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本实用新型涉及一种微结构模态分析声激励频域光学相干层析检测装置，包括：声激励模块、干涉仪模块、光栅光谱仪模块和计算机。首先通过声激励模块产生声波信号激励微结构产生振动。其次，通过干涉仪模块测量微结构产生的振动，带有振动信息的干涉信号进入光栅...
该专利属于福州大学所有，仅供学习研究参考，未经过福州大学授权不得商用。

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