用于基板的传输系统和加工系统技术方案

本发明专利技术涉及一种用于基板(19)，尤其是晶片、太阳能电池、电路板等的传输系统(1)，具有：用于保持和传输基板(19)的第一装置(4)，其具有抓取头(6)，抓取头在其下侧(10)上具有至少一个用于放置基板的第一支承面(11)和至少一个将基板相对于该支承面吸附的抽吸装置(8)；用于保持和传输基板的第二装置(5)，其具有至少一个第二支承面(18)，基板置于第二支承面上；以及用于将基板从第二支承面移动至第一支承面的机构(20)。该机构具有至少一个设置在第二支承面下方的压缩空气喷嘴(21)，使得由压缩空气喷嘴产生的/可产生的压缩空气流朝向位于第二支承面上的基板的方向流动，以将基板朝向第一支承面的方向升高。

Transport and processing systems for substrates

The invention relates to a transmission system (1) for a substrate (19), in particular wafers, solar cells, circuit boards, etc., having a first device (4) for maintaining and transmitting a substrate (19), a grasping head (6), at least one first supporting surface (11) for placing a substrate on its lower side (10) and at least one suction device (8) for adsorbing a substrate relative to the supporting surface. A second device (5) for maintaining and transmitting a substrate has at least one second supporting surface (18), the substrate is placed on the second supporting surface, and a mechanism (20) for moving the substrate from the second supporting surface to the first supporting surface. The mechanism has at least one compressed air nozzle (21) arranged below the second supporting surface, so that the/generated compressed air flow generated by the compressed air nozzle flows in the direction of the base plate located on the second supporting surface to raise the base plate towards the first supporting surface.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于基板的传输系统和加工系统
本专利技术涉及一种用于基板的，尤其是晶片、太阳能电池、电路板等的传输系统，所述传输系统具有：用于保持和传输所述基板的第一装置，该第一装置具有抓取头(Greifkopf)，所述抓取头在其下侧上具有用于放置基板的至少一个第一支承面和至少一个抽吸装置，以用于将所述基板相对于支承面吸附；和用于保持和传输所述基板的第二装置，所述第二装置具有至少一个第二支承面，所述基板置于所述第二支承面上；以及用于将所放置的基板从第二支承面移动至第一支承面的机构。此外，本专利技术涉及一种用于基板，尤其是晶片、太阳能电池、电路板等的加工系统，所述加工系统具有：用于处理或加工所述基板的至少一个工作站或加工站；和至少一个上述类型的传输系统，所述传输系统例如用于将基板从一个加工站带到另一加工站。
技术介绍
