The invention discloses an ozone cleaning method for solar cells, which is characterized in that ozone cleaning steps are added before conventional HF+HCL mixed acid cleaning. The cleaning method of the invention can greatly help the removal of organic pollution, further ensure the cleanliness of the silicon wafer surface, and thus improve the conversion efficiency of the battery to a certain extent.
【技术实现步骤摘要】
太阳能电池的臭氧清洗方法
本专利技术主要涉及太阳能电池制造领域，特别涉及湿法清洗工序的一种方法。
技术介绍
随着太阳能电池转化效率的逐步提高，电池制造过程中对制程洁净度的要求也越来越高，而太阳能电池在制作过程中，很容易受到外界的污染，故湿法清洗工序的水平将直接影响到电池效率的发挥。目前，湿法清洗工序在对硅片表面进行腐蚀处理后，一般都是采用HF+HCL的体系来清洗金属杂质和起到硅片脱水作用，但是，此类方法不能很好的去除一些有机污染，在某些研发实验室，多采用RCA清洗，但是由于H2O2的不稳定性，很难达成量产的状态。
技术实现思路
本专利技术针对
技术介绍
中存在的问题，提出了一种可以提高太阳能电池的转换效率的清洗方法。技术方案：一种太阳能电池的臭氧清洗方法，它在常规的HF+HCL混酸清洗前增加了臭氧清洗步骤。具体步骤为：S1、常规预清洗步骤；S2、常规漂洗步骤；S3、常规制绒步骤；S4、常规漂洗步骤；S5、臭氧清洗步骤，所述臭氧浓度为5～100ppm；S6、常规漂洗步骤；S7、常规HF+HCL混酸清洗步骤；S8、常规漂洗步骤；S9、常规慢提拉步骤；S10、常规烘干步骤。作为...
【技术保护点】
1.一种太阳能电池的臭氧清洗方法，其特征在于在常规的HF+HCL混酸清洗前增加了臭氧清洗步骤。
【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池的臭氧清洗方法，其特征在于在常规的HF+HCL混酸清洗前增加了臭氧清洗步骤。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于具体步骤为：S1、常规预清洗步骤；S2、常规漂洗步骤；S3、常规制绒步骤；S4、常规漂洗步骤；S5、臭氧清洗步骤，所述臭氧浓度为5～100ppm；S6、常规漂洗步骤；S7、常规HF+HCL混酸清洗步骤；S8、常规漂洗步骤；S9、常规慢提拉步骤；S10、常规烘干步骤。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于步骤S5中，使用溶解装置将臭氧溶解在水中，使得水中的臭氧浓度为5-100ppm，并将液体加热，温度为25-40℃，反应时间为1-6min。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于步骤S5中，使用溶解装置将臭氧溶解在水中，使得水中的臭氧浓度为5-100ppm，并往液体槽中添加HF，使得HF的质量分数为0....
【专利技术属性】
技术研发人员：宋剑，
申请(专利权)人：江苏林洋光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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