一种金刚线切割硅片预处理设备制造技术

本发明专利技术公开了一种金刚线切割硅片预处理设备，包括腔体、一组或多组等离子发生器、传送系统以及废气排放系统；所述的等离子发生器安装在上腔体的上端面上并与腔体连通，所述的废气排放系统与腔体下端面相连并与腔体连通；所述传送系统穿过腔体左右两侧的开口并向两侧延伸；通过射频电源激发铜线圈,产生电磁震荡,刻蚀气体通过气管通入石英反应腔,混合后被射频电源激发为等离子体,当硅片从下方经过时对硅片表面进行刻蚀，在硅片表面留下均匀细小的缺陷,这些缺陷在制绒槽内背继续腐蚀放大为绒面结构，使得后期制绒效果好，可以减少或者替代制绒添加剂，降低制绒成本和废水处理成本，提高电池片转换效率。

A Pretreatment Equipment for Wire Diamond Cutting Silicon Wafer

The invention discloses a silicon wafer pretreatment device for WEDM, which comprises a cavity, one or more plasma generators, a transmission system and an exhaust gas discharge system; the plasma generator is installed on the upper end surface of the upper cavity and connected with the cavity; the exhaust gas discharge system is connected with the lower end surface of the cavity and connected with the cavity; the transmission system passes through the left and right sides of the cavity. The opening extends to both sides; the copper coil is stimulated by radio frequency power supply to produce electromagnetic oscillation, and the etching gas passes through the trachea to the quartz reaction chamber. After mixing, the plasma is excited by radio frequency power supply. When the silicon wafer passes through the bottom, the surface of the silicon wafer is etched, leaving uniform and small defects on the surface of the silicon wafer wafer. These defects continue to corrode and amplify into the velvet structure in the back of the velvet groove, so that It can reduce or replace the additives, reduce the cost of cashmere making and wastewater treatment, and improve the conversion efficiency of batteries.

