本发明专利技术提供一种对于彩色图像的检测精度高而且正交率高、且用于判定处理的运算时间快、并且初始设定容易且成本低的图像检查装置。本发明专利技术的图像检查装置(1)的特征在于具备：摄影机构(18)，将检查对象拍摄成彩色图像(40)；网格机构(31)，将所述彩色图像(40)划分成网状；预处理机构(32)，将所述彩色图像(40)转换为特定的灰阶；基准图像存储机构；判定机构(34)，包含如下的模板匹配，即，对于通过所述网格机构(31)及所述预处理机构(32)而划分为所述网状的多个区分并且转换为所述特定的灰阶的、由所述摄像机构(18)拍摄的检查图像(40T)及所述基准图像(40R)，针对所述网状的多个区分的每一个，基于特定的参数来判定相似度；及接口机构(30)。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】图像检查装置、生产系统、图像检查方法、程序及存储介质
本专利技术涉及一种检查安装在电路衬底的零件的状态、电路衬底的配线图案、焊球、损伤、污渍等的图像检查装置、具备该图像检查装置的生产系统、图像检查装置、程序、及存储着该程序的存储介质。
技术介绍
在电路衬底的安装检查中，一直以来广泛地进行三维(3D)图像检查。作为3D图像检查的机构，例如有使用激光的机构、投射叠纹光的机构、从多个方向利用相机进行拍摄的机构等，但全部为初始设定的步骤数多，且设定要花费大量的劳力及时间。另外，因印刷衬底的印刷状态的微小变化或印刷衬底的批次的不同而误判定为不良品的情况也较多，每当这时必须进行再调整，且该再调整需要较多的步骤数。进而，存在用于图像检查的运算也变得复杂，且花费较长的检查时间的问题。尤其是，在进行多品种少量生产的情况下，如果初始设定等费工夫，那么变为相比之下目视检查更快的结果，而无法享有检查自动化的优点。在少量生产中，也存在当通过回焊后的检查发现安装机中的问题时，生产已经结束的情况。在该情况下，有用的是在作为更前一步骤的回焊之前追加检查装置，而使对安装机的反馈及早，但初始设定需要大量的步骤数，且难以追加成本高的检查装置。为了缩短检查时间，也对二维(2D)图像检查的采用进行了研究。像专利文献1～专利文献3所揭示那样，提出有在2D图像检查中，将拍摄画面分割为多个区分，并针对各区分与成为基准的图像进行比较来判定电路衬底的良否的机构。在专利文献1中，揭示了如下机构：将印刷衬底的拍摄图像分割为多个区分，并与对应于该区分且分别独立地存储于存储部的基准图像数据进行比较，来进行利用图像处理的印刷衬底的良否判定。在将图像分割为各区分时，以印刷衬底上的基准标记(fiducialmark)为基准进行位置设定。良否的判定是撷取拍摄图像与基准图像数据的差分要素，并根据该差分要素的面积是否为预先设定的上限差分面积以下而进行。基准图像数据是最初包含一个或多个良品衬底的取样图像，但随着检查进行而反映检查结果地适当追加。在专利文献2中，揭示了如下机构：为了客观地检测宏观级别的异常(例如，因基于成膜步骤中的条件的差异所产生的对比度等成膜结果的逐次变化等，而利用肉眼能够观察到的范围内的异常)，将比较基准宏观图像及检查对象宏观图像分别纵横地分割为多个区分并设定局部区域，对位置相互对应的各局部区域进行利用零均值归一化互相关(ZNCC：Zero-meanNormalizedCross-Correlation)的图像匹配。在专利文献2中，该图像匹配的结果为，算出各局部区域中的最小值以作为属于定量的评估值的相似度。在专利文献3中，作为印刷衬底中的导电性图案等的外观调查装置，揭示了如下机构：通过在将被分割成多个的被检查衬底的图像、与以同样地对应的方式被分割的标准图案图像进行对比时，一边使标准图案图像相对性地移动，一边进行比较，而即使存在定位误差也能够进行比较检查。在被检查衬底的图像与标准图案图像的比较中，在每个被分割的区分使用经二值化的信号。
技术介绍
文献专利文献专利文献1：日本专利特开2008-051781号公报专利文献2：日本专利特开2012-013644号公报专利文献3：日本专利特公平06-021769号公报
技术实现思路
