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本发明提出了一种铝旋转靶材的制造方法，包括S1、制造平均粒径D50为10‑80μm的铝粉末；S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管进行表面喷砂处理；S3、冷喷涂成型：将制造的铝粉末装入冷喷涂送粉器内，将处理后的靶材基管安装在传动设备...
该专利属于广州市尤特新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市尤特新材料有限公司授权不得商用。

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