一种电子束蒸发镀镍的方法技术

本发明专利技术提供了一种电子束蒸发镀镍的方法，包括，S1、清洗工件，将工件放在真空条件下；S2、利用电子束对镍靶材进行预融；S3、通过电子束扫描所述工件，对工件进行二次清洁并预热；S4、电子束轰击S2步骤中预融完成的镍靶材，对所述工件进行电子束蒸发镀镍，其中，所述电子束的功率为40‑70kW，通过将电子束蒸发镀镍的功率提高到40‑70kW，提高蒸镀速率，短时间内即可得到1μm以上的厚膜，在S3步骤中，通过对工件进行高能量密度的电子束扫描，使工件表面杂质蒸发去除，并对工件进行预热，增强膜层牢固性，该电子束扫描过程仅需1分钟，即可达到增加膜与工件结合力的效果，操作简便，效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种电子束蒸发镀镍的方法
本专利技术涉及材料表面处理
，具体涉及一种电子束蒸发镀镍的方法。
技术介绍
镀镍是五金工件制造中的一个重要工序，一般的五金件只有镀镍处理，卫浴、锁具等对表面光亮度有要求的五金件一般还要在镀镍的基础上再镀铬，此外，还有一些五金件需要在镀镍后进行拉丝，再做其它表面处理。目前，对五金件镀镍主要采用电镀技术，通过电镀，可以较短时间内在五金件上得到1μm以上的厚镍膜，但电镀过程中会排放大量有毒废水，环境污染大，劳动场所环境恶劣，且生产得到的制品可能携带有毒物质。真空蒸发镀膜是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高等优点，且与电镀相比，无有毒废水排放，更加环保。该技术是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式，蒸发镀膜材料使之气化，气化粒子飞至工件表面凝聚成膜。根据蒸发源的不同，真空蒸发镀膜分为不同的种类。其中，电阻蒸发镀膜只能够应用于低熔点、低气化点的材料，而对于高熔点、高气化点的铬、铜、钛、镍、不锈钢等材料，则无法利用电阻蒸发的方式得到理想的膜层。而电子束蒸发镀膜技术，则可实现对高熔点、高气化点材料的蒸镀。电子束蒸发镀膜是指利用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子束蒸发镀镍的方法，其特征在于，包括，S1、清洗工件，将工件放在真空条件下；S2、利用电子束对镍靶材进行预融；S3、通过电子束扫描所述工件，对工件进行二次清洁并预热；S4、电子束轰击S2步骤中预融完成的镍靶材，对所述工件进行电子束蒸发镀镍，其中，所述电子束的功率为40‑70kW。

【技术特征摘要】
1.一种电子束蒸发镀镍的方法，其特征在于，包括，S1、清洗工件，将工件放在真空条件下；S2、利用电子束对镍靶材进行预融；S3、通过电子束扫描所述工件，对工件进行二次清洁并预热；S4、电子束轰击S2步骤中预融完成的镍靶材，对所述工件进行电子束蒸发镀镍，其中，所述电子束的功率为40-70kW。2.根据权利要求1所述的电子束蒸发镀镍的方法，其特征在于，S2步骤中，还包括，利用电子束对铬靶材进行预融的步骤；S4步骤中，还包括，在电子束蒸发镀镍后进行电子束蒸发镀铬的步骤。3.根据权利要求2所述的电子束蒸发镀镍的方法，其特征在于，所述电子束蒸发镀铬的功率为40-70kW。4.根据权利要求1-3任一所述的电子束蒸发镀...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘齐成，
申请(专利权)人：广州海鸥住宅工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44