一种散射式低温扫描近场光学显微镜制造技术

本发明专利技术公开了一种散射式低温扫描近场光学显微镜，包括冷台、设置于冷台底部的样品扫描平台和探针扫描平台、抛物面镜平台以及底座，所述样品扫描平台包括扫描台，扫描台上设置有弹性夹片和样品架，样品架可插拔的夹于扫描台和弹性夹片之间以便于更换样品；所述探针扫描平台位于样品扫描平台相对一侧，包括连接于冷台底部的针尖耦合提取平台和针尖托，针尖托上固定有探针，针尖托以磁吸式连接于针尖耦合提取平台并且与扫描台相对以便于更换探针对样品进行扫描；所述抛物面镜平台设置于底座上以会聚外部激光于探针处并收集带有样品信息的散射光于外部探测器。本发明专利技术可以同时实现原位换探针和换样品，操作简单兼容性强。

A Scattering Low Temperature Scanning Near Field Optical Microscope

The invention discloses a scattering cryogenic scanning near-field optical microscope, which comprises a cold table, a sample scanning platform and a probe scanning platform arranged at the bottom of the cold table, a parabolic mirror platform and a base. The sample scanning platform comprises a scanning platform, on which elastic clamps and sample holders are arranged, and the sample holder can be inserted between the scanner and the elastic clamp for easy replacement of samples. The probe scanning platform is located on the opposite side of the sample scanning platform, including a needle-tip coupling extraction platform and a needle-tip bracket connected to the bottom of the cold platform. A probe is fixed on the needle-tip bracket, and the needle-tip bracket is connected to the needle-tip coupling extraction platform by magnetic suction and is opposite to the scanner so as to replace the probe for scanning. The parabolic mirror platform is arranged on the base to converge outside. The laser is placed at the probe and the scattered light with sample information is collected at the external detector. The invention can simultaneously realize in-situ probe exchange and sample exchange, and has simple operation and strong compatibility.

【技术实现步骤摘要】
一种散射式低温扫描近场光学显微镜
本专利技术属于近场光学仪器
，具体涉及一种散射式低温扫描近场光学显微镜。
技术介绍
随着现代微纳加工技术和扫描探针显微技术的不断进步，近场光学显微镜也在不断的发展，出现各种反馈形式和工作方式的近场光学显微镜，这些近场光学显微镜得到近场光学图像的分辨率比较难于突破光的衍射极限，得到的分辨率比较低。为了将分辨率进一步提高，科学家们通过金属化的AFM探针，利用散射的方式得到了分辨率在～10nm左右或更好的近场光学图像，从而推动的近场光学领域的研究，同时，高真空以及液氦温区的突破衍射极限的近场成像系统在物理、化学、材料、生物、国防、信息等领域也都有重要应用。但是目前，可以获得液氦温区的散射式红外或远红外近场成像系统只有一家公司在制作，其产品无法实现原位换针或换样品，且其散射式近场成像系统不能根据实际情况对各个平台进行定位，其工作环境和真空度也没有达到超高真空的要求，在科研应用和实际操作中都很不便，对实验数据也产生不良影响。因此，有必要提出一种操作简单、极低温和超高真空环境下可扩展、可兼容的散射式低温扫描近场光学显微镜。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种散射式低温扫描近场光学显微镜，其特征在于，包括冷台、样品扫描平台、探针扫描平台、抛物面镜平台以及底座，其中：所述样品扫描平台设置于冷台底部，所述样品扫描平台包括扫描台，所述扫描台上设置有弹性夹片和样品架，所述样品架可插拔的夹于扫描台和弹性夹片之间以便于更换样品；所述探针扫描平台设置于冷台底部且位于样品扫描平台相对一侧，所述探针扫描平台包括连接于冷台底部的针尖耦合提取平台和针尖托，所述针尖托上固定有探针，所述针尖托以磁吸式连接于所述针尖耦合提取平台并且与所述扫描台相对以便于更换探针对样品进行扫描；所述抛物面镜平台设置于底座上，所述抛物面镜平台用于会聚外部激光于探针处并收集带有样品信息的散...

【技术特征摘要】
1.一种散射式低温扫描近场光学显微镜，其特征在于，包括冷台、样品扫描平台、探针扫描平台、抛物面镜平台以及底座，其中：所述样品扫描平台设置于冷台底部，所述样品扫描平台包括扫描台，所述扫描台上设置有弹性夹片和样品架，所述样品架可插拔的夹于扫描台和弹性夹片之间以便于更换样品；所述探针扫描平台设置于冷台底部且位于样品扫描平台相对一侧，所述探针扫描平台包括连接于冷台底部的针尖耦合提取平台和针尖托，所述针尖托上固定有探针，所述针尖托以磁吸式连接于所述针尖耦合提取平台并且与所述扫描台相对以便于更换探针对样品进行扫描；所述抛物面镜平台设置于底座上，所述抛物面镜平台用于会聚外部激光于探针处并收集带有样品信息的散射光于外部探测器。2.根据权利要求1所述的一种散射式低温扫描近场光学显微镜，其特征在于，所述样品扫描平台还包括有固定于冷台底部的第一XYZ移动机构，所述扫描台连接于第一XYZ移动机构并被带动在XYZ空间内运动。3.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：王文杰，
申请(专利权)人：仪晟科学仪器嘉兴有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33