一种刷片机用手臂模组制造技术

本发明专利技术公开了一种刷片机用手臂模组，该模组包括：摆臂；外轴，所述外轴中空，所述外轴的顶部与所述摆臂的第一端固定连接，所述外轴的底部与步进电机的转子驱动连接；内轴，所述内轴设置在所述外轴的内部，所述内轴的底部与驱动电机的转子驱动连接，所述内轴的顶部伸入所述摆臂的第一端内部，所述内轴与所述摆臂的第一端转动连接；传动单元；以及刷片单元，所述刷片单元转动设置在所述摆臂的第二端，所述刷片单元包括转轴，所述转轴通过所述传动单元与所述内轴驱动连接。本发明专利技术的有益效果为通过摆臂带动擦拭构件对晶片的擦拭动作，同时擦拭构件本身保持自转，实现双重的擦拭。

An Arm Module for Brusher

The invention discloses an arm module for a brush machine, which comprises a swing arm, an outer axle, a hollow outer axle, a fixed connection between the top of the outer axle and the first end of the swing arm, a drive connection between the bottom of the outer axle and the rotor of the stepping motor, an inner axle, the inner axle arranged inside the outer axle, and a drive connection between the bottom of the inner axle and the rotor of the driving motor. The top of the inner axle extends into the first end of the swing arm, and the inner axle rotates and connects with the first end of the swing arm; the transmission unit; and the brush unit, which rotates at the second end of the swing arm, and the brush unit includes a rotating shaft, which is driven and connected by the transmission unit and the inner axle. The beneficial effect of the present invention is that the wiping component is driven by the swing arm to wipe the wafer, while the wiping component itself keeps rotation and realizes double wiping.

