因此其与其他的高效电池技术及新的提高电池效率的制造工艺有非常好的兼容性。PERC电池可与其他高效技术同时整合在硅太阳电池的生产制造中。如CN201711469159.8，提供了MWT电池与PERC工艺叠加的制备方法，实现电池效率的提升。但PERC电池镀Al2O3钝化工艺对电池背面洁净度要求非常高，故刻蚀清洗工艺至关重要，而M本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MWT太阳能电池的制备方法，其特征在于：包括将硅片经打孔，制绒和扩散步骤后刻蚀再经过氧化退火，背钝化，正面镀膜，激光开槽，丝网印刷和烧结形成欧姆接触的步骤最终得到MWT太阳能电池；所述刻蚀步骤去除硅片背面及四边侧面的磷硅玻璃，再加反应液进行碱抛光，得到反射率为40‑50％的背表面。

【技术特征摘要】
1.一种MWT太阳能电池的制备方法，其特征在于：包括将硅片经打孔，制绒和扩散步骤后刻蚀再经过氧化退火，背钝化，正面镀膜，激光开槽，丝网印刷和烧结形成欧姆接触的步骤最终得到MWT太阳能电池；所述刻蚀步骤去除硅片背面及四边侧面的磷硅玻璃，再加反应液进行碱抛光，得到反射率为40-50％的背表面。2.根据权利要求1所述MWT太阳能电池的制备方法，其特征在于：刻蚀步骤中所述反应液为KOH、NaOH、有机碱中的一种和抛光剂组合，碱抛光的反应温度在50-70℃，反应时间为100-500s。3.根据权利要求1所述MWT太阳能电池的制备方法，其特征在于：刻蚀步骤中用体积比为2-5％的HF溶液去除磷硅玻璃。4.根据权利要求1所述MWT太阳能电池的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：第一步、打孔，在电池片上按照N×N孔洞点阵图形进行激光打孔；第二步、制绒，采用常规化学清洗和织构化方法进行清洗和织构化，去除硅片表面的损伤层，降低光生载流子的复合速率；同时在硅片表面形成提高光吸收的均匀绒面；第三步、扩散，将制绒后硅片背对背放置进行单面磷扩散；第四步、刻蚀，在水膜保护下，去除扩散后的硅片背面及四边侧面的磷硅玻璃，再对硅片进行碱抛光，获得反射率为40-50％的背表面；第五步、氧化退火，将刻蚀后的硅片背对背放置于石英舟中，进行氧化退火；第六步、背钝化，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓瑞，吴仕梁，路忠林，张凤鸣，
申请(专利权)人：江苏日托光伏科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32