一种新型电致变色薄膜的制作方法技术

本发明专利技术属于电致变色无机薄膜技术，为电致变色薄膜的制作方法，步骤如下：洗净的透明导电材料置于磁控溅射腔室内，控制好溅射腔室的参数，控制好分子泵与真空溅射腔室之间的打通角度；对第一层膜生长的金属靶材进行预溅射处理，打开基片挡板进行第一层膜的溅射生长处理，控制溅射功率和时间，让第一层膜涨到合适厚度；在第一层无机电致变色薄膜的基础上进行第二层膜生长，对第二层膜溅射的金属靶材进行预溅射处理，控制让第二层膜涨到合适的厚度。本发明专利技术利用磁控溅射的方法，在第一层电致变色薄膜基础上涨一层具有电致变色性能的保护膜或良好离子传导能力的保护膜，以获得新型结构的电致变色薄膜，有效提高了单膜电致变色薄膜的电致变色性能。

A New Fabrication Method of Electrochromic Thin Films

The invention belongs to the electrochromic inorganic film technology, and is a method for making electrochromic film. The steps are as follows: the cleaned transparent conductive material is placed in the magnetron sputtering chamber, the parameters of the sputtering chamber are controlled, the penetration angle between the molecular pump and the vacuum sputtering chamber is controlled, the metal target growing on the first layer is pre-sputtered, and the baffle of the substrate is opened for the first layer. The sputtering treatment can control the sputtering power and time to increase the first layer to the appropriate thickness; the second layer is grown on the basis of the first layer of inorganic electrochromic film, and the metal target sputtered by the second layer is pre-sputtered to control the rise of the second layer to the appropriate thickness. The invention uses magnetron sputtering method to add a protective film with electrochromic performance or good ionic conductivity on the basis of the first layer of electrochromic film, so as to obtain a new structure of electrochromic film, effectively improving the electrochromic performance of single film electrochromic film.

【技术实现步骤摘要】
一种新型电致变色薄膜的制作方法
本专利技术涉及电致变色无机薄膜材料制备技术，具体为一种新型电致变色薄膜的制作方法。
技术介绍
近些年以来，可持续性发展与节约能源、环境保护等这些新能源科学技术的领域已经成为当今时代最值得研究与最重要的课题。但是目前，人类的生活与生产方式还是主要以石油、煤、天然气等不可再生能源为主，在各种新能源尚未得到普及使用的时候，采取各种措施降低能源的消耗显得尤其重要。而每年建筑能耗逐年升高，通过采取有效的办法减少因为门、窗户等建筑用具而损失的能量显得尤其重要，而提高窗户所损失的能量，提高窗户的保温性能，遮光性逐渐成为一个人们关注的新焦点。与此同时，节能玻璃、智能窗户的出现让人们看到了一个节能减排的新希望。电致变色智能窗户可以实现对室外照射进来的光的透射与吸收等光学性能的调整，以解决由于外来环境的影响对室内所造成的能源损耗的问题。除了用在建筑物的玻璃上，这些电致变色材料还可以应用于汽车的防弦后视镜，以减低交通事故的意外发生，应用于汽车的挡风玻璃、车窗玻璃上，以减低因为外来照射光线而导致车内保温性能的损失。电致变色材料还可以应用于各类型的显示器、衣物之类的随身物体。电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型电致变色薄膜的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：洗净的透明导电材料置于磁控溅射腔室内，管路抽真空，控制好溅射腔室里的气体总流量以及氧气与氩气的比例含量；步骤2：将溅射腔室温度调节在所需范围内，控制好分子泵与真空溅射腔室之间的打通角度，将溅射腔室内气体压强控制在所需范围内；步骤3：对所需要进行第一层膜生长的金属靶材进行预溅射处理，用于去除原来靶材表面上的杂质，然后打开基片挡板进行第一层膜的溅射生长处理，控制溅射功率和溅射时间，让第一层膜涨到合适的厚度；步骤4：将要生长的第二层膜的基片置于与第一层膜生长的基片同一个位置，在第一层所生长的无机电致变色薄膜的基础上进行第二层膜的生...

【技术特征摘要】
1.一种新型电致变色薄膜的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：洗净的透明导电材料置于磁控溅射腔室内，管路抽真空，控制好溅射腔室里的气体总流量以及氧气与氩气的比例含量；步骤2：将溅射腔室温度调节在所需范围内，控制好分子泵与真空溅射腔室之间的打通角度，将溅射腔室内气体压强控制在所需范围内；步骤3：对所需要进行第一层膜生长的金属靶材进行预溅射处理，用于去除原来靶材表面上的杂质，然后打开基片挡板进行第一层膜的溅射生长处理，控制溅射功率和溅射时间，让第一层膜涨到合适的厚度；步骤4：将要生长的第二层膜的基片置于与第一层膜生长的基片同一个位置，在第一层所生长的无机电致变色薄膜的基础上进行第二层膜的生长；步骤5：控制好第二次溅射腔室里的气体总流量以及氧气与氩气的比例含量，调节腔室温度，并控制好腔室内的气体压强；步骤6：对所需要进行第二层膜溅射的金属靶材进行预溅射处理，用于去除原来靶材表面上的杂质，然后打开基片挡板进行第二层膜的溅射生长处理，溅射时间控制到让第二层膜涨到合适的厚度；所述第二层膜为具有电致变色性能的保护膜或良好离子传导能力的保护膜。2.根据权利要求1所述的新型电致变色薄膜的制作方法，其特征在于，步骤3对第一层膜生长的金属钨靶材进行预溅射处理，或对第一层膜生长的金属钨靶材与金属钛靶材进行共溅射的预溅射处理。3.根据权利要求2所述的新型电致变色薄膜的制作方法，其特征在于，预溅射处理时间为10～15min。4.根据权利要求2所述的新型电致变色薄膜的制作方法，其特征在于，当步骤3对第一层膜生长的金属钨靶材进行预溅射处理时，溅射功率控制在50w～200w之间,溅射时间在10min～1h之间,把要生长的WO3膜厚控制在100n...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨恢东，夏锦辉，李俊魁，王菁，彭斯冉，张婧妍，邵海平，
申请(专利权)人：暨南大学，广东谛思纳为新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44