一种铝旋转靶材及其制造方法技术

本发明专利技术提出了一种铝旋转靶材的制造方法，包括S1、制造平均粒径D50为10‑80μm的铝粉末；S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管进行表面喷砂处理；S3、冷喷涂成型：将制造的铝粉末装入冷喷涂送粉器内，将处理后的靶材基管安装在传动设备上，使其自转，冷喷涂喷枪与靶材基管做水平方向相对运动，制得靶材；S4、喷涂好的靶材进行机加工成所需要的尺寸和精度，制得成品。本发明专利技术制造铝旋转靶材的制造工艺简单，制造得到的铝旋转靶材的密度远高于传统热喷涂技术，相对密度可达到95‑99％，而氧含量低于传统热喷涂技术，晶粒组织均匀细化，良率高，粉末利用率高，易于规模化生产。

An Aluminum Rotary Target and Its Manufacturing Method

The invention provides a manufacturing method of aluminium rotary target, which includes S1, aluminium powder with average diameter D50 of 10 80 micron, S2, sand blasting treatment on the surface of target base pipe with stainless steel tube or titanium tube as target base pipe, S3, cold spraying forming: the aluminium powder is loaded into cold spraying powder feeder, and the treated target base pipe is installed on the transmission equipment to rotate itself. The cold spraying gun moves horizontally relative to the base tube of the target to produce the target; S4, the sprayed target is machined to the required size and precision to produce the finished product. The manufacturing process of the aluminium rotating target is simple, the density of the aluminium rotating target is much higher than that of the traditional thermal spraying technology, the relative density can reach 95 99%, while the oxygen content is lower than that of the traditional thermal spraying technology, the grain structure is uniformly refined, the yield is high, the powder utilization ratio is high, and the large-scale production is easy.