【技术实现步骤摘要】
一种金刚线切割硅片预处理设备
本专利技术属于太阳能电池制造领域，具体涉及一种金刚线切割硅片预处理设备。
技术介绍
在太阳能电池持续降成本的趋势下,硅片切割方式普遍转变为金刚线切割,金刚线切割硅片,可以明显降低切割成本,提高出片率,同时提升生产效率,但是,金刚线切割硅片表面比较平滑,缺陷少,在后续的制绒工序不容易出绒面,导致反射率高,转换效率低；目前普遍的做法有两种,一种是在制绒过程中使用制绒添加剂,改善绒面效果,这种方法有一定效果,但是仍然达不到砂浆切割片的效果,并且使污水处理增加了难度；另外一种是干法制绒,直接用等离子体轰击产生陷光结构,但是这种工艺设备昂贵,成本增加大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种金刚线切割硅片预处理设备，不仅使得硅片满足切割片的效果，还降低了切割成本,提高了出片率,同时还提升了生产效率。本专利技术所述的一种金刚线切割硅片预处理设备，包括腔体、一组或多组等离子发生器、传送系统以及废气排放系统；所述腔体的左右两侧开有对称的开口；所述的等离子发生器包括射频电源、铜线圈以及石英罩，所述的铜线圈缠绕在石英罩的外壁上，并一头与射频电源的正级相连，另一头与射频电源的正级相连的负级相连；所述的传送系统包括传动电机、带有变速器的齿轮、链条、主传动辊、副传动辊以及传送网带，所述的电机与齿轮相连，所述的齿轮通过链条与主传动辊相连，主传动辊与副传动辊之间连接传送网带；所述电机的传动轴带动齿轮转动从而使得链条带动主传动辊转动，同时使得带动传送网带带动副传动辊转动；所述的废气排放系统包括耐腐蚀风管以及与耐腐蚀风管相连的抽风泵；所述的等离子发生器安装在上腔体的上端面上并与腔体连通，所述的废气排放系统与腔体下端面相连并与腔体连通；所述传送系统穿过腔体左右两侧的开口并向两侧延伸。进一步改进，所述的石英罩与腔体连通。进一步改进，所述的传送系统由四根支撑柱支撑。进一步改进，所述的耐腐蚀风管与腔体下端面相连并与腔体连通。进一步改进，所述的石英罩上连接有刻蚀气体进口管。进一步改进，所述的石英罩外壁长20cm，宽20cm，高20cm，壁厚5mm。进一步改进，所述的铜线圈的直径为5mm。本专利技术的工作原理：通过13.56MHz、5000W的射频电源激发铜线圈,产生电磁震荡,然后激发石英罩内的刻蚀气体,对下方传送带传送来的硅片进行刻蚀,在硅片表面留下均匀细小的缺陷,再将这些缺陷硅片在制绒槽内背继续腐蚀放大为绒面结构；本专利技术的有益效果在于：本专利技术是将干法制绒与湿法制绒相结合，效果比任何单独的一种制绒方法要好，此设备结构简单，操作方便，成本低，工效快，降低了企业生产的成本，不仅使得硅片满足切割片的效果，还降低了切割成本,提高了出片率,同时还提升了生产效率，使得后期制绒效果好，可以减少或者替代制绒添加剂，降低制绒成本和废水处理成本，提高电池片转换效率。附图说明图1是本专利技术的结构示意图；图2是等离子发生器的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作进一步说明。如图1-2所示，本专利技术所述的一种金刚线切割硅片预处理设备，包括腔体2、一组或多组等离子发生器3、传送系统以及废气排放系统；所述腔体的左右两侧开有对称的开口1；所述的等离子发生器安装在上腔体的上端面上并与腔体连通，所述的废气排放系统与腔体下端面相连并与腔体连通；所述传送系统穿过腔体左右两侧的开口并向两侧延伸；所述的等离子发生器3包括射频电源31、直径为5mm的铜线圈32以及石英罩33，所述的铜线圈缠绕在石英罩的外壁上，并一头与射频电源的正级相连，另一头与射频电源的正级相连的负级相连；所述的石英罩上连接有刻蚀气体进口管34，通过13.56MHz、5000W的射频电源激发铜线圈,产生电磁震荡,然后激发石英罩内的刻蚀气体,对下方传送带传送来的硅片进行刻蚀，刻蚀的程度由等离子体强度和传送速度决定；所述的传送系统包括传动电机5、带有变速器的齿轮6、链条7、主传动辊8、副传动辊9以及传送网带10，所述的电机与齿轮相连，所述的齿轮通过链条与主传动辊相连，主传动辊与副传动辊之间连接传送网带；所述电机的传动轴带动齿轮转动从而使得链条带动主传动辊转动，同时使得带动传送网带带动副传动辊转动；该传送系统主要用于硅片的传送工作，还安装有变速器齿轮来控制电机的带动速度以此来控制传送的速度；该传送系统的四端连接四根支撑柱11，使得更加的稳固，得到更好支撑；所述的废气排放系统包括耐腐蚀风管12以及与耐腐蚀风管相连的抽风泵13，将废气吸入废气处理设备中进行处理；所述的石英罩外壁长20cm，宽20cm，高20cm，壁厚5mm，安装在上盖体上的进气口处并与腔体连通，作为一个反应腔；所述的耐腐蚀风管与腔体下端面相连并与腔体连通；本专利技术根据制绒原理发现,只要增加硅片表面的形核点,就能很好的长出绒面,所以,我们只需要在硅片表面用等离子体刻蚀出一些小的缺陷/凹坑,即可；同时，等离子体产生的绒面更加均匀；通过射频电源激发铜线圈,产生电磁震荡,刻蚀气体通过气管通入石英反应腔,混合后被射频电源激发为等离子体,当硅片从下方经过时对硅片表面进行刻蚀，在硅片表面留下均匀细小的缺陷,这些缺陷在制绒槽内背继续腐蚀放大为绒面结构，使得后期制绒效果好，可以减少或者替代制绒添加剂，降低制绒成本和废水处理成本，提高电池片转换效率。以上所述仅是本专利技术的优选实施方法，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以作出若干改进，这些改进也应视为本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金刚线切割硅片预处理设备，其特征在于：包括腔体、一组或多组等离子发生器、传送系统以及废气排放系统；所述腔体的左右两侧开有对称的开口；所述的等离子发生器包括射频电源、铜线圈以及石英罩，所述的铜线圈缠绕在石英罩的外壁上，并一头与射频电源的正级相连，另一头与射频电源的正级相连的负级相连；所述的传送系统包括传动电机、带有变速器的齿轮、链条、主传动辊、副传动辊以及传送网带，所述的电机与齿轮相连，所述的齿轮通过链条与主传动辊相连，主传动辊与副传动辊之间连接传送网带；所述电机的传动轴带动齿轮转动从而使得链条带动主传动辊转动，同时使得带动传送网带带动副传动辊转动；所述的废气排放系统包括耐腐蚀风管以及与耐腐蚀风管相连的抽风泵；所述的等离子发生器安装在上腔体的上端面上并与腔体连通，所述的废气排放系统与腔体下端面相连并与腔体连通；所述传送系统穿过腔体左右两侧的开口并向两侧延伸。

【技术特征摘要】
1.一种金刚线切割硅片预处理设备，其特征在于：包括腔体、一组或多组等离子发生器、传送系统以及废气排放系统；所述腔体的左右两侧开有对称的开口；所述的等离子发生器包括射频电源、铜线圈以及石英罩，所述的铜线圈缠绕在石英罩的外壁上，并一头与射频电源的正级相连，另一头与射频电源的正级相连的负级相连；所述的传送系统包括传动电机、带有变速器的齿轮、链条、主传动辊、副传动辊以及传送网带，所述的电机与齿轮相连，所述的齿轮通过链条与主传动辊相连，主传动辊与副传动辊之间连接传送网带；所述电机的传动轴带动齿轮转动从而使得链条带动主传动辊转动，同时使得带动传送网带带动副传动辊转动；所述的废气排放系统包括耐腐蚀风管以及与耐腐蚀风管相连的抽风泵；所述的等离子发生...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋建宝，
申请(专利权)人：无锡赛晶太阳能有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32