[专利技术要解决的问题]在所述专利文献1中所记载的图像检查装置中，在将图像分割为各区分时，以印刷衬底上的基准标记为基准进行位置设定，但难以完全地排除定位误差，需要精密且昂贵的装置。另外，因为如果零件的安装位置存在偏移那么会被判定为不良品，所以直通率(nonadjustedratio)降低。进而，对于彩色图像的判定处理未充分地进行研究，因此难以实现判定的精度的最佳化。在所述专利文献2中所记载的图像检查装置中，未揭示对于运算负荷的对策，而有运算时间变长的疑虑。另外，因为对于彩色图像的判定处理未充分地进行研究，所以难以实现判定精度的最佳化。在所述专利文献3中所记载的图像检查装置中，虽然即使存在定位误差也能够进行比较检查，但是因为使用经二值化的信号，所以存在无法对彩色图像进行准确的判定处理的问题。因此，本专利技术的目的在于提供一种对于彩色图像的检测精度高而且直通率高、且用于判定处理的运算快、并且初始设定容易且成本低的图像检查装置。本专利技术的另一目的在于提供一种使用所述图像检查装置的生产系统。本专利技术的另一目的在于提供一种使用所述图像检查装置的图像检查方法。本专利技术的另一目的在于提供一种用于所述图像检查装置的程序。进而，本专利技术的另一目的在于提供一种存储有所述程序的存储介质。[解决问题的技术手段]本专利技术的所述目的可以通过以下构成来达成。即，本专利技术的第1形态的图像检查装置的特征在于具备：摄影机构，将检查对象拍摄成彩色图像；网格机构，将由所述摄影机构拍摄的所述彩色图像基于指定的网格尺寸而划分为网状的多个区分；预处理机构，将由所述摄影机构拍摄的所述彩色图像基于设定值而转换为特定的灰阶图像；基准图像存储机构，将由所述摄影机构拍摄且预先选定为基准的检查对象的所述彩色图像存储为基准图像；判定机构，包含如下的模板匹配，即，对于通过所述网格机构及所述预处理机构而划分为所述网状的多个区分并且转换为所述特定的灰阶的、由所述摄像机构拍摄的检查图像及所述基准图像，针对所述网状的多个区分的每一个基于特定的参数来运算相似度，且针对所述网状的多个区分的每一个在使基准图像与检查图像相对性地移动的特定的搜寻范围内搜寻所述相似度最高的位置；及接口机构，设定所述网格尺寸、所述设定值及所述参数中的至少一个，并且报告判定结果。本专利技术的第2形态的图像检查装置是根据第1形态的图像检查装置，其特征在于：将所述彩色图像通过所述网格机构划分为所述网状的多个区分之后，通过所述预处理机构转换为所述特定的灰阶图像。本专利技术的第3形态的图像检查装置的特征在于具备：摄影机构，将检查对象拍摄成彩色图像；网格机构，将由所述摄影机构拍摄的所述彩色图像基于指定的网格尺寸而划分为网状的多个区分；预处理机构，针对由所述网格机构划分的网状的多个区分的每一个，将由所述摄影机构拍摄的所述彩色图像基于设定值而转换为特定的灰阶图像；基准图像存储机构，将由所述摄影机构拍摄且预先选定为基准的检查对象的所述彩色图像存储为基准图像；判定机构，包含如下的模板匹配，即，对于由所述网格机构划分为网状的多个区分之后，通过所述预处理机构针对所述多个区分的每一个转换为所述特定的灰阶的、由所述摄像机构拍摄的检查图像及所述基准图像，针对所述网状的多个区分的每一个，基于特定的参数来判定相似度；及接口机构，设定所述网格尺寸、所述设定值及所述参数中的至少一个，并且报告判定结果。本专利技术的第4形态的图像检查装置是根据第1至第3的任一形态的图像检查装置，其特征在于：所述检查对象为衬底。本专利技术的第5形态的图像检查装置是根据第1至第4的任一形态的图像检查装置，其特征在于：所述图像检查装置还具备对检查对象进行照明的照明机构。本专利技术的第6形态的图像检查装置是根据第1至第5的任一形态的图像检查装置，其特征在于：能够对所述基准图像进行编辑。本专利技术的第7形态的图像检查装置是根据第1至第6的任一形态的图像检查装置，其特征在于：使用多个所述基准图像。