检查方法及检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术的实施方式涉及检查方法及检查装置。实施方式的检查方法具备粗校准工序和精校准工序，在粗校准工序中，取得作为确认相对于X、Y方向的样品(2)的旋转方向上的位置偏移量是否为第1容许值以下的粗校准中使用的图案而预先设定的第1及第2图案的光学图像，基于取得结果，确认位置偏移量是否为第1容许值以下，在精校准工序中，在确认了为第1容许值以下的情况下，取得在样品(2)的光学图像上位于以沿着X、Y方向的四边构成的矩形框的不同的角部上、且在对位置偏移进行校正的精校准中使用的第3图案的光学图像，使台架(6)旋转，直到基于第3图案的光学图像检测到的位置偏移量达到比第1容许值小的第2容许值以下为止。

Inspection Method and Inspection Device

The embodiment of the present invention relates to a checking method and a checking device. The inspection method of the embodiment includes rough calibration and precise calibration. In the rough calibration process, optical images of the first and second patterns preset to confirm whether the position offset in the rotation direction of the sample (2) relative to the X and Y directions is the pattern used in the rough calibration below the first allowable value are obtained. Based on the results obtained, it is confirmed whether the position offset is the first tolerance. Below the allowable value, in the precise calibration process, when the first allowable value is confirmed below, the optical image of the third pattern used in the precise calibration of the position offset, which is located at different corners of the rectangular frame along the four edges of the X and Y directions, is obtained on the optical image of the sample (2), so that the bench (6) rotates until the optical image inspection based on the third pattern is carried out. The measured position offset is below the second allowable value which is smaller than the first allowable value.