【技术实现步骤摘要】
一种刷片机用手臂模组
本专利技术属于刷片机领域，具体涉及一种刷片机用手臂模组。
技术介绍
晶片有很高的洁净度要求，因此需要对晶片进行清洗。刷片机就是用来完成对晶片的自动清洗工作的装置，刷片机的手臂模组是完成清洗的动作的构件之一，实现高效的清洗，需要手臂模组能够实现一定的清洗动作。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题，本专利技术提供一种刷片机用手臂模组，本专利技术能够通过摆臂带动擦拭构件对晶片的擦拭动作，同时擦拭构件本身保持自转，实现双重的擦拭。为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种刷片机用手臂模组，该模组包括：摆臂；外轴，所述外轴中空，所述外轴的顶部与所述摆臂的第一端固定连接，所述外轴的底部与步进电机的转子驱动连接；内轴，所述内轴设置在所述外轴的内部，所述内轴的底部与驱动电机的转子驱动连接，所述内轴的顶部伸入所述摆臂的第一端内部，所述内轴与所述摆臂的第一端转动连接；传动单元；以及刷片单元，所述刷片单元转动设置在所述摆臂的第二端，所述刷片单元包括转轴，所述转轴通过所述传动单元与所述内轴驱动连接。所述刷片单元包括与所述转轴固定连接的塑料构件，所述塑料构件上粘接有擦拭构件。所述擦拭构件为海绵材质。所述擦拭构件上设置有纵向通孔。所述传动单元包括第一皮带轮、第二皮带轮、皮带，所述第一皮带轮与所述内轴固定连接，所述第二皮带轮与所述转轴固定连接，所述皮带连接所述第一皮带轮和所述第二皮带轮。所述第一皮带轮与所述内轴花键连接，所述第二皮带轮与所述转轴花键连接。所述第一皮带轮、第二皮带轮、皮带上均设置有相配合的齿结构。所述驱动电机的转速最大值超过3000RPM。所述内轴与所述摆臂的第一端通过第一轴承铰接，所述刷片单元与所述摆臂的第二端通过第二轴承铰接。与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：1、通过摆臂带动擦拭构件对晶片的擦拭动作，同时擦拭构件本身保持自转，实现双重的擦拭；2、擦拭构件上的通孔使得擦拭构件更容易排水吸水；3、驱动电机的转速最大值超过3000RPM，有效提高刷片的效率；4、步进电机调整外轴的旋转方向，使得摆臂形成周期性的擦拭动作。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术的整体结构正向示意图。图2为本专利技术的整体结构侧向示意图。图3为图2中A-A处的剖面示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。如图1-3所示，本实施例提供一种刷片机用手臂模组，该模组包括：摆臂1；外轴2，所述外轴2中空，所述外轴2的顶部与所述摆臂的第一端11固定连接，所述外轴2的底部与步进电机3的转子驱动连接；内轴4，所述内轴4设置在所述外轴2的内部，所述内轴4的底部与驱动电机5的转子驱动连接，所述内轴4的顶部伸入所述摆臂的第一端11内部，所述内轴4与所述摆臂的第一端11转动连接；传动单元；以及刷片单元6，所述刷片单元6转动设置在所述摆臂的第二端12，所述刷片单元6包括转轴61，所述转轴61通过所述传动单元与所述内轴4驱动连接。作为优选，本实施例所述刷片单元6包括与所述转轴61固定连接的塑料构件62，所述塑料构件62上粘接有擦拭构件63。擦拭构件旁设置有送水机构，送水的机构的水流被擦拭构件吸收。送水机构旁设置有送气机构，送气机构和送水机构共同构成二流体。作为进一步优选，本实施例所述擦拭构件63为海绵材质。作为进一步优选，本实施例所述擦拭构件63上设置有纵向通孔631。纵向通孔平行于待刷晶片。作为进一步优选，本实施例所述传动单元包括第一皮带轮71、第二皮带轮72、皮带73，所述第一皮带轮71与所述内轴4固定连接，所述第二皮带轮72与所述转轴61固定连接，所述皮带73连接所述第一皮带轮71和所述第二皮带轮72。作为进一步优选，本实施例所述第一皮带轮71与所述内轴4花键连接，所述第二皮带轮72与所述转轴61花键连接。作为进一步优选，本实施例所述第一皮带轮71、第二皮带轮72、皮带73上均设置有相配合的齿结构。作为进一步优选，本实施例所述驱动电机5的转速最大值超过3000RPM。作为进一步优选，本实施例所述内轴4与所述摆臂的第一端11通过第一轴承81铰接，所述刷片单元6与所述摆臂的第二端12通过第二轴承82铰接。第二轴承82的数量为2个。步进电机3具有中空结构，内轴4的底部穿过步进电机2与设置在最下方的驱动电机5驱动连接。摆臂周期性按照设定角度进行旋转，同时擦拭构件本身进行自转，双重的擦拭动作完成对晶片的高效清洗。尽管上述实施例已对本专利技术作出具体描述，但是对于本领域的普通技术人员来说，应该理解为可以在不脱离本专利技术的精神以及范围之内基于本专利技术公开的内容进行修改或改进，这些修改和改进都在本专利技术的精神以及范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种刷片机用手臂模组，其特征在于，该模组包括：摆臂（1）；外轴（2），所述外轴（2）中空，所述外轴（2）的顶部与所述摆臂的第一端（11）固定连接，所述外轴（2）的底部与步进电机（3）的转子驱动连接；内轴（4），所述内轴（4）设置在所述外轴（2）的内部，所述内轴（4）的底部与驱动电机（5）的转子驱动连接，所述内轴（4）的顶部伸入所述摆臂的第一端（11）内部，所述内轴（4）与所述摆臂的第一端（11）转动连接；传动单元；以及刷片单元（6），所述刷片单元（6）转动设置在所述摆臂的第二端（12），所述刷片单元（6）包括转轴（61），所述转轴（61）通过所述传动单元与所述内轴（4）驱动连接。

【技术特征摘要】
1.一种刷片机用手臂模组，其特征在于，该模组包括：摆臂（1）；外轴（2），所述外轴（2）中空，所述外轴（2）的顶部与所述摆臂的第一端（11）固定连接，所述外轴（2）的底部与步进电机（3）的转子驱动连接；内轴（4），所述内轴（4）设置在所述外轴（2）的内部，所述内轴（4）的底部与驱动电机（5）的转子驱动连接，所述内轴（4）的顶部伸入所述摆臂的第一端（11）内部，所述内轴（4）与所述摆臂的第一端（11）转动连接；传动单元；以及刷片单元（6），所述刷片单元（6）转动设置在所述摆臂的第二端（12），所述刷片单元（6）包括转轴（61），所述转轴（61）通过所述传动单元与所述内轴（4）驱动连接。2.根据权利要求1所述的刷片机用手臂模组，其特征在于，所述刷片单元（6）包括与所述转轴（61）固定连接的塑料构件（62），所述塑料构件（62）上粘接有擦拭构件（63）。3.根据权利要求2所述的刷片机用手臂模组，其特征在于，所述擦拭构件（63）为海绵材质。4.根据权利要求3所述的刷片机用手臂模组，其特征在于，所述擦拭构...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛林新，葛林五，李杰，丁高生，林生海，陈景韶，
申请(专利权)人：上海提牛机电设备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31