【技术实现步骤摘要】
一种基于步进器的照明系统
本技术涉及照明系统
，具体涉及一种半导体的步进器照明系统。
技术介绍
步进器是通过切换步进触点的方式将输入脉冲数转换成步进信号的器件。一般用电磁线圈通电驱动步进触点和电磁线圈断电驱动步进触点两种。多用于输入脉冲的计数、插孔操纵台转换回路、时序控制回路和多点巡回检测切换回路。步进器内的照明系统是步进器的重要组成部分，它会将通过各种镜片的光线照射到工作台上硅片上，从而进行曝光处理，对照度均一性、照度以及积算露光等精度进行提升，现有的照明系统照明精度和稳定性不佳，降低了系统的实用性。
技术实现思路
本技术目的是提供一种基于步进器的照明系统，提供一种照度均匀性好和精度高的照明系统。为了实现以上目的，本技术采用的技术方案为：一种基于步进器的照明系统，包括高压水银灯、露光主快门、干涉滤光器、第一中继透镜、聚光透镜和标线片遮帘，所述高压水银灯底部发出的光线通过椭圆镜连接有第一反射镜，所述第一反射镜一端连接有所述露光主快门，所述露光主快门一侧远离所述椭圆镜一端通过干涉滤光器连接有输入透镜，所述输入透镜上的光线通过第二反射镜连接有所述第一中继透镜，所述第一中继透镜发出的光线穿过所述标线片遮帘连接有所述聚光透镜，所述聚光透镜和第三反射镜之间设置有复眼，所述第三反射镜上的光线一端穿过主透镜的上玉连接有第四反射镜，所述第四反射镜下方设置有工作台，所述工作台顶部中心处连接有环形槽以及布置于所述环形槽上等距排列的硅片，所述硅片顶部连接有圆柱，所述圆柱内的光线与所述第四反射镜相连接。进一步的，所述第一中继透镜和所述标线片遮帘之间设有第二中继透镜。进一步的，所述标...
【技术保护点】
1.一种基于步进器的照明系统，其特征在于，包括高压水银灯(1)、露光主快门(2)、干涉滤光器(3)、第一中继透镜(4)、聚光透镜(5)和标线片遮帘(6)，所述高压水银灯(1)底部发出的光线通过椭圆镜(7)连接有第一反射镜(8)，所述第一反射镜(8)一端连接有所述露光主快门(2)，所述露光主快门(2)一侧远离所述椭圆镜(7)一端通过干涉滤光器(3)连接有输入透镜(9)，所述输入透镜(9)上的光线通过第二反射镜(10)连接有所述第一中继透镜(4)，所述第一中继透镜(4)发出的光线穿过所述标线片遮帘(6)连接有所述聚光透镜(5)，所述聚光透镜(5)和第三反射镜(11)之间设置有复眼(12)，所述第三反射镜(11)上的光线一端穿过主透镜的上玉连接有第四反射镜(13)，所述第四反射镜(13)下方设置有工作台(14)，所述工作台(14)顶部中心处连接有环形槽(15)以及布置于所述环形槽(15)上等距排列的硅片(16)，所述硅片(16)顶部连接有圆柱(17)，所述圆柱(17)内的光线与所述第四反射镜(13)相连接。
【技术特征摘要】
1.一种基于步进器的照明系统，其特征在于，包括高压水银灯(1)、露光主快门(2)、干涉滤光器(3)、第一中继透镜(4)、聚光透镜(5)和标线片遮帘(6)，所述高压水银灯(1)底部发出的光线通过椭圆镜(7)连接有第一反射镜(8)，所述第一反射镜(8)一端连接有所述露光主快门(2)，所述露光主快门(2)一侧远离所述椭圆镜(7)一端通过干涉滤光器(3)连接有输入透镜(9)，所述输入透镜(9)上的光线通过第二反射镜(10)连接有所述第一中继透镜(4)，所述第一中继透镜(4)发出的光线穿过所述标线片遮帘(6)连接有所述聚光透镜(5)，所述聚光透镜(5)和第三反射镜(11)之间设置有复眼(12)，所述第三反射镜(11)上的光线一端穿过主透镜的上玉连接有第四反射镜(13)，所述第四反射镜(13)下方设置有工作台(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：周杰，张琪，
申请(专利权)人：安徽睿芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34
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