玻璃基板制造方法及玻璃基板制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术的课题在于防止因来自玻璃板的掉落物引起的温度调整装置的损伤。本发明专利技术涉及一种玻璃基板制造方法及玻璃基板制造装置。玻璃基板制造方法包含冷却步骤，冷却步骤是在由炉壁包围的空间，将玻璃板朝下方向搬送并进行冷却。在空间设置有分隔构件，所述分隔构件将空间间隔成多个空间，并且形成使玻璃板通过的狭缝。在冷却步骤中，一边以通过狭缝的方式搬送玻璃板，一边使用控制玻璃板的温度的温度调整装置，进行玻璃板的冷却。温度调整装置设置在与玻璃板对向的位置，控制被间隔的空间的温度，以控制沿着宽度方向的玻璃板的温度。分隔构件具有前端部，前端部从温度调整装置的上方以面向玻璃板的方式相对于水平方向朝下方倾斜地向玻璃板延伸。

Manufacturing method of glass substrates and device for manufacturing glass substrates

The subject of the invention is to prevent damage of the temperature adjusting device caused by falling objects from the glass plate. The invention relates to a glass substrate manufacturing method and a glass substrate manufacturing device. The glass substrate manufacturing method comprises a cooling step, which is to move the glass plate downward and cool the glass plate in the space surrounded by the furnace wall. A partitioning member is arranged in the space, which divides the space into multiple spaces and forms a slit through which the glass plate passes. In the cooling step, the glass plate is moved through a slit while the glass plate is cooled by using a temperature adjusting device which controls the temperature of the glass plate. The temperature adjusting device is set opposite to the glass plate to control the temperature of the spaced space to control the temperature of the glass plate along the width direction. The separating member has a front end which extends downward to the glass plate obliquely relative to the horizontal direction from the top of the temperature adjusting device in a way facing the glass plate.