【技术实现步骤摘要】
检查方法及检查装置
本专利技术涉及检查方法及检查装置。
技术介绍
在光刻法所使用的光掩模(以下，也简称为掩模)上所形成的图案的缺陷的检查中，采用了如下的自动校准方法：在开始检查之前，自动进行对位以避免被装载在具有能够载置掩模的XY平面的台架上的掩模相对于作为台架的移动方向的X方向或Y方向具有倾斜。在以往的自动校准方法中，为了自动校准而预先在掩模的检查区域形成例如十字形状等的特定图案，并从以高倍率对掩模进行拍摄而得到的高倍图像中检测特定图案。然后，基于检测到的特定图案，使台架与掩模一起旋转，来进行自动校准，以消除掩模相对于台架的移动方向的倾斜，该台架的移动方向沿着将应该检查图案缺陷的掩模的检查区域虚拟分割为多个长条状而成的条纹。但是，以往的自动校准方法，将形成有专门针对自动校准的特定图案的掩模作为对象，未形成有特定图案的一般的掩模不作为对象。即，在为不具有特定图案的掩模的情况下，无法实施上述自动校准。希望提高校准的通用性。
技术实现思路
本专利技术提供即使是不具有特定图案的掩模也能够进行台架的旋转中的自动校准的检查方法及检查装置。本专利技术的一个方式的检查方法，使用具备台架的检查装置，检查在样品的检查区域所设置的图案的缺陷，该台架具有能够载置样品的XY平面，能够在X方向及Y方向上移动并且能够绕相对于XY平面大致垂直的Z轴旋转，该检查方法包括：实施粗校准的工序，在粗校准中，确认相对于上述X方向或上述Y方向的、上述样品的旋转方向上的位置偏移量是否为第1容许值以下；以及实施精校准的工序，在精校准中，进行校正以使上述位置偏移量达到比上述第1容许值小的第2容许值以下，上述实施粗校准的工序包括：取得作为上述粗校准中使用的图案而预先设定的上述样品的检查区域上的第1图案的光学图像，从上述第1图案的光学图像被取得时的上述台架的位置起，使上述台架在上述X方向或上述Y方向上以预先决定的移动量移动，在使上述台架以上述移动量移动了时，在取得了上述检查区域上的第2图案的光学图像的情况下，认定为上述位置偏移量为上述第1容许值以下，该第2图案作为上述粗校准中使用的图案而预先设定、并且相对于上述第1图案在上述X方向或上述Y方向上分离而配置，另一方面，在未取得上述第2图案的光学图像的情况下，认定为上述位置偏移量比上述第1容许值大，上述实施精校准的工序包括：在通过上述粗校准确认了上述位置偏移量为上述第1容许值以下的情况下，取得上述精校准中使用的多个第3图案的光学图像，该多个第3图案的光学图像在上述样品的光学图像的上述检查区域上位于以沿着上述X方向或上述Y方向的四边构成的矩形框的不同的多个角部上，基于所取得的上述多个第3图案的光学图像，检测上述位置偏移量，使上述台架旋转，直到所检测到的上述位置偏移量达到上述第2容许值以下为止。在上述的检查方法中，可以是，多个第3图案为，位于在检查区域的多个角部的每个角部所设定的规定范围的多个区域内、且具有沿着X方向及Y方向的至少一方的边缘的图案。在上述的检查方法中，可以是，实施精校准的工序包括：，在位置偏移量由于台架的旋转而未达到第2容许值以下的情况下，重新取得第1图案的光学图像，根据相对于重新取得的第1图案的光学图像的相对移动，重新取得第3图案的光学图像，基于重新取得的第3图案的光学图像，重新检测位置偏移量，使台架再次旋转，以使重新检测到的位置偏移量达到第2容许值以下。在上述的检查方法中，可以是，第3图案是位于距第1图案一定距离内的图案。本专利技术的一个方式的检查装置，具备台架，该台架具有能够载置样品的XY平面，能够在X方向及Y方向上移动并且能够绕相对于XY平面大致垂直的Z轴旋转，该检查装置检查在样品的检查区域所设置的图案的缺陷，该检查装置具备：粗校准部，实施粗校准，在粗校准中，确认相对于上述X方向或上述Y方向的、上述样品的旋转方向上的位置偏移量是否为第1容许值以下；以及精校准部，实施精校准，在精校准中，进行校正以使上述位置偏移量达到比上述第1容许值小的第2容许值以下，上述粗校准部进行如下处理：取得作为上述粗校准中使用的图案而预先设定的上述样品的检查区域上的第1图案的光学图像，从上述第1图案的光学图像被取得时的上述台架的位置起，使上述台架在上述X方向或上述Y方向上以预先决定的移动量移动，在使上述台架以上述移动量移动了时，在取得了上述检查区域上的第2图案的光学图像的情况下，认定为上述位置偏移量为上述第1容许值以下，该第2图案作为上述粗校准中使用的图案而预先设定、并且相对于上述第1图案在上述X方向或上述Y方向上分离而配置，另一方面，在未取得上述第2图案的光学图像的情况下，认定为上述位置偏移量比上述第1容许值大，上述精校准部进行如下处理：在通过上述粗校准确认了上述位置偏移量为上述第1容许值以下的情况下，取得上述精校准中使用的多个第3图案的光学图像，该多个第3图案的光学图像在上述样品的光学图像的上述检查区域上位于以沿着上述X方向或上述Y方向的四边构成的矩形框的不同的多个角部上，基于所取得的上述多个第3图案的光学图像，检测上述位置偏移量，使上述台架旋转，直到所检测到的上述位置偏移量达到上述第2容许值以下为止。根据本专利技术，能够进行不需要特定图案的校准，从而能够提高校准的通用性。附图说明图1是表示第1实施方式的图案检查装置的图。图2是表示第1实施方式的图案检查方法的流程图。图3是表示第1实施方式的图案检查方法的立体图。图4是表示第1实施方式的图案检查方法中的、粗校准图案的一例的俯视图。图5是表示第1实施方式的图案检查方法中的、包括精校准图案的矩形框的角部上的4个校准图案的取得工序的俯视图。图6是表示第1实施方式的图案检查方法中的、无法取得4个校准图案的例子的俯视图。图7是表示第1实施方式的图案检查方法中的、最大矩形框的角部上的4个校准图案的取得工序的俯视图。图8是表示接着图5的第1实施方式的图案检查方法中的、粗校准工序的俯视图。图9是表示接着图8的第1实施方式的图案检查方法中的、精校准中的精校准图案的偏移量的测定工序的俯视图。图10是表示接着图9的第1实施方式的图案检查方法中的、精校准中的XYθ工作台的旋转工序的俯视图。图11是表示第2实施方式的图案检查方法的俯视图。图12是表示第3实施方式的图案检查方法的流程图。图13是表示第3实施方式的图案检查方法的俯视图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。实施方式不限定本专利技术。另外，在实施方式参照的图中，对于具有同一部分或同样的功能的部分标注同一符号或类似的符号，其重复的说明予以省略。(第1实施方式)图1是作为本专利技术的检查装置的一例而表示第1实施方式的图案检查装置1的图。图1的图案检查装置1例如能够用于通过D－DB(DietoDatabase)检查来检查在作为样品的一例的光刻法用掩模2上所形成的图案的缺陷。如图1所示，图案检查装置1，在光的行进方向上依次具备光源3、偏转分光器4、物镜5、作为台架的一例的XYθ工作台6、成像用透镜7及光电二极管阵列8。另外，也可以在偏转分光器4与XYθ工作台6之间设置用于使光的偏转方向变化的波长板。光源3朝向偏转分光器4射出激光光。偏转分光器4将来自光源3的光朝向物镜5反射。物镜5将被偏转分光器4反射的光朝向XYθ工作台6照射。XYθ工本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检查方法，使用具备台架的检查装置，检查在样品的检查区域所设置的图案的缺陷，该台架具有能够载置上述样品的XY平面，能够在X方向及Y方向上移动并且能够绕相对于上述XY平面大致垂直的Z轴旋转，该检查方法包括：实施粗校准的工序，在粗校准中，确认相对于上述X方向或上述Y方向的、上述样品的旋转方向上的位置偏移量是否为第1容许值以下；以及实施精校准的工序，在精校准中，进行校正以使上述位置偏移量达到比上述第1容许值小的第2容许值以下，上述实施粗校准的工序包括如下处理：取得作为上述粗校准中使用的图案而预先设定的上述样品的检查区域上的第1图案的光学图像，从上述第1图案的光学图像被取得时的上述台架的位置起，使上述台架在上述X方向或上述Y方向上以预先决定的移动量移动，在使上述台架以上述移动量移动了时，取得了上述检查区域上的第2图案的光学图像的情况下，认定为上述位置偏移量为上述第1容许值以下，该第2图案的光学图像作为上述粗校准中使用的图案而预先设定、并且相对于上述第1图案在上述X方向或上述Y方向上分离而配置，另一方面，在未取得上述第2图案的光学图像的情况下，认定为上述位置偏移量比上述第1容许值大，在上述实施精校准的工序中包括如下处理：在通过上述粗校准确认了上述位置偏移量为上述第1容许值以下的情况下，取得上述精校准中使用的多个第3图案的光学图像，该多个第3图案的光学图像在上述样品的光学图像的上述检查区域上位于以沿着上述X方向或上述Y方向的四边构成的矩形框的不同的多个角部上，基于所取得的上述多个第3图案的光学图像，检测上述位置偏移量，使上述台架旋转，直到所检测到的上述位置偏移量达到上述第2容许值以下为止。...