本专利技术的第8形态的图像检查装置是根据第1至第7的任本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种图像检查装置，其特征在于具备：摄影机构，将检查对象拍摄成彩色图像；网格机构，将由所述摄影机构拍摄的所述彩色图像基于指定的网格尺寸而划分为网状的多个区分；预处理机构，将由所述摄影机构拍摄的所述彩色图像基于设定值而转换为特定的灰阶图像；基准图像存储机构，将由所述摄影机构拍摄且预先选定为基准的检查对象的所述彩色图像存储为基准图像；判定机构，包含如下的模板匹配：对于通过所述网格机构及所述预处理机构而划分为所述网状的多个区分并且转换为所述特定的灰阶的、由所述摄像机构拍摄的检查图像及所述基准图像，针对所述网状的多个区分的每一个基于特定的参数来运算相似度，且针对所述网状的多个区分的每一个在使基准图像与检查图像相对性地移动的特定的搜寻范围内搜寻所述相似度为最高的位置；及接口机构，设定所述网格尺寸、所述设定值及所述参数中的至少一个，并且报告判定结果。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.04.25 JP 2017-0857451.一种图像检查装置，其特征在于具备：摄影机构，将检查对象拍摄成彩色图像；网格机构，将由所述摄影机构拍摄的所述彩色图像基于指定的网格尺寸而划分为网状的多个区分；预处理机构，将由所述摄影机构拍摄的所述彩色图像基于设定值而转换为特定的灰阶图像；基准图像存储机构，将由所述摄影机构拍摄且预先选定为基准的检查对象的所述彩色图像存储为基准图像；判定机构，包含如下的模板匹配：对于通过所述网格机构及所述预处理机构而划分为所述网状的多个区分并且转换为所述特定的灰阶的、由所述摄像机构拍摄的检查图像及所述基准图像，针对所述网状的多个区分的每一个基于特定的参数来运算相似度，且针对所述网状的多个区分的每一个在使基准图像与检查图像相对性地移动的特定的搜寻范围内搜寻所述相似度为最高的位置；及接口机构，设定所述网格尺寸、所述设定值及所述参数中的至少一个，并且报告判定结果。2.根据权利要求1所述的图像检查装置，其特征在于，将所述彩色图像通过所述网格机构而划分为所述网状的多个区分之后，通过所述预处理机构而转换为所述特定的灰阶图像。3.一种图像检查装置，其特征在于具备：摄影机构，将检查对象拍摄成彩色图像；网格机构，将由所述摄影机构拍摄的所述彩色图像基于指定的网格尺寸而划分为网状的多个区分；预处理机构，针对通过所述网格机构所划分的网状的多个区分的每一个，将由所述摄影机构拍摄的所述彩色图像基于设定值而转换为特定的灰阶图像；基准图像存储机构，将由所述摄影机构拍摄且预先选定为基准的检查对象的所述彩色图像存储为基准图像；判定机构，包含如下的模板匹配：对于由所述网格机构划分为网状的多个区分之后，通过所述预处理机构针对所述多个区分的每一个转换为所述特定的灰阶的、由所述摄像机构拍摄的检查图像及所述基准图像，针对所述网状的多个区分的每一个基于特定的参数来判定相似度；及接口机构，设定所述网格尺寸、所述设定值及所述参数中的至少一个，并且报告判定结果。4.根据权利要求1至3中任一项所述的图像检查装置，其特征在于，所述检查对象为衬底。5.根据权利要求1至4中任一项所述的图像检查装置，其特征在于，所述图像检查装置还具备对检查对象进行照明的照明机构。6.根据权利要求1至5中任一项所述的图像检查装置，其特征在于能够对所述基准图像进行编辑。7.根据权利要求1至6中任一项所述的图像检查装置，其特征在于使用多个所述基准图像。8.根据权利要求1至7中任一项所述的图像检查装置，其特征在于，所述多个区分的每一个具有与周围的区分重叠的重叠区域。9.根据权利要求1至8中任一项所述的图像检查装置，其特征在于，在所述预处理机构中，可以通过所述设定值来设定三原色的混合比率、色调曲线、阶调及滤波器中的至少一个。10.根据权利要求1至9中任一项所述的图像检查装置，其特征在于，在所述判定机构中，可以通过所述参数来设定搜寻范围、所述区分的重叠量及包含所述模板匹配的方法中的至少一个。11.根据权利要求1至10中任一项所述的图像检查装置，其特征在于，在所述判定机构中包含所述模板匹配的方法是根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：河原盛人，
申请(专利权)人：翼视株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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