防泄漏存储柜制造技术

本实用新型专利技术涉及一种防泄漏存储柜，所述防泄漏存储柜包括：至少一层柜体，所述柜体一侧具有开口，所述开口处设置有柜门；风幕机，安装于柜体内侧顶部，与柜门相邻的边缘处，所述风幕机的吹风口朝向柜体底部；控制器，与所述风幕机连接，用于控制所述风幕机的开启或关闭。所述存储柜在柜门开启时，能够通过风幕机形成气帘，减少柜内外的环境交换。

【技术实现步骤摘要】
防泄漏存储柜
本技术涉及半导体
，尤其涉及一种防泄漏存储柜。
技术介绍
在半导体工艺厂(FAB)实际生产中，会通过存储柜临时存放一些器具。为了避免器具在临时存储的过程中受到污染，通常会在柜子中填充氮气以保护器具。填充有氮气的存储柜通常由人工操作，完成存取器具的过程，在此过程中操作人员会与存储柜中的氮气直接接触，存储柜中的氮气外泄易使操作人员窒息，从而引发危险。并且，在打开存储柜柜门的同时，会形成内外环境的交换，外环境中的颗粒污染、水汽、SO42-、NH+等进入柜内，对于柜内环境造成污染，长期使用会降低存储柜的效能。如何避免上述问题，是目前亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是，提供一种防泄漏存储柜，在打开存储柜时能够避免柜内气体泄漏。为了解决上述问题，本技术提供了一种防泄漏存储柜，包括：至少一层柜体，所述柜体一侧具有开口，所述开口处设置有柜门；风幕机，安装于柜体内侧顶部，与柜门相邻的边缘处，所述风幕机的吹风口朝向柜体底部；控制器，与所述风幕机连接，用于控制所述风幕机的开启或关闭。可选的，所述控制器包括：传感模块，用于感应柜门的打开或关闭状态；控制模块，与所述传感模块本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防泄漏存储柜，其特征在于，包括：至少一层柜体，所述柜体一侧具有开口，所述开口处设置有柜门；风幕机，安装于柜体内侧顶部，与柜门相邻的边缘处，所述风幕机的吹风口朝向柜体底部；控制器，与所述风幕机连接，用于控制所述风幕机的开启或关闭。

【技术特征摘要】
1.一种防泄漏存储柜，其特征在于，包括：至少一层柜体，所述柜体一侧具有开口，所述开口处设置有柜门；风幕机，安装于柜体内侧顶部，与柜门相邻的边缘处，所述风幕机的吹风口朝向柜体底部；控制器，与所述风幕机连接，用于控制所述风幕机的开启或关闭。2.根据权利要求1所述的防泄漏存储柜，其特征在于，所述控制器包括：传感模块，用于感应柜门的打开或关闭状态；控制模块，与所述传感模块连接，用于根据柜门的代开或关闭状态，发送对应的控制指令至所述风幕机。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：张党柱，赖政聪，古哲安，黄志凯，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32