【技术实现步骤摘要】
玻璃基板制造方法及玻璃基板制造装置
本专利技术涉及一种玻璃基板制造方法及玻璃基板制造装置。
技术介绍
已知有使用下拉法制造玻璃板(片材玻璃)的方法。利用下拉法成形的片材玻璃具有板厚大致固定的宽度方向的中央区域、及位于中央区域的宽度方向外侧且板厚比中央区域厚的端部(耳部)。中央区域是产品区域。在下拉法中，为了将所成形的片材玻璃朝下方向稳定地搬送，利用搬送辊夹持片材玻璃的位于中央区域与端部的边界的区域(夹持区域)。且说，片材玻璃以翘曲、应变满足一定的品质基准的方式被冷却(缓冷)。因此，沿着片材玻璃的流动方向预先设计宽度方向的温度分布(温度曲线)，以在片材玻璃中实现该温度曲线的方式，使用冷却装置或温度调整装置(加热器)等进行严格的温度管理(专利文献1)。为了进行这种片材玻璃的温度管理，有时使用分隔构件在片材玻璃的附近将从上方空间向下方空间的热移动阻断。分隔构件例如逐一设置在沿着搬送方向配置的多个加热器之间，加热器以在对向的片材玻璃中实现温度曲线的方式进行片材玻璃的温度调整。[
技术介绍
文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2013-212987号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]片材玻璃有时会在搬送途中产生裂纹。而且，有时会从产生裂纹的片材玻璃向下方掉落玻璃片或玻璃屑。这种来自片材玻璃的掉落物例如有时会与分隔构件碰撞弹起而接触于加热器或者直接与加热器碰撞而使加热器损伤。另外，来自片材玻璃的掉落物有时会堆积在分隔构件的上表面而将自温度调整装置朝向片材玻璃的辐射热遮蔽。因此，本专利技术的目的在于提供一种能够防止因来自玻璃板的掉落物引起的温度调整装置的损伤的玻璃基板制造方法及玻璃基板制造装置。更具体来说，目的在于提供一种能够一边适当利用温度调整装置进行温度控制，一边保护温度调整装置不受掉落物影响，并防止掉落物堆积在分隔构件的玻璃基板制造方法及玻璃基板制造装置。[解决问题的技术手段]本专利技术的一形态是一种玻璃基板制造方法，其特征在于包含：成形步骤，使用溢流下拉法将熔融玻璃成形而形成玻璃板；及冷却步骤，在由炉壁包围的空间，一边利用沿所述玻璃板的搬送方向设置的多个搬送辊对夹持所述玻璃板的宽度方向的两侧区域，一边将所述玻璃板朝下方向搬送并进行冷却；在所述空间，设置分隔构件，所述分隔构件沿着所述搬送方向将所述空间间隔成多个空间，并且形成使所述玻璃板通过的狭缝，在所述冷却步骤中，一边以通过所述狭缝的方式搬送所述玻璃板，一边使用控制所述玻璃板的温度的温度调整装置，进行所述玻璃板的冷却，所述温度调整装置设置在与所述玻璃板对向的位置，控制所述被间隔的空间的温度，以控制沿着宽度方向的所述玻璃板的温度，且所述分隔构件具有前端部，所述前端部从所述温度调整装置的上方以面向所述玻璃板的方式相对于水平方向朝下方倾斜地向所述玻璃板延伸。优选所述前端部的前端位置位于所述温度调整装置所处的所述搬送方向的高度范围内。优选所述分隔构件还具有后端部，所述后端部与所述前端部连接且以远离所述玻璃板的方式延伸，且在所述温度调整装置的上方，将所述温度调整装置相对于所述搬送方向的上游侧的空间分隔开。优选所述前端部以与所述玻璃板的宽度方向的两侧区域及所述两侧区域之间的区域相面对的方式，沿所述玻璃板的宽度方向延伸，且所述前端部的倾斜角度在与所述两侧区域相面对的所述前端部的部分，比与所述两侧区域之间的区域相面对的所述前端部的部分小。优选当将所述温度调整装置称为第1温度调整装置，将所述分隔构件称为第1分隔构件，将所述前端部称为第1前端部时，在所述冷却步骤中，使用沿着所述玻璃板的搬送方向设置且至少包含所述第1温度调整装置、及配置在所述第1温度调整装置的下方的第2温度调整装置的温度调整装置列，以所述玻璃板的温度沿搬送方向依次降低的方式进行所述玻璃板的冷却，所述第2温度调整装置通过至少在所述第2温度调整装置与所述玻璃板之水平方向间延伸的第2分隔构件，相对于所述搬送方向的上游侧的空间分隔开，所述第2分隔构件具有第2前端部，所述第2前端部从所述第2温度调整装置的上方以面向所述玻璃板的方式相对于水平方向倾斜地朝所述玻璃板延伸，且所述第1前端部的延伸方向的长度比所述第2前端部的延伸方向的长度长。优选所述搬送辊对的辊的旋转轴中心的位置位于沿着所述搬送方向的方向上所述温度调整装置所处的高度范围的上方或下方。优选所述搬送辊对的至少一部分的搬送辊对以旋转轴中心位于在所述搬送方向上相邻的所述温度调整装置之间的方式配置，越是位于所述搬送方向的下游侧的所述搬送辊对，该搬送辊对的辊与在该辊的上方最接近该辊配置的温度调整装置的沿着所述搬送方向的距离越小。本专利技术的另一形态是一种玻璃基板制造装置，其特征在于具备使用溢流下拉法将熔融玻璃成形而形成玻璃板的成形装置，所述成形装置包含：多个搬送辊对，在由炉壁包围的空间，沿所述玻璃板的搬送方向隔开间隔地设置，一边夹持所述玻璃板的宽度方向的两侧区域，一边将所述玻璃板朝下方向搬送；分隔构件，将所述空间沿着所述搬送方向间隔成多个空间，并且形成使所述玻璃板通过的狭缝；及温度调整装置，控制以通过所述狭缝的方式被搬送的所述玻璃板的温度，进行所述玻璃板的冷却；且所述温度调整装置设置在与所述玻璃板对向的位置，控制所述被间隔的空间的温度，以控制沿着宽度方向的所述玻璃板的温度；所述分隔构件具有前端部，所述前端部从所述温度调整装置的上方相对于水平方向以面向所述玻璃板的方式向下方倾斜地朝所述玻璃板延伸。[专利技术效果]根据本专利技术，能够防止因来自玻璃板的掉落物引起的温度调整装置的损伤。附图说明图1是本实施方式的玻璃板制造方法的流程图。图2是表示玻璃板制造方法中使用的玻璃板制造装置的示意图。图3是成形装置的概略图(剖视图)。图4是成形装置的概略图(侧视图)。图5是控制装置的控制框图。图6是将图3的一部分放大表示的图。图7是表示分隔构件的变化例的图。图8是表示分隔构件的变化例的图。图9(a)及(b)是说明图8的变化例的动作的图。具体实施方式利用本实施方式的玻璃基板制造方法，例如制造TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)显示器用玻璃基板。玻璃板使用溢流下拉法制造。以下，一边参照附图，一边对本实施方式的玻璃基板制造方法进行说明。(1)玻璃基板制造方法的概要首先，参照图1及图2，对玻璃基板制造方法中包含的多个步骤及用于多个步骤的玻璃基板制造装置100进行说明。玻璃基板制造方法如图1所示，主要包含熔融步骤S1、澄清步骤S2、成形步骤S3、冷却步骤S4及切断步骤S5。熔融步骤S1是使玻璃原料熔融的步骤。玻璃原料以成为所期望的组成的方式调制之后，被投入到配置在上游的熔融装置11。玻璃原料例如由SiO2、Al2O3、B2O3、CaO、SrO、BaO等组成构成。具体来说，使用应变点成为660℃以上的玻璃原料。玻璃原料在熔融装置11中熔融，成为熔融玻璃FG(参照图3及图4)。熔融温度根据玻璃的种类进行调整。在本实施方式中，玻璃原料以1500℃～1650℃熔融。熔融玻璃FG通过上游管道23被输送到澄清装置12。澄清步骤S2是将熔融玻璃FG中的气泡去除的步骤。在澄清装置12内去除气泡后的熔融玻璃FG之后通过下游管道24被输送到成形装置40。成形步骤S3是将熔融玻璃FG成形为片状玻璃(片材玻本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种玻璃基板制造方法，其特征在于包含：成形步骤，使用溢流下拉法将熔融玻璃成形而形成玻璃板；及冷却步骤，在由炉壁包围的空间，一边利用沿所述玻璃板的搬送方向设置的多个搬送辊对夹持所述玻璃板的宽度方向的两侧区域，一边将所述玻璃板朝下方向搬送并进行冷却；在所述空间，设置有分隔构件，所述分隔构件沿着所述搬送方向将所述空间间隔成多个空间，并且形成使所述玻璃板通过的狭缝，在所述冷却步骤中，一边以通过所述狭缝的方式搬送所述玻璃板，一边使用控制所述玻璃板的温度的温度调整装置，进行所述玻璃板的冷却，所述温度调整装置设置在与所述玻璃板对向的位置，控制所述被间隔的空间的温度，以控制沿着宽度方向的所述玻璃板的温度，且所述分隔构件具有前端部，所述前端部从所述温度调整装置的上方以面向所述玻璃板的方式相对于水平方向朝下方倾斜地向所述玻璃板延伸。