本文开始所述类型的传输系统在现有技术中是已知的。在批量生产的情况下，基板不是手动地从一个加工站运送到下一加工站，而是自动化地运送。因此，要可靠地确保在制造工艺中对清洁和保养的要求。为了在传输时不损坏基板，尤其需要能够实现传输基板的装置，通过该装置不会损坏基板。因此，为了进行传输例如常见的是，使能够放置基板的支承面构成为可移动的，以将基板从加工位置移动到传输位置或转移位置。在此通常使用传输带或传送带，可将基板置于其上并运送穿过加工站。由于基板简单地放置在传输带上，避免了可能会损坏基板的保持力。为了防止基板脱离传送带，还已知的是，在需要时设定负压，所述负压使基板吸附在支承面上。通过负压避免了对基板施加机械力并且仍能确保保持。以负压进行工作也在下述装置中得到证实，所述装置从上方抓取基板，其方式为：所述装置将基板吸附在抓取头的支承面上。如果抓取头随后移动，则基板能够以简单的方从一个加工站移动到下一加工站。为了将基板从一个装置转移到另一装置，已知的是，将抓取头位移或放置在基板上，以抓取基板。如果所描述的装置一起工作，那么能够以简单的方式提供传输系统，该传输系统使得能够可靠地通过具有多个加工站的加工系统对基板进行加工并进行传输。
技术实现思路
本专利技术的目的是，对本文开始提及类型的传输系统进行改进，使得能够安全且低成本地将基板从第一装置转移到第二装置。本专利技术的目的通过具有权利要求1的特征的传输系统实现。所述传输系统具有下述优点：无需大的额外开销就可将基板从第一装置转移到第二装置，并且尤其是不需要可移动的部件，所述可移动的部件升高相应的基底并且引导其靠近抓取头或者朝向第二支承面的方向移动所述抓取头，以便能够抓取位于该处的基板。由此，简化了传输系统的制造和安装耗费，从而尤其是还降低了制造成本。根据本专利技术，这通过如下方式实现：所述机构具有至少一个压缩空气喷嘴，该压缩空气喷嘴设置在第二支承面下方，使得通过所述压缩空气喷嘴产生的/可产生的或定向的压缩空气流朝向位于第二支承面上的基板的方向流动或定向，以便尤其是当所述基板位于第二支承面为此设置的转移区域中时，朝向第一支承面的方向升高基板。因此，本专利技术提出，通过压缩空气将多个基板或相应的基板由第二装置提升并且输送给第一装置。换言之，多个基板或相应的基板从第二装置被吹到第一装置上。由此确保了基板的特别简单的转移，该转移不需要可移动的机械部件。由此尤其是可以弃用受机械磨损且增加传输系统的维护开销的元件。尤其不必要的是，第一装置和/或第二装置具有执行器，所述执行器使第一支承面或第二支承面向下或向上运动，以转移相应的基板。由此显著降低了制造成本、布线成本和设计成本。此外通过将基板吹到抓取头上，还能确保对基板的尤其温和的处理，因为在转移基板时还弃用了机械的力作用。适宜的是，将第一支承面和第二支承面彼此靠近地设置，使得通过将相应的基板从第二支承面朝向第一支承面的方向吹送或升高至第一支承面，或者至少升高到下述区域中，在该区域中第一装置的负压足够高到将基板进一步吸附/吸引到第一支承面上。为此将至少一个压缩空气喷嘴配备给第二支承面的或传输系统的转移区域，在该转移区域中第一支承面和第二支承面彼此相对置。根据本专利技术的一个优选的改进方案提出，所述机构包括多个彼此平行设置的压缩空气喷嘴，用于升高基板。通过设置多个压缩空气喷嘴可以确保基板在被吹送时例如不发生倾斜并且在升高时整体上仍然保持其定向。尤其是设置至少两个压缩空气喷嘴，所述压缩空气喷嘴分别配属于基板的或第二支承面的纵向侧，以便用压缩空气在两侧对基板进行加压，进而可靠地升高基板。特别优选地提出，压缩空气喷嘴对称地设置，以便确保用压缩空气均匀地对相应的基板进行加载。尤其是，由此产生压缩空气垫，所述压缩空气垫确保对相应的基板均匀地加载力，从而例如还可以避免基板在升高时的下垂。根据本专利技术的一个有利的改进方案提出，将压缩空气喷嘴设置在第二支承面的旁边。由此，用压缩空气对相应的基板的伸出第二支承面的区域进行加载。尤其当第二支承面由一个传输带或多个传输带形成时，这是一种有利的解决方案。此外优选，将至少一个压缩空气喷嘴居中地设置在第二支承面的中断部处。在这种情况下，压缩空气喷嘴例如设置在两个彼此平行地设置并且彼此间隔开的传输带之间，所述传输带形成第二支承面。由此，放置在第二支承面上的基底也居中地由压缩空气加载并且朝向第一支承面的方向升高。根据一个优选的改进方案，如已经阐述的，第一和/或第二支承面通过至少一个可移动地支承的传输带形成。由此确保基板沿着相应的支承面的更简单且无磨损的传输。在此传输带优选是连续牵引机构，所述连续牵引机构尤其是通过转向辊在第二装置上环绕地被引导。优选的是，将至少一个皮带张紧器配备给相应的传输带，所述皮带张紧器确保传输带沿着预定的行进轨道延伸，尤其是在所述传输带形成第一或第二支承面的行进部段中延伸。尤其是，第一和/或第二支承面通过至少两个平行且彼此间隔开的并且可移动地支承的传输带形成。由此，相应的基板放置或贴靠在两个传输带上，使得所述基板被牢固地保持和引导。在这种情况下，一个或多个压缩空气喷嘴可以居中地设置在传输带之间或设置在两个传输带的外部，以便从下方对相应的基板加载压缩空气。优选地，压缩空气喷嘴与共同的压缩空气发生器流体连接，使得压缩空气喷嘴用相同的压缩空气进行加载，由此低成本地实现简单的生成压缩空气以及升高相应的基板。此外，优选相应的压缩空气喷嘴具有可操控的阀，用于设定相应的压缩空气喷嘴中的穿流横截面。通过相应的阀，可以调整尤其是多个压缩空气喷嘴的穿流横截面，以例如确保：相应的基板均匀地升高，而不会丧失其关于支承面的定向以及例如朝一个方向倾斜。尤其是，通过操控阀使其释放或完全关闭穿流横截面来接通或解除压缩空气加载。由此实现了当基板位于第二支承面上的对此有利的位置时，才产生压缩空气垫。替代地，仅设置一个可操控的阀，所述可操控的阀例如连接在压缩空气发生器的下游并且连接在通向压缩空气喷嘴的分支的上游，使得可以借助唯一的阀来中断或释放压缩空气流。适宜的是，相应的阀是可电操控的并且具有用于调节阀元件的相应的执行器，所述阀元件影响穿流横截面。根据本专利技术的优选的改进方案，第二装置具有至少一个传感器，所述传感器用于检测基板是否放置在第二支承面上。这样借助传感器例如可以检测：基板是否借助于传输带被传输到转移区域中，即沿着第二支承面传输到对于转移有利的位置中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于基板(19)的，尤其是晶片、太阳能电池、电路板等的传输系统(1)，所述传输系统(1)具有：用于保持和传输所述基板(19)的第一装置(4)，该第一装置具有抓取头(6)，所述抓取头在其下侧(10)上具有用于放置所述基板(19)的至少一个第一支承面(11)和至少一个抽吸装置(8)，以用于将所述基板(19)相对于所述支承面(11)进行吸附；和用于保持和传输所述基板(19)的第二装置(5)，所述第二装置具有至少一个第二支承面(18)，所述基板(19)置于所述第二支承面上；和用于将所放置的基板(19)从所述第二支承面(18)移动至所述第一支承面(11)的机构(20)，其特征在于，所述机构(20)具有至少一个压缩空气喷嘴(21)，所述压缩空气喷嘴设置在第二支承面(18)下方，使得通过所述压缩空气喷嘴产生的压缩空气流朝向位于所述第二支承面(18)上的基板(19)的方向流动，以使所述基板(19)朝向所述第一支承面(11)的方向升高。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.01 DE 102016214184.81.一种用于基板(19)的，尤其是晶片、太阳能电池、电路板等的传输系统(1)，所述传输系统(1)具有：用于保持和传输所述基板(19)的第一装置(4)，该第一装置具有抓取头(6)，所述抓取头在其下侧(10)上具有用于放置所述基板(19)的至少一个第一支承面(11)和至少一个抽吸装置(8)，以用于将所述基板(19)相对于所述支承面(11)进行吸附；和用于保持和传输所述基板(19)的第二装置(5)，所述第二装置具有至少一个第二支承面(18)，所述基板(19)置于所述第二支承面上；和用于将所放置的基板(19)从所述第二支承面(18)移动至所述第一支承面(11)的机构(20)，其特征在于，所述机构(20)具有至少一个压缩空气喷嘴(21)，所述压缩空气喷嘴设置在第二支承面(18)下方，使得通过所述压缩空气喷嘴产生的压缩空气流朝向位于所述第二支承面(18)上的基板(19)的方向流动，以使所述基板(19)朝向所述第一支承面(11)的方向升高。2.根据权利要求1所述的传输系统，其特征在于，所述机构(20)具有多个彼此平行设置的压缩空气喷嘴(21)，用于升高相应的所述基板(19)。3.根据上述权利要求之一所述的传输系统，其特征在于，所述压缩空气喷嘴(21)对称地布置。4.根据上述权利要求之一所述的传输系统，其特征在于，所述压缩空气喷嘴(21...

【专利技术属性】
技术研发人员：弗洛里安·瓦姆斯勒，阿希姆·阿诺德，克劳斯·奥佩尔特，
申请(专利权)人：亚席斯自动化系统有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE