缺陷检测系统及缺陷检测方法技术方案

一种缺陷检测系统及缺陷检测方法，系统包括：定位模块，所述定位模块适于获取晶圆表面缺陷的坐标信息；位置分析模块，所述位置分析模块适于对所述坐标信息进行分析，并确定出晶圆中的特征缺陷区域；抽样分配模块，所述抽样分配模块适于根据第一抽样数指令确定出各特征缺陷区域表面缺陷中的抽样特征缺陷；图像获取模块，所述图像获取模块适于获取各抽样特征缺陷的图像信息。所述缺陷检测系统的性能得到提高。

【技术实现步骤摘要】
缺陷检测系统及缺陷检测方法
本专利技术涉及半导体测试领域，尤其涉及一种缺陷检测系统及缺陷检测方法。
技术介绍
晶圆经过工艺制程后，需要对晶圆表面进行检测，通过检测晶圆判断工艺制程是否正常进行。对晶圆表面的缺陷检测是一项重要的内容。通常，晶圆表面会存在一定数量的缺陷，针对晶圆表面的缺陷需要进行分析，以便及时发现异常，进而对工艺进行改善。然而，现有对晶圆表面缺陷检测的系统的性能较差。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种缺陷检测系统及缺陷检测方法，以提高缺陷检测系统的性能。为解决上述问题，本专利技术提供一种缺陷检测系统，定位模块，所述定位模块适于获取晶圆表面缺陷的坐标信息；位置分析模块，所述位置分析模块适于对所述坐标信息进行分析，并确定出晶圆中的特征缺陷区域；抽样分配模块，所述抽样分配模块适于根据第一抽样数指令确定出各特征缺陷区域表面缺陷中的抽样特征缺陷；图像获取模块，所述图像获取模块适于获取各抽样特征缺陷的图像信息。可选的，所述定位模块包括明场暗场扫描机台。可选的，所述位置分析模块、抽样分配模块和所述图像获取模块集成在一起。可选的，所述位置分析模块包括：特征函数库模块，所述特征函数库模块适于提供若干特征函数；特征分析模块，所述特征分析模块适于接受定位模块提供的所述坐标信息，并将所述坐标信息与各特征函数进行匹配，根据匹配结果输出特征缺陷区域的位置信息。可选的，所述抽样分配模块包括人机交互界面、分配规则库模块和分配中心模块；所述人机交互界面适于接受第一抽样数指令，并将第一抽样数指令传递给分配中心模块；所述分配规则库模块适于提供若干分配规则，并将任意一种分配规则传输至分配中心模块；所述分配中心模块适于接收接受定位模块提供的所述坐标信息和位置分析模块提供的特征缺陷区域的信息，所述分配中心模块适于根据第一抽样数指令和接收的所述任意一种分配规则，确定出各特征缺陷区域表面缺陷中的抽样特征缺陷。可选的，所述位置分析模块还适于确定出晶圆中的本征缺陷区域，所述本征缺陷区域为晶圆中特征缺陷区域之外的区域；所述抽样分配模块还适于根据第二抽样数指令确定出本征缺陷区域表面缺陷中的抽样本征缺陷；所述图像获取模块还适于获取各抽样本征缺陷的图形信息。可选的，所述图像获取模块包括：图像采集模块，所述图像采集模块适于接收所述抽样特征缺陷的位置信息，并采集所述抽样特征缺陷的图像信息。可选的，所述图像获取模块还包括：随机抽样模块，所述随机抽样模块适于对晶圆表面缺陷进行随机抽样，确定出晶圆表面缺陷中的随机抽样缺陷；所述图像采集模块还适于接收所述随机抽样缺陷的位置信息，并采集所述随机抽样缺陷的图像信息。本专利技术还提供一种缺陷检测方法，包括：提供上述任意一项的缺陷检测系统；提供晶圆；采用定位模块获取晶圆表面缺陷的坐标信息；采用位置分析模块对所述坐标信息进行分析，并确定出晶圆中的特征缺陷区域；采用抽样分配模块根据第一抽样数指令确定出各特征缺陷区域表面缺陷中的抽样特征缺陷；采用图像获取模块获取各抽样特征缺陷的图像信息。可选的，所述定位模块包括明场暗场扫描机台；所述明场暗场扫描机台包括扫描腔室和位于扫描腔室中的扫描探头；采用定位模块获取晶圆表面缺陷的坐标信息的方法包括：将所述晶圆放置在所述扫描腔室中，所述扫描探头位于所述晶圆的上方；驱动所述扫描探头对所述晶圆表面进行扫描，以获取晶圆表面缺陷的坐标信息。可选的，所述位置分析模块包括：特征函数库模块，所述特征函数库模块适于提供若干特征函数；特征分析模块；采用位置分析模块对所述坐标信息进行分析，并确定出晶圆中的特征缺陷区域的方法包括：所述特征分析模块接受定位模块提供的所述坐标信息，并将所述坐标信息与各特征函数进行匹配，根据匹配结果输出特征缺陷区域的位置信息。可选的，所述抽样分配模块包括人机交互界面、分配规则库模块和分配中心模块；采用抽样分配模块根据第一抽样数指令确定出各特征缺陷区域表面缺陷中的抽样特征缺陷的方法包括：输入第一抽样数指令至人机交互界面；所述人机交互界面将第一抽样数指令传递给分配中心模块；所述分配规则库模块将任意一种分配规则传输至分配中心模块；所述分配中心模块根据第一抽样数指令和接收的所述任意一种分配规则，确定出各特征缺陷区域表面缺陷中的抽样特征缺陷。与现有技术相比，本专利技术的技术方案具有以下优点：本专利技术技术方案提供的缺陷检测系统中，缺陷检测系统包括位置分析模块和抽样分配模块。所述位置分析模块适于对所述晶圆表面缺陷的坐标信息进行分析，并确定出晶圆中的特征缺陷区域。所述抽样分配模块适于根据第一抽样数指令确定出各特征缺陷区域表面缺陷中的抽样特征缺陷。所述图像获取模块适于获取各抽样特征缺陷的图像信息。这样避免通过随机抽样遗漏特征缺陷区域中的缺陷点，使得检测结果能准确反应出产品的缺陷状况，从而达到及时发现异常，确保产品良率稳定的目的。综上，提高了缺陷检测系统的性能。附图说明图1是本专利技术一实施例中缺陷检测系统的结构示意图；图2是本专利技术一实施例中缺陷检测过程的流程图；图3至图5是本专利技术一实施例中缺陷检测过程的结构示意图。具体实施方式正如
技术介绍
所述，现有对晶圆表面缺陷检测的系统的性能较差。一种缺陷检测方法，包括：提供明场暗场扫描机台；提供图像获取模块，所述图像获取模块包括随机抽样模块和图像采集模块；采用明场暗场扫描机台获取晶圆表面缺陷的坐标信息；采用随机抽样模块对缺陷点的坐标信息进行抽样；图像采集模块对所抽取的缺陷点进行图像采集。之后根据缺陷点的图像信息对缺陷点进行分析。当缺陷点在晶圆的某些区域的分布较为特殊时，有必要对该特殊区域表面的缺陷点进行分析。然而，由于随机抽样模块对缺陷点进行抽样具有随机性，因此有可能会遗漏该特殊区域表面的缺陷点，这样导致对晶圆表面缺陷分析并不完善，不能准备反应产品的实际缺陷状况。后续还需要重复或者手动检测，从而会浪费大量人力和时间。为了解决上述问题，本专利技术提供一种缺陷检测系统，包括：定位模块，所述定位模块适于获取晶圆表面缺陷的坐标信息；位置分析模块，所述位置分析模块适于对所述坐标信息进行分析，并确定出晶圆中的特征缺陷区域；抽样分配模块，所述抽样分配模块适于根据第一抽样数指令确定出各特征缺陷区域表面缺陷中的抽样特征缺陷；图像获取模块，所述图像获取模块适于获取各抽样特征缺陷的图像信息。所述缺陷检测系统的性能得到提高。为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施例做详细的说明。本专利技术一实施例提供一种缺陷检测系统，所述缺陷检测系统适于对晶圆表面的缺陷进行检测，请参考图1，包括：定位模块100，所述定位模块100适于获取晶圆表面缺陷的坐标信息；位置分析模块120，所述位置分析模块120适于对所述坐标信息进行分析，并确定出晶圆中的特征缺陷区域；抽样分配模块130，所述抽样分配模块130适于根据第一抽样数指令确定出各特征缺陷区域表面缺陷中的抽样特征缺陷；图像获取模块140，所述图像获取模块140适于获取各抽样特征缺陷的图像信息。