【技术实现步骤摘要】
纳米压痕加热装置以及相应的纳米压痕测试仪
本专利技术涉及微/纳米仪器领域，具体涉及一种纳米压痕加热装置以及相应的纳米压痕测试仪。
技术介绍
随着纳米技术的发展，新的纳米结构、纳米材料及其卓越性能不断被人们发现和认识，并显示了非常广阔的应用前景。新型纳米材料的飞速发展迫切需要与之相匹配的纳米力学性能测试策略。现有应用在扫描电镜(SEM)中纳米压痕加热平台系统存在以下缺点：加热平台采用水冷、液氮气体系统进行冷却，增加了系统设计以及安装复杂难度，流动的冷却系统影响整个加热平台系统工作过程中温度稳定。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种减少了散热系统设计、安装复杂度，提高整个系统工作过程中高温稳定性能的纳米压痕加热装置以及相应的纳米压痕测试仪。为了解决上述技术问题，本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种纳米压痕加热装置，包括加热机构、连接部件以及散热机构，所述加热机构穿设在所述散热机构上，且所述散热机构与所述加热机构之间设置有间隙，所述散热机构设置在所述连接部件上；所述散热机构包括散热块以及散热带，所述散热带一端通过高温胶与所述散热块的外表面连接，所...
【技术保护点】
1.一种纳米压痕加热装置，其特征在于，包括加热机构、连接部件以及散热机构，所述加热机构穿设在所述散热机构上，且所述散热机构与所述加热机构之间设置有间隙，所述散热机构设置在所述连接部件上；所述散热机构包括散热块以及散热带，所述散热带一端通过高温胶与所述散热块的外表面连接，所述散热块放置在连接装置上，所述散热带的自由端与SEM的内侧墙壁连接形成散热通道。
【技术特征摘要】
1.一种纳米压痕加热装置，其特征在于，包括加热机构、连接部件以及散热机构，所述加热机构穿设在所述散热机构上，且所述散热机构与所述加热机构之间设置有间隙，所述散热机构设置在所述连接部件上；所述散热机构包括散热块以及散热带，所述散热带一端通过高温胶与所述散热块的外表面连接，所述散热块放置在连接装置上，所述散热带的自由端与SEM的内侧墙壁连接形成散热通道。2.如权利要求1所述的纳米压痕加热装置，其特征在于，所述散热块为紫铜块，所述散热带为紫铜带。3.如权利要求1所述的纳米压痕加热装置，其特征在于，所述加热机构包括加热平台、隔热罩，所述加热平台内设有加热丝，所述加热平台设置在所述隔热罩上，所述加热平台底部设置有加热杆，且所述加热杆穿设在所述隔热罩内，且所述加热杆下端与隔热罩底部之间设有间隙。4.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈科纶，谷森，朱军辉，孙钰，汝长海，
申请(专利权)人：江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。