【技术实现步骤摘要】
一种铝旋转靶材及其制造方法
本专利技术涉及一种旋转靶材，特别涉及一种铝旋转靶材，本专利技术还涉及该铝旋转靶材的制造方法。
技术介绍
由于光学玻璃、触摸屏等行业的快速发展，对铝旋转靶材的需求量越来越大，另外对对铝旋转靶材的品质要求也越来越高。现有的铝靶在镀膜过程中利用率不高，造成旋转靶材的生产成本居高不下。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提出一种铝旋转靶材及其制造方法。该方法制造得到的铝旋转靶材品质好，靶材在镀膜过程中的利用率高，大幅度降低旋转靶材的生产成本。为解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案予以实现：一种铝旋转靶材的制造方法，包括如下步骤：S1、制造平均粒径D50为10-80μm的铝粉末；S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管进行表面喷砂处理；S3、冷喷涂成型：将制造的D50为1-120μm的铝粉末装入冷喷涂送粉器内，将处理后的靶材基管安装在传动设备上，使其自转，冷喷涂喷枪与靶材基管做水平方向相对运动，制得靶材；S4、喷涂好的靶材进行机加工成所需要的尺寸和精度，制得成品。作为优选地，所述步骤S1中，铝粉末粒径D50为20-60μm。作为优选地，所述步骤S2中，靶材基管喷砂粗化处理之前需要进行预处理，包括去除基管表面污垢和氧化层。作为优选地，所述步骤S2中，靶材基管喷砂粗化处理后的基管表面粗糙度为Ra1.5～500μm。作为优选地，所述步骤S3中，冷喷涂成型工艺为：主气压力为2-10Mpa，送粉气压力为2.1-10.1Mpa，主气加热温度300-1000℃，喷涂距离15-100mm，所得相对密度95-99％的铝旋转靶材。本专利技术还提出了一种铝旋转靶材，该铝旋转靶材采用上述的制造方法制得。本专利技术与现有技术相比具有的有益效果为：本专利技术制造铝旋转靶材的制造工艺简单，制造得到的铝旋转靶材的密度远高于传统热喷涂技术，相对密度可达到95-99％，而氧含量＜1500ppm，氧含量低于传统热喷涂技术，晶粒组织均匀细化，良率高，粉末利用率高，易于规模化生产。具体实施方式为让本领域的技术人员更加清晰直观的了解本专利技术，下面将对本专利技术作进一步的说明。本专利技术的铝旋转靶材的制造方法，包括如下步骤：S1、制造平均粒径D50为10-80μm的铝粉末，优选20-60μm；S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管进行表面去除基管表面污垢和氧化层，然后进行喷砂处理，使表面粗糙度达到Ra1.5～500μm；S3、冷喷涂成型：将制造的铝粉末装入冷喷涂送粉器内，将处理后的靶材基管安装在传动设备上，使其自转，冷喷涂喷枪与靶材基管做水平方向相对运动，制得靶材；冷喷涂成型工艺为：主气压力为2-10Mpa，送粉气压力为2.1-10.1Mpa，主气加热温度300-1000℃，喷涂距离15-100mm；S4、喷涂好的靶材进行机加工成所需要的尺寸和精度，制得成品。实施例1制造平均粒径D50＝20μm的铝粉末，准备304不锈钢管作为靶材基管，管的长度850mm，内径125mm，外径133mm，对304不锈钢管的表面进行去除污垢和氧化层处理，然后喷砂，喷砂粗化后的基管表面粗糙度为180-220μm；将制造的铝粉末装入冷喷涂送粉器内，并将处理好的基管安装在传动设备上，转速120r/min，喷枪移动速度12mm/s；冷喷涂主气压力4Mpa，送粉气压力4.1Mpa，主气加热温度300℃，喷涂距离35mm。所得靶材厚度10mm，密度95％，氧含量＜1500ppm，最后靶材经过机加工成所需尺寸和精度即得成品。实施例2制造平均粒径D50＝40μm的铝粉末，准备304不锈钢管作为靶材基管，管的长度850mm，内径125mm，外径133mm，对304不锈钢管的表面进行去除污垢和氧化层处理，然后喷砂，喷砂粗化后的基管表面粗糙度为180-220μm；将制造的铝粉末装入冷喷涂送粉器内，并将准备好的基管安装在传动设备上，转速120r/min，喷枪移动速度12mm/s；冷喷涂主气压力5Mpa，送粉气压力5.1Mpa，主气加热温度450℃，喷涂距离30mm。所得靶材厚度15mm，密度98％，氧含量＜1200ppm。靶材经过机加工成所需尺寸和精度即得成品。实施例3制造平均粒径D50＝40μm的铝粉末，准备钛管作为靶材基管，管长度850mm，内径125mm，外径133mm，管表面进行去除污垢和氧化层处理，然后喷砂，喷砂粗化后的基管表面粗糙度为180-220μm；将制造的铝粉末装入冷喷涂送粉器内，并将准备好的基管安装在传动设备上，转速150r/min，喷枪移动速度15mm/s；冷喷涂主气压力4.5Mpa，送粉气压力4.6Mpa，主气加热温度550℃，喷涂距离35mm。所得靶材厚度10mm，密度97.1％，氧含量＜1500ppm。靶材经过机加工成所需尺寸和精度即得成品。上述对实施例的描述是为便于该
的普通技术人员能理解和应用本专利技术。熟悉本领域技术的人员显然可以容易地对这些实施例做出各种修改，并把在此说明的一般原理应用到其他实施例中而不必经过创造性的劳动。因此，本专利技术不限于这里的实施例，本领域技术人员根据本专利技术的揭示，对于本专利技术做出的改进和修改都应该在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种铝旋转靶材的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、制造平均粒径D50为10‑80μm的铝粉末；S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管进行表面喷砂处理；S3、冷喷涂成型：将制造的铝粉末装入冷喷涂送粉器内，将处理后的靶材基管安装在传动设备上，使其自转，冷喷涂喷枪与靶材基管做水平方向相对运动，制得靶材；S4、喷涂好的靶材进行机加工成所需要的尺寸和精度，制得成品。

【技术特征摘要】
1.一种铝旋转靶材的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、制造平均粒径D50为10-80μm的铝粉末；S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管进行表面喷砂处理；S3、冷喷涂成型：将制造的铝粉末装入冷喷涂送粉器内，将处理后的靶材基管安装在传动设备上，使其自转，冷喷涂喷枪与靶材基管做水平方向相对运动，制得靶材；S4、喷涂好的靶材进行机加工成所需要的尺寸和精度，制得成品。2.根据权利要求1所述的铝旋转靶材的制造方法，其特征在于，所述步骤S1中，铝粉末粒径D50为20-60μm。3.根据权利要求1所述的铝旋转靶材的制造方...

【专利技术属性】
技术研发人员：周志宏，肖世洪，雷雨，肖世文，沈艳斌，周昭寅，
申请(专利权)人：广州市尤特新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44