所述定位模块100包括明场暗场扫描机台。所述明场暗场扫描机台包括扫描腔室和位于扫描腔室中的扫描探头。定位模块100不仅能获得晶圆表面的缺陷的坐标信息，还能获得各缺陷的大小信息。定位模块100获取的缺陷的大小信息为缺陷大致的尺寸。所述位置分本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种缺陷检测系统，其特征在于，包括：定位模块，所述定位模块适于获取晶圆表面缺陷的坐标信息；位置分析模块，所述位置分析模块适于对所述坐标信息进行分析，并确定出晶圆中的特征缺陷区域；抽样分配模块，所述抽样分配模块适于根据第一抽样数指令确定出各特征缺陷区域表面缺陷中的抽样特征缺陷；图像获取模块，所述图像获取模块适于获取各抽样特征缺陷的图像信息。

【技术特征摘要】
1.一种缺陷检测系统，其特征在于，包括：定位模块，所述定位模块适于获取晶圆表面缺陷的坐标信息；位置分析模块，所述位置分析模块适于对所述坐标信息进行分析，并确定出晶圆中的特征缺陷区域；抽样分配模块，所述抽样分配模块适于根据第一抽样数指令确定出各特征缺陷区域表面缺陷中的抽样特征缺陷；图像获取模块，所述图像获取模块适于获取各抽样特征缺陷的图像信息。2.根据权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述定位模块包括明场暗场扫描机台。3.根据权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述位置分析模块、抽样分配模块和所述图像获取模块集成在一起。4.根据权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述位置分析模块包括：特征函数库模块，所述特征函数库模块适于提供若干特征函数；特征分析模块，所述特征分析模块适于接受定位模块提供的所述坐标信息，并将所述坐标信息与各特征函数进行匹配，根据匹配结果输出特征缺陷区域的位置信息。5.根据权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述抽样分配模块包括人机交互界面、分配规则库模块和分配中心模块；所述人机交互界面适于接受第一抽样数指令，并将第一抽样数指令传递给分配中心模块；所述分配规则库模块适于提供若干分配规则，并将任意一种分配规则传输至分配中心模块；所述分配中心模块适于接收接受定位模块提供的所述坐标信息和位置分析模块提供的特征缺陷区域的信息，所述分配中心模块适于根据第一抽样数指令和接收的所述任意一种分配规则，确定出各特征缺陷区域表面缺陷中的抽样特征缺陷。6.根据权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述位置分析模块还适于确定出晶圆中的本征缺陷区域，所述本征缺陷区域为晶圆中特征缺陷区域之外的区域；所述抽样分配模块还适于根据第二抽样数指令确定出本征缺陷区域表面缺陷中的抽样本征缺陷；所述图像获取模块还适于获取各抽样本征缺陷的图形信息。7.根据权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述图像获取模块包括：图像采集模块，所述图像采集模块适于接收所述抽样特征缺陷的位置信息，并采集所述抽样特征缺陷的...

【专利技术属性】
技术研发人员：许平康，方桂芹，黄仁德，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32