【技术实现步骤摘要】
微结构模态分析声激励频域光学相干层析检测装置
本技术涉及光学无损检测领域，是一种微结构模态分析的声激励频域光学相干层析检测装置。
技术介绍
微结构，例如微臂梁和微板是微机械电子系统的重要组成部分，在原子力显微镜、微谐振器、微开关、微制动器等领域中有着重要的应用。近年来，工业和科学邻域对高精度制造和微电子机械系统等应用中微结构的振动检测和模态分析技术的需求不断增加。传统的接触式振动检测和模态分析法通常采用力锤激励使结构产生振动，然后利用加速度传感器或压电传感器对结构的振动信息进行提取。这种接触式的振动测量方法虽然可以较好的实现对桥梁等大型结构进行振动检测和模态分析，然而微结构的尺寸仅为微米至毫米量级，传统的接触式振动激励及检测法的激励幅值难以实现精确控制，同时加速度传感器本身的质量会影响这类结构的模态参数，所以在微结构的振动检测和模态分析应用中有着很大的局限性。对于微结构的振动测量，非接触式振动检测就成了非常重要的检测方法。如采用光学位感条纹动态测量技术对欧拉梁结构的振动检测和固有频率分析，其轴向位移分辨率仅为微米量级且需要预先将条纹粘贴于被测物体表面；其他一些光学...
【技术保护点】
1.一种微结构模态分析声激励频域光学相干层析检测装置，其特征在于，包括：声激励模块、干涉仪模块和光栅光谱仪模块；所述声激励模块包括相连接的函数信号发生器和扬声器；在所述干涉仪模块中，沿光源出光方向依次设置有第三凸透镜和分光镜，所述分光镜在第三凸透镜的对侧依次设置有第一凸透镜和微结构夹具；所述扬声器设置在微结构夹具的旁侧；所述分光镜垂直于第三凸透镜和第一凸透镜方向的左侧依次设置有第二凸透镜和第一反射镜；在所述光栅光谱仪模块中，第二反射镜设置在所述分光镜垂直于第三凸透镜和第一凸透镜方向的右侧；反射光栅设置在所述第二反射镜的反射出光方向上；沿所述反射光栅的反射出光方向依次设置有柱透镜和高速线阵相机。
【技术特征摘要】
1.一种微结构模态分析声激励频域光学相干层析检测装置，其特征在于，包括：声激励模块、干涉仪模块和光栅光谱仪模块；所述声激励模块包括相连接的函数信号发生器和扬声器；在所述干涉仪模块中，沿光源出光方向依次设置有第三凸透镜和分光镜，所述分光镜在第三凸透镜的对侧依次设置有第一凸透镜和微结构夹具；所述扬声器设置在微结构夹具的旁侧；所述分光镜垂直于第三凸透镜和第一凸透镜方向的左侧依次设置有第二凸透镜和第一反射镜；在所述光栅光谱仪模块中，第二反射镜设置在所述分光镜垂直于第三凸透镜和第一凸透镜方向的右侧；反射光栅设置在所述第二反射镜的反射出光方向上；沿所述反射光栅的反射出光方向依次设置有柱透镜和高速线阵相机。2.根据权利要求1所述的微结构模态分析声激励频域光学相干层析检测装置，其特征在于：待检测的微结构样品设置在所述微结构...
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