【技术特征摘要】
2017.09.28 JP 2017-1889701.一种检查方法，使用具备台架的检查装置，检查在样品的检查区域所设置的图案的缺陷，该台架具有能够载置上述样品的XY平面，能够在X方向及Y方向上移动并且能够绕相对于上述XY平面大致垂直的Z轴旋转，该检查方法包括：实施粗校准的工序，在粗校准中，确认相对于上述X方向或上述Y方向的、上述样品的旋转方向上的位置偏移量是否为第1容许值以下；以及实施精校准的工序，在精校准中，进行校正以使上述位置偏移量达到比上述第1容许值小的第2容许值以下，上述实施粗校准的工序包括如下处理：取得作为上述粗校准中使用的图案而预先设定的上述样品的检查区域上的第1图案的光学图像，从上述第1图案的光学图像被取得时的上述台架的位置起，使上述台架在上述X方向或上述Y方向上以预先决定的移动量移动，在使上述台架以上述移动量移动了时，取得了上述检查区域上的第2图案的光学图像的情况下，认定为上述位置偏移量为上述第1容许值以下，该第2图案的光学图像作为上述粗校准中使用的图案而预先设定、并且相对于上述第1图案在上述X方向或上述Y方向上分离而配置，另一方面，在未取得上述第2图案的光学图像的情况下，认定为上述位置偏移量比上述第1容许值大，在上述实施精校准的工序中包括如下处理：在通过上述粗校准确认了上述位置偏移量为上述第1容许值以下的情况下，取得上述精校准中使用的多个第3图案的光学图像，该多个第3图案的光学图像在上述样品的光学图像的上述检查区域上位于以沿着上述X方向或上述Y方向的四边构成的矩形框的不同的多个角部上，基于所取得的上述多个第3图案的光学图像，检测上述位置偏移量，使上述台架旋转，直到所检测到的上述位置偏移量达到上述第2容许值以下为止。2.根据权利要求1所述的检查方法，其中，上述多个第3图案为，位于在上述检查区域的多个角部的每个角部所设定的多个区域内、且具有沿着上述X方向及上述Y方向的至少一方的边缘的图案。3.根据权利要求1所述的检查方法，其中，在上述实施精校准的工序中包括如下处理：在上述位置偏移量通过上述台架的旋转而未达到上述第2容许值以下的情况下，重新取得上述第1图案的光学图像，根据相对于重新取得的上述第1图案的光学图像的相对移动，重新取得上述第3图案的光学图像，基于重新取得的上述第3图案的光学图像，重新检测上述位置偏移量，使上述台架再次旋转，以使重新检测到的上述位置偏移量达到上述第2容许值...

【专利技术属性】
技术研发人员：矢部诚，秋山裕照，井上贵文，
申请(专利权)人：纽富来科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP