吹气装置及晶圆盒载运设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种吹气装置及晶圆盒载运设备，该吹气装置适用于安装在一晶圆盒载运装置。吹气装置包含：中空本体、盖体及两个过滤板。中空本体的至少一侧壁具有至少一进气孔。盖体固定设置于中空本体的一侧。两个过滤板设置于中空本体中，两个过滤板邻近于出气端设置。中空本体、盖体及两个过滤板共同于中空本体中形成有封闭空间，封闭空间能通过进气孔与外连通。进气孔能连接进气管，而进气管能导引气体通过进气孔进入封闭空间；当封闭空间中的气体压力到达一预定压力时，封闭空间中的气体能通过两个过滤板的多个气孔，而由出气端均匀地排出。

【技术实现步骤摘要】
吹气装置及晶圆盒载运设备
本技术涉及一种吹气装置及晶圆盒载运设备，特别是一种应用于半导体设备厂中的吹气装置及晶圆盒载运设备。
技术介绍
现有应用于晶圆盒载运设备，大多不具有吹气装置，而相关业者为了避免晶圆盒在活动门被开启的情况下，外部脏污进入晶圆盒内的问题发生，会于现有的晶圆盒载运设备上另外安装吹气装置。然，在将吹气装置安装于晶圆盒载运设备的过程中，常会发生晶圆盒载运设备上方的空间有限，而吹气装置的相关管线无法设置于晶圆盒载运设备的上方，从而发生吹气装置无法安装于晶圆盒载运设备的问题。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种吹气装置及具有该吹气装置的晶圆盒载运设备，用以改善现有的吹气装置或具有该吹气装置的晶圆盒载运设备可能无法顺利安装于晶圆厂中的问题。为了实现上述目的，本技术提供一种吹气装置，其适用于安装在一晶圆盒载运装置，所述晶圆盒载运装置能承载一晶圆盒，且所述晶圆盒载运装置能受控制以开启所述晶圆盒的活动门，以使外部机械设备能夹取设置于所述晶圆盒中的晶圆片，所述吹气装置包含：一中空本体，其彼此相反的两端口分别定义为一密封端及一出气端，所述中空本体的至少一侧壁，具有至少一进气孔，所述进气孔贯穿所述侧壁设置，所述进气孔于一纵向方向与所述出气端的端面最近的距离定义为一第一距离；一盖体，其固定设置于所述中空本体的所述密封端，而所述盖体密封所述中空本体的所述密封端；至少两个过滤板，各个所述过滤板包含有多个气孔，两个所述过滤板上下叠设地密封设置于所述中空本体中，且两个所述过滤板邻近于所述出气端设置；邻近于所述盖体的所述过滤板的顶面与所述出气端的端面于所述纵向方向的最近距离定义为一第二距离；其中，所述中空本体、所述盖体及两个所述过滤板共同于所述中空本体中形成有一封闭空间，所述封闭空间能通过所述进气孔与外连通；其中，所述第一距离大于所述第二距离，所述进气孔能连接一进气管，而所述进气管能导引气体通过所述进气孔进入所述封闭空间；当所述封闭空间中的气体压力到达一预定压力时，所述封闭空间中的气体能通过两个所述过滤板的多个所述气孔，而由所述出气端均匀地排出。优选地，各个所述过滤板的外围具有多个齿状结构；各个所述过滤板设置于所述中空本体中时，多个所述齿状结构与所述中空本体的内壁之间形成有多个填充槽，各个所述填充槽用以填充胶体，各个所述填充槽中所填充的胶体能使所述过滤板与所述中空本体相互固定。优选地，各个所述齿状结构为凸出的三角柱体，两个所述齿状结构之间为一平直部，所述过滤板固定设置于所述中空本体中时，两个所述齿状结构与其间的所述平直部和所述中空本体的内壁共同形成有梯形立方状的所述填充槽。优选地，所述中空本体的内部形成有一辅助结构，所述辅助结构的壁厚大于所述中空本体的各侧壁的壁厚，而所述进气孔贯穿所述辅助结构及其相对应的所述侧壁设置，所述辅助结构能加强具有所述进气孔的侧壁的机构强度。优选地，所述中空本体于所述密封端的内壁，向内延伸形成有一辅助密封结构，所述辅助密封结构由所述密封端的一侧，向所述出气端的方向内凹形成有一环状凹槽，所述环状凹槽能容置一密封件；所述盖体的一宽侧面凸出有一环状结构，所述盖体固定设置于所述中空本体的所述密封端时，所述环状结构对应位于所述环状凹槽中；其中，所述环状结构于一纵向方向的厚度小于所述环状凹槽于所述纵向方向的深度，且所述环状结构于一横向方向的宽度小于所述环状凹槽于所述横向方向的宽度，而所述环状结构位于所述环状凹槽中时，所述环状凹槽未被所述环状结构填满；所述中空本体于所述密封端还形成有多个第一锁孔，所述盖体具有多个第二锁孔，多个所述第一锁孔及多个所述第二锁孔能与多个锁固件相互配合，而使所述盖体固定设置于所述中空本体的密封端。为了实现上述目的，本技术还提供一种晶圆盒载运设备，其包含：一承载装置，其包含一平台及一充气模块，所述平台用以提供一晶圆盒设置，所述充气模块能受控制而对设置于所述平台上的所述晶圆盒的内部进行充气作业；一吹气装置，其连接一外部供气设备，所述吹气装置包含：一中空本体，其彼此相反的两端口分别定义为一密封端及一出气端，所述中空本体的至少一侧壁，具有至少一进气孔，所述进气孔贯穿所述侧壁设置，所述进气孔于一纵向方向与所述出气端的端面最近的距离定义为一第一距离；一盖体，其固定设置于所述中空本体的所述密封端，而所述盖体密封所述中空本体的所述密封端；至少两个过滤板，各个所述过滤板包含有多个气孔，两个所述过滤板上下叠设地密封设置于所述中空本体中，且两个所述过滤板邻近于所述出气端设置；邻近于所述盖体的所述过滤板的顶面与所述出气端的端面于所述纵向方向的最近距离定义为一第二距离；其中，所述中空本体、所述盖体及两个所述过滤板共同于所述中空本体中形成有一封闭空间，所述封闭空间能通过所述进气孔与外连通；其中，所述第一距离大于所述第二距离，所述进气孔能通过一进气管与所述外部供气设备相连接，通过所述进气管导引的气体，则能通过所述进气孔进入所述封闭空间；当所述封闭空间中的气体压力到达一预定压力时，所述封闭空间中的气体能通过两个所述过滤板的多个所述气孔，而由所述出气端均匀地排出；一控制装置，与所述吹气装置电性连接，其能于设置于所述平台的所述晶圆盒的一活动门被控制开启时，对应控制所述吹气装置动作，而使所述外部供气设备所提供的气体，能通过所述吹气装置而对所述晶圆盒原设置有所述活动门的位置进行吹气。优选地，各个所述过滤板的外围具有多个齿状结构；各个所述过滤板设置于所述中空本体中时，多个所述齿状结构与所述中空本体的内壁之间形成有多个填充槽，各个所述填充槽用以填充胶体，各个所述填充槽中所填充的胶体能使所述过滤板与所述中空本体相互固定。优选地，各个所述齿状结构为凸出的三角柱体，两个所述齿状结构之间为一平直部，所述过滤板固定设置于所述中空本体中时，两个所述齿状结构与其间的所述平直部和所述中空本体的内壁共同形成有梯形立方状的所述填充槽。优选地，所述中空本体的内部形成有一辅助结构，所述辅助结构的壁厚大于所述中空本体的各侧壁的壁厚，而所述进气孔贯穿所述辅助结构及其相对应的所述侧壁设置，所述辅助结构能加强具有所述进气孔的侧壁的机构强度。优选地，所述中空本体于所述密封端的内壁，向内延伸形成有一辅助密封结构，所述辅助密封结构由所述密封端的一侧，向所述出气端的方向内凹形成有一环状凹槽，所述环状凹槽能容置一密封件；所述盖体的一宽侧面凸出有一环状结构，所述盖体固定设置于所述中空本体的所述密封端时，所述环状结构对应位于所述环状凹槽中；其中，所述环状结构于一纵向方向的厚度小于所述环状凹槽于所述纵向方向的深度，且所述环状结构于一横向方向的宽度小于所述环状凹槽于所述横向方向的宽度，而所述环状结构位于所述环状凹槽中时，所述环状凹槽未被所述环状结构填满；所述中空本体于所述密封端还形成有多个第一锁孔，所述盖体具有多个第二锁孔，多个所述第一锁孔及多个所述第二锁孔能与多个锁固件相互配合，而使所述盖体固定设置于所述中空本体的密封端。本技术的有益效果可以在于：本技术的吹气装置，其进气孔设置于中空本体的其中一侧壁，而吹气装置安装于晶圆盒载运设备上时，与进气孔相连接的相关进气管等构件，将会对应设置于晶圆盒载运设备的一侧，而不会位于晶圆盒载运本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种吹气装置，其特征在于，所述吹气装置适用于安装在一晶圆盒载运装置，所述晶圆盒载运装置能承载一晶圆盒，且所述晶圆盒载运装置能受控制以开启所述晶圆盒的活动门，以使外部机械设备能夹取设置于所述晶圆盒中的晶圆片，所述吹气装置包含：一中空本体，其彼此相反的两端口分别定义为一密封端及一出气端，所述中空本体的至少一侧壁，具有至少一进气孔，所述进气孔贯穿所述侧壁设置，所述进气孔于一纵向方向与所述出气端的端面最近的距离定义为一第一距离；一盖体，其固定设置于所述中空本体的所述密封端，而所述盖体密封所述中空本体的所述密封端；至少两个过滤板，各个所述过滤板包含有多个气孔，两个所述过滤板上下叠设地密封设置于所述中空本体中，且两个所述过滤板邻近于所述出气端设置；邻近于所述盖体的所述过滤板的顶面与所述出气端的端面于所述纵向方向的最近距离定义为一第二距离；其中，所述中空本体、所述盖体及两个所述过滤板共同于所述中空本体中形成有一封闭空间，所述封闭空间能通过所述进气孔与外连通；其中，所述第一距离大于所述第二距离，所述进气孔能连接一进气管，而所述进气管能导引气体通过所述进气孔进入所述封闭空间；当所述封闭空间中的气体压力到达一预定压力时，所述封闭空间中的气体能通过两个所述过滤板的多个所述气孔，而由所述出气端均匀地排出。...

