The utility model relates to a liquid immersion device, which comprises a liquid storage device and a liquid immersion device. The liquid storage device is connected with the liquid immersion device. The liquid immersion device is provided with workpiece inlet and outlet, a liquid supply pipeline, a liquid immersion pool and a liquid return channel. The liquid supply pipeline, the liquid immersion pool and the liquid return channel are connected, and the liquid supply pipeline and the liquid return channel are all connected with the liquid storage device. Connecting, the workpiece is placed in the immersion pool, the immersion pool is connected with the workpiece inlet and outlet, the liquid in the storage device flows into the liquid supply pipeline, the workpiece is coated in the immersion pool, and the liquid flows back to the storage device along the return channel. The utility model provides a liquid immersion film device with simple structure, low cost and simple operation.
【技术实现步骤摘要】
液体浸膜装置
本技术涉及镀膜装置领域,特别是涉及一种液体浸膜装置。
技术介绍
现代精密光学元件向功能集成化和高精度方向发展,光学元器件的分光光谱特性等需依靠光学镀膜实现,光学镀膜技术已成为光学元器件行业的关键技术之一。光学元器件镀膜是指在光学元器件上或独立的基板材料上镀上一层或多层,甚至数百层的介电质膜、金属膜、介电质膜与金属膜组成的膜系。现有的镀膜技术,具有较高的技术门槛,目前高效、高品质、低成本的批量化生产技术仍不成熟,尤其是在黏稠性液体镀膜过程中,液体结晶而影响工件质量,成品率低、浪费资源。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种结构简单、成本低、操作简便的液体浸膜装置。本技术液体浸膜装置,包括储液装置和浸液装置,所述储液装置与所述浸液装置连通,所述浸液装置内设有工件进出口、供液管道、浸液池和回液腔道,所述供液管道、所述浸液池和所述回液腔道连通,所述供液管道、所述回液腔道均与所述储液装置连通,所述浸液池内放置工件,所述浸液池与工件进出口连通,所述储液装置内的液体流入所述供液管道内,工件在所述浸液池进行镀膜,液体沿回液腔道回流到所述储液装置内。优选的,所述浸液装置包括浸液组件,所述浸液组件拼接形成腔体结构,腔体结构内设置有分隔组件,所述分隔组件与所述浸液组件之间形成所述供液管道,所述分隔组件内形成所述浸液池,所述供液管道与所述浸液池顶部连通,所述分隔组件与所述浸液组件底部连通形成所述回液腔道。在上述任意方案中优选的是,所述浸液组件内设有供液通道和均液通道,所述均液通道与所述供液通道连通,且所述均液通道设置在所述供液通道顶部,所述供液通道的底部开设有进液 ...
【技术保护点】
1.一种液体浸膜装置,包括储液装置和浸液装置,所述储液装置与所述浸液装置连通,其特征在于:所述浸液装置内设有工件进出口、供液管道、浸液池和回液腔道,所述供液管道、所述浸液池和所述回液腔道连通,所述供液管道、所述回液腔道均与所述储液装置连通,所述浸液池内放置工件,所述浸液池与工件进出口连通,所述储液装置内的液体流入所述供液管道内,工件在所述浸液池进行镀膜,液体沿回液腔道回流到所述储液装置内。
【技术特征摘要】
1.一种液体浸膜装置,包括储液装置和浸液装置,所述储液装置与所述浸液装置连通,其特征在于:所述浸液装置内设有工件进出口、供液管道、浸液池和回液腔道,所述供液管道、所述浸液池和所述回液腔道连通,所述供液管道、所述回液腔道均与所述储液装置连通,所述浸液池内放置工件,所述浸液池与工件进出口连通,所述储液装置内的液体流入所述供液管道内,工件在所述浸液池进行镀膜,液体沿回液腔道回流到所述储液装置内。2.根据权利要求1所述的液体浸膜装置,其特征在于:所述浸液装置包括浸液组件,所述浸液组件拼接形成腔体结构,腔体结构内设置有分隔组件,所述分隔组件与所述浸液组件之间形成所述供液管道,所述分隔组件内形成所述浸液池,所述供液管道与所述浸液池顶部连通,所述分隔组件与所述浸液组件底部连通形成所述回液腔道。3.根据权利要求2所述的液体浸膜装置,其特征在于:所述浸液组件内设有供液通道和均液通道,所述均液通道与所述供液通道连通,且所述均液通道设置在所述供液通道顶部,所述供液通道的底部开设有进液口,所述进液口与所述储液装置连通,所述供液通道上设有若干个分流隔板形成若干个纵向通道。4.根据权利要求3所述的液体浸膜装置,其特征在于:所述浸液组件内设有储液凹槽,所述储液凹槽上开设有排液口...
【专利技术属性】
技术研发人员:戴素娟,
申请(专利权)人:北京泰拓科技发展有限公司,戴素娟,程岩,
类型:新型
国别省市:北京,11
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