一种晶圆流片表面平整度检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及晶圆流片检测附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片表面平整度检测装置，其方便对晶圆流片进行固定，并且防止晶圆流片由于受力不均衡而发生变形的情况，保证检测精度的精准性；同时方便对晶圆流片的表面进行多点取样，得出的检测结果更具有代表性，提高实用性；包括检测箱、检测数据分析仪、放置台、旋转电机、固定环、三组夹持杆、三组“C”型弹片、支撑板、左支板、右支板、调节轴和蜗杆，还包括转轴、第一滚珠轴承、第二滚珠轴承、第三滚珠轴承、第四滚珠轴承、涡轮、放置板和调节圆板，放置圆板的外侧均匀设置有三组半圆凸起，还包括驱动电机、丝杠、限位杆、滑板和、检测探头、第五滚珠轴承和第六滚珠轴承。

A Measuring Device for Surface Flatness of Wafer Wafer

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆流片表面平整度检测装置
本技术涉及晶圆流片检测附属装置的
，特别是涉及一种晶圆流片表面平整度检测装置。
技术介绍
众所周知，在集成电路设计领域，“流片”指的是“试生产”，就是说设计完电路以后，先生产几片几十片，供测试用，如果测试通过，就照着这个样子开始大规模生产了，晶圆流片表面平整度检测装置一种用于对晶圆流片表面的平整度进行检测的辅助装置，其在半导体加工制造的领域中得到了广泛的使用；现有的晶圆流片表面平整度检测装置包括检测箱，检测箱的内部设置有工作腔，并在工作腔的内顶壁上设置有检测探头，工作腔的内底壁上设置有放置台，并在放置台的顶端设置有固定装置，检测箱的顶端设置有检测数据分析仪，检测数据分析仪的信号输入端与检测探头的信号输出端连接，检测箱的前端设置有取放口；现有的晶圆流片表面平整度检测装置使用时，将晶圆流片至于放置台的顶端，并通过固定装置将晶圆流片固定，然后通过检测探头对对晶圆流片表面的平整度进行检测，并将检测结构传递给检测数据分析仪进行分析，通过检测数据分析仪的数据得出晶圆流片的平整度信息；现有的晶圆流片表面平整度检测装置使用中发现，由于晶圆流片的厚度较薄，对其进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆流片表面平整度检测装置，包括检测箱（1），检测箱（1）的内部设置有工作腔，检测箱（1）的顶端设置有检测数据分析仪（2），检测箱（1）的前端设置有取放口；其特征在于，还包括放置台（3）、旋转电机（4）、固定环（5）、三组夹持杆（6）、三组“C”型弹片（7）、支撑板（8）、左支板（9）、右支板（10）、调节轴（11）和蜗杆（12），所述工作腔的内底壁上设置有安装槽，所述旋转电机（4）固定安装在安装槽内，并在旋转电机（4）的顶部输出端设置有转轴（13），所述转轴（13）的顶端与支撑板（8）的底端中部连接，所述左支板（9）和右支板（10）的顶端分别与放置台（3）底端的左侧和右侧连接，左支板...

【技术特征摘要】
1.一种晶圆流片表面平整度检测装置，包括检测箱（1），检测箱（1）的内部设置有工作腔，检测箱（1）的顶端设置有检测数据分析仪（2），检测箱（1）的前端设置有取放口；其特征在于，还包括放置台（3）、旋转电机（4）、固定环（5）、三组夹持杆（6）、三组“C”型弹片（7）、支撑板（8）、左支板（9）、右支板（10）、调节轴（11）和蜗杆（12），所述工作腔的内底壁上设置有安装槽，所述旋转电机（4）固定安装在安装槽内，并在旋转电机（4）的顶部输出端设置有转轴（13），所述转轴（13）的顶端与支撑板（8）的底端中部连接，所述左支板（9）和右支板（10）的顶端分别与放置台（3）底端的左侧和右侧连接，左支板（9）和右支板（10）的底端分别与支撑板（8）顶端的左侧和右侧连接，并在左支板（9）的右端设置有第一放置槽，所述第一放置槽内固定安装有第一滚珠轴承（14），所述右支板（10）上设置有左右贯通的第一安装通孔，并在第一安装通孔内固定安装有第二滚珠轴承（15），所述蜗杆（12）的左端自左支板（9）的右端插入至第一滚珠轴承（14）内部，蜗杆（12）的右端自右支板（10）的左端穿过第二滚珠轴承（15）至右支板（10）的右侧，所述支撑板（8）的顶端中部设置有第二放置槽，并在第二放置槽的内部固定安装有第三滚珠轴承（16），所述放置台（3）的中部设置有上下贯通的第二安装通孔，并在第二安装通孔内固定安装有第四滚珠轴承（17），所述调节轴（11）的底端自放置台（3）的顶端穿过第四滚珠轴承（17）至放置台（3）的下方并插入至第三滚珠轴承（16）内部，并在调节轴（11）的外侧套设有涡轮（18），所述涡轮（18）的前端与蜗杆（12）的后端啮合，调节轴（11）的顶部设置有放置板（19），调节轴（11）的外侧固定安装有调节圆板（20），所述调节圆板（20）位于放置台（3）和放置板（19）之间，所述固定环（5）的底端与放置台（3）的顶端固定连接，所述三组夹持杆（6）的一端均与固定环（5）的内圈铰接，三组夹持杆（6）的另一端顶部均设置有夹持柱（21），并且三组夹持杆（6）等角度均匀设置在固定环（5）的内圈，所述三组“C”型弹片（7）的一端分别与三组夹持杆（6）的外侧连接，三组“C”型弹片（7）的另一端均与固定环（5）的内圈连接，所述调节圆板的外侧均匀设置有三组半圆凸起（22），所述三组半圆凸起（22）分别与三组夹持杆（6）的内侧贴紧；还包括驱动电机（23）、丝杠（24）、限位杆（25）、滑板（26）和检测探头（27），所述工作腔的左侧壁顶部设置有第三放置槽，并在第三放置槽内固定安装有第五滚珠轴承（28），所述检测箱（1）的右侧壁上设置有第三安装通孔，并在第三安装通孔内固定安装有第六滚珠轴承（29），所述驱动电机（23）安装在检测箱（1）的右端顶部，所述滑板（26）的前部和后部分别设置有左...

【专利技术属性】
技术研发人员：王昌华，
申请(专利权)人：江苏英锐半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32