【技术特征摘要】
1.一种吹气装置，其特征在于，所述吹气装置适用于安装在一晶圆盒载运装置，所述晶圆盒载运装置能承载一晶圆盒，且所述晶圆盒载运装置能受控制以开启所述晶圆盒的活动门，以使外部机械设备能夹取设置于所述晶圆盒中的晶圆片，所述吹气装置包含：一中空本体，其彼此相反的两端口分别定义为一密封端及一出气端，所述中空本体的至少一侧壁，具有至少一进气孔，所述进气孔贯穿所述侧壁设置，所述进气孔于一纵向方向与所述出气端的端面最近的距离定义为一第一距离；一盖体，其固定设置于所述中空本体的所述密封端，而所述盖体密封所述中空本体的所述密封端；至少两个过滤板，各个所述过滤板包含有多个气孔，两个所述过滤板上下叠设地密封设置于所述中空本体中，且两个所述过滤板邻近于所述出气端设置；邻近于所述盖体的所述过滤板的顶面与所述出气端的端面于所述纵向方向的最近距离定义为一第二距离；其中，所述中空本体、所述盖体及两个所述过滤板共同于所述中空本体中形成有一封闭空间，所述封闭空间能通过所述进气孔与外连通；其中，所述第一距离大于所述第二距离，所述进气孔能连接一进气管，而所述进气管能导引气体通过所述进气孔进入所述封闭空间；当所述封闭空间中的气体压力到达一预定压力时，所述封闭空间中的气体能通过两个所述过滤板的多个所述气孔，而由所述出气端均匀地排出。2.依据权利要求1所述的吹气装置，其特征在于，各个所述过滤板的外围具有多个齿状结构；各个所述过滤板设置于所述中空本体中时，多个所述齿状结构与所述中空本体的内壁之间形成有多个填充槽，各个所述填充槽用以填充胶体，各个所述填充槽中所填充的胶体能使所述过滤板与所述中空本体相互固定。3.依据权利要求2所述的吹气装置，其特征在于，各个所述齿状结构为凸出的三角柱体，两个所述齿状结构之间为一平直部，所述过滤板固定设置于所述中空本体中时，两个所述齿状结构与其间的所述平直部和所述中空本体的内壁共同形成有梯形立方状的所述填充槽。4.依据权利要求1所述的吹气装置，其特征在于，所述中空本体的内部形成有一辅助结构，所述辅助结构的壁厚大于所述中空本体的各侧壁的壁厚，而所述进气孔贯穿所述辅助结构及其相对应的所述侧壁设置，所述辅助结构能加强具有所述进气孔的侧壁的机构强度。5.依据权利要求1所述的吹气装置，其特征在于，所述中空本体于所述密封端的内壁，向内延伸形成有一辅助密封结构，所述辅助密封结构由所述密封端的一侧，向所述出气端的方向内凹形成有一环状凹槽，所述环状凹槽能容置一密封件；所述盖体的一宽侧面凸出有一环状结构，所述盖体固定设置于所述中空本体的所述密封端时，所述环状结构对应位于所述环状凹槽中；其中，所述环状结构于一纵向方向的厚度小于所述环状凹槽于所述纵向方向的深度，且所述环状结构于一横向方向的宽度小于所述环状凹槽于所述横向方向的宽度，而所述环状结构位于所述环状凹槽中时，所述环状凹槽未被所述环状结构填满；所述中空本体于所述密封端还形成有多个第一锁孔，所述盖体具有多个第二锁孔，多个所述第一锁孔及多个所述第二锁孔能与多个锁固件相互配合，而使所述盖体固定设置于所述中空本体的密封端。6.一种晶圆盒载运设备，其特征在于，所述晶圆盒载运设备包含：一...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈勇州，古伊钧，郭孟轩，
申请(专利权)人：华景电通股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71