The utility model discloses a graphite boat cleaning delivery device, which comprises a cleaning groove, a chuck arranged on the inner wall of the operating end of the cleaning groove, a flat car located at the bottom of the cleaning groove, and a double pull rod articulated with one end of the flat car. The head of the double pull rod is provided with a chuck, and when the double pull rod is put in normal time, the chuck is clamped with the chuck. The utility model is used as a carrier in a cleaning tank, which can clean more graphite boats at one time, and the cleaning efficiency is greatly improved. The guide rail at the bottom of the cleaning trough and the height of the flat car make it easier to bend down and take out and put the graphite boat manually, which reduces the operation intensity. In addition, the cart is used. The friction between the graphite boat and the cleaning trough is not easy to cause damage, and the yield of good products is greatly improved. Manpower only needs to operate at one end of the cleaning tank, which reduces the operating space and is suitable for workshops with smaller operating space.
【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟清洗运载装置
本技术涉及太阳能硅片的槽式清洗设备和黑硅制绒设备，尤其涉及一种用于硅片镀膜的承载件—石墨舟清洗运载装置。
技术介绍
在太阳能电池硅片的氮化硅减反射膜沉积工艺中，一般采用石墨舟或者石墨框用作硅片的承载物。但在工艺过程中，作为承载物的石墨舟也会被沉积到氮化硅薄膜。该膜到一定厚度以后，就需要对石墨舟做先酸洗后水洗的清洗处理。目前业界普遍采用的清洗方法是先使用HF/HCL混合液湿法槽式清洗，即将石墨舟浸泡在存有HF/HCL的清洗槽中4~8小时，再抽点该槽子里的药液，然后用清水漂洗，最后高温烘箱烘4~8小时烘干。但是现有的清洗方式存在以下缺点：1、由于操作空间的限制，每次只能放一个石墨舟在清洗槽的一端进行清洗，远离操作岗位的清洗槽的内部空间不能充分利用，清洗效率较低；而且每次需要将石墨舟放置于清洗槽底部，人工取放比较困难，以致石墨舟与清洗槽易产生摩擦而损坏。因此，如何克服现有石墨舟进行清洗效率低、良品率低和操作强度大的缺陷是业界亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术为了解决现有石墨舟清洗效率低、良品率低和操作强度大的问题，提出这一种清洗效率高、良品率高和操作...
【技术保护点】
1.一种石墨舟清洗运载装置，其特征在于，包括清洗槽、设有该清洗槽操作端内壁面的卡槽；还包括位于所述清洗槽底部的平板车，与该平板车一端铰接的双拉杆，该双拉杆的头部设有卡勾，当该双拉杆放平时，所述的卡勾与所述的卡槽卡合 。
【技术特征摘要】
1.一种石墨舟清洗运载装置，其特征在于，包括清洗槽、设有该清洗槽操作端内壁面的卡槽；还包括位于所述清洗槽底部的平板车，与该平板车一端铰接的双拉杆，该双拉杆的头部设有卡勾，当该双拉杆放平时，所述的卡勾与所述的卡槽卡合。2.如权利要求1所述的石墨舟清洗...
【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，丁力，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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