一种超高真空原子力显微镜用真空系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种超高真空原子力显微镜用真空系统，旨在解决现有超高真空用原子力显微镜所使用的真空系统主要采用大型腔体的设计，结构复杂，安装麻烦，成本较高，且不易与其他系统进行对接扩展的问题，包括真空腔体，所述真空腔体的底壁上安装有用于对样品进行纳米区域物理性质探测的AFM集成模块，AFM集成模块包括有对样品探测的AFM扫描探针，且真空腔体的顶部安装有用于观测AFM扫描探针工作准确位置的显微镜观测模块；所述真空腔体上设有法兰快开门、超高真空获得模块和超高真空测量模块。本实用新型专利技术尤其适用于超高真空原子力显微镜的真空系统构建，具有较高的社会使用价值和应用前景。值和应用前景。值和应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种超高真空原子力显微镜用真空系统


[0001]本技术涉及原子力显微镜
，具体涉及一种超高真空原子力显微镜用真空系统。

技术介绍

[0002]目前超高真空用原子力显微镜所使用的真空系统为了满足观察、传样、电馈通、信号采集等功能，主要采用大型腔体的设计，其结构复杂，安装麻烦，成本较高，且不易与其他系统进行对接扩展。
[0003]为此，我们提出了一种超高真空原子力显微镜用真空系统。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于解决或至少缓解现有技术中所存在的问题。
[0005]本技术提供一种超高真空原子力显微镜用真空系统，包括作为安装基体的真空腔体，所述真空腔体的底壁上安装有用于对样品进行纳米区域物理性质探测的AFM集成模块，AFM集成模块包括有对样品探测的AFM扫描探针，且真空腔体的顶部安装有用于观测AFM扫描探针工作准确位置的显微镜观测模块；
[0006]所述真空腔体上设有用于样品进出料的法兰快开门、用于保持真空腔体内部超高真空状态的超高真空获得模块和用于检测真空腔体内部超高真空状态的超高真空测量模块。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超高真空原子力显微镜用真空系统，包括作为安装基体的真空腔体(10)，其特征在于，所述真空腔体(10)的底壁上安装有用于对样品进行纳米区域物理性质探测的AFM集成模块(50)，AFM集成模块(50)包括有对样品探测的AFM扫描探针，且真空腔体(10)的顶部安装有用于观测AFM扫描探针工作准确位置的显微镜观测模块(40)；所述真空腔体(10)上设有用于样品进出料的法兰快开门(101)、用于保持真空腔体(10)内部超高真空状态的超高真空获得模块(30)和用于检测真空腔体(10)内部超高真空状态的超高真空测量模块(104)。2.如权利要求1所述的超高真空原子力显微镜用真空系统，其特征在于：所述AFM集成模块(50)包括安装于真空腔体(10)底壁的AFM安装法兰(501)，且AFM安装法兰(501)的上端通过若干个扫描头支撑柱(502)安装有支撑盘，且支撑盘的上端安装有用于对样品进行纳米区域物理性质探测的AFM扫描头(503)，AFM安装法兰(501)上设有若干个用于AFM扫描头(503)信号采集、电馈通集成接线的AFM接线法兰(504)。3.如权利要求1所述的超高真空原子力显微镜用真空系统，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：张宇，马诚杰，沈敏敏，王城程，
申请(专利权)人：仪晟科学仪器嘉兴有限公司，
类型：新型
国别省市：