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本发明属于电致变色无机薄膜技术,为电致变色薄膜的制作方法,步骤如下:洗净的透明导电材料置于磁控溅射腔室内,控制好溅射腔室的参数,控制好分子泵与真空溅射腔室之间的打通角度;对第一层膜生长的金属靶材进行预溅射处理,打开基片挡板进行第一层膜的溅射...该专利属于暨南大学;广东谛思纳为新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过暨南大学;广东谛思纳为新材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明属于电致变色无机薄膜技术,为电致变色薄膜的制作方法,步骤如下:洗净的透明导电材料置于磁控溅射腔室内,控制好溅射腔室的参数,控制好分子泵与真空溅射腔室之间的打通角度;对第一层膜生长的金属靶材进行预溅射处理,打开基片挡板进行第一层膜的溅射...