【技术特征摘要】
2017.09.29 JP 2017-191414;2018.09.14 JP 2018-172491.一种玻璃基板制造方法，其特征在于包含：成形步骤，使用溢流下拉法将熔融玻璃成形而形成玻璃板；及冷却步骤，在由炉壁包围的空间，一边利用沿所述玻璃板的搬送方向设置的多个搬送辊对夹持所述玻璃板的宽度方向的两侧区域，一边将所述玻璃板朝下方向搬送并进行冷却；在所述空间，设置有分隔构件，所述分隔构件沿着所述搬送方向将所述空间间隔成多个空间，并且形成使所述玻璃板通过的狭缝，在所述冷却步骤中，一边以通过所述狭缝的方式搬送所述玻璃板，一边使用控制所述玻璃板的温度的温度调整装置，进行所述玻璃板的冷却，所述温度调整装置设置在与所述玻璃板对向的位置，控制所述被间隔的空间的温度，以控制沿着宽度方向的所述玻璃板的温度，且所述分隔构件具有前端部，所述前端部从所述温度调整装置的上方以面向所述玻璃板的方式相对于水平方向朝下方倾斜地向所述玻璃板延伸。2.根据权利要求1所述的玻璃基板制造方法，其中所述分隔构件还具有后端部，所述后端部与所述前端部连接且以远离所述玻璃板的方式延伸，且在所述温度调整装置的上方，将所述温度调整装置相对于所述搬送方向的上游侧的空间分隔开。3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板制造方法，其中所述前端部是以与所述玻璃板的宽度方向的两侧区域及所述两侧区域之间的区域相面对的方式，沿所述玻璃板的宽度方向延伸，且所述前端部的倾斜角度在与所述两侧区域相面对的所述前端部的部分，比与所述两侧区域之间的区域相面对的所述前端部的部分小。4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃基板制造方法，其中当将所述温度调整装置称为第1温度调整装置，将所述分隔构件称为第1分隔构件，将所述前端部称为第1前端部时，在所述冷却步骤中，使用沿着所述玻璃板的...

【专利技术属性】
技术研发人员：菅原司人，
申请(专利权)人：安瀚视特控股株式会社，安瀚视特股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP