MEMS麦克风制造技术

本申请涉及一种MEMS麦克风。该MEMS麦克风可以包括：声音检测单元以及阀。声音检测可以包括：第一膜；与第一膜间隔布置的第二膜；被提供在第一膜和第二之间的低压区域，在该低压区域中存在与常压相比较小的气压；至少部分地布置在低压区域中的反电极；以及声通孔，该声通孔在声音检测单元的厚度方向上延伸穿过声音检测单元。阀被被提供在声通孔处，并且设置成能够取多个阀状态，其中每个阀状态对应于所述声通孔对于声音的一个预设透射度。

【技术实现步骤摘要】
MEMS麦克风
大量实施方式总体上涉及MEMS麦克风。
技术介绍
MEMS麦克风在当今的通信技术中发挥着核心作用。这些MEMS麦克风通常具有可以通过待检测的声音发生位移的膜，膜的位移可以通过合适的读取电路来测量。对于灵敏的声音检测，可能需要膜具有非常小的厚度。然而，由于小的膜厚度，膜可能对机械负载敏感地做出反应。这种机械负载尤其可以通过高强度的声波、即通过高声压引起。
技术实现思路
根据各种实施方式，提供一种微机电式的麦克风，其可以包括：声音检测单元以及阀。声音检测可以包括：第一膜；与第一膜间隔布置的第二膜；被提供在第一膜和第二之间的低压区域，在该低压区域中存在与常压相比较小的气压；至少部分地布置在低压区域中的反电极；以及声通孔，该声通孔在声音检测单元的厚度方向上延伸穿过声音检测单元。阀被提供在声通孔处，该阀被设置成能够取多个阀状态，其中每个阀状态对应于声通孔对于声音的一个预设透射度。附图说明在下文中，将参考附图更详细地解释许多示例性实施方式。在此是：图1示出了示例性MEMS麦克风的示意图，图2至图12示出了示例性MEMS麦克风的示例性声音检测单元的示意性剖视图，图13示出了示例性声音检本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS麦克风，包括：声音检测单元，所述声音检测单元具有：第一膜，与所述第一膜间隔布置的第二膜，布置在所述第一膜和所述第二膜之间的低压区域，在所述低压区域中存在与常压相比较小的气压，布置在所述低压区域中的反电极，和声通孔，所述声通孔在所述声音检测单元的厚度方向上延伸通过所述声音检测单元；和被提供在所述声通孔处的阀，所述阀被设置成能够取多个阀状态，其中每个阀状态对应于所述声通孔对于声音的一个预设透射度。

【技术特征摘要】
2017.09.19 DE 102017121705.31.一种MEMS麦克风，包括：声音检测单元，所述声音检测单元具有：第一膜，与所述第一膜间隔布置的第二膜，布置在所述第一膜和所述第二膜之间的低压区域，在所述低压区域中存在与常压相比较小的气压，布置在所述低压区域中的反电极，和声通孔，所述声通孔在所述声音检测单元的厚度方向上延伸通过所述声音检测单元；和被提供在所述声通孔处的阀，所述阀被设置成能够取多个阀状态，其中每个阀状态对应于所述声通孔对于声音的一个预设透射度。2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中，所述阀被设置成与所述声通孔处的声压相关地取所述多个阀状态中的一个阀状态。3.根据权利要求1或2所述的MEMS麦克风，其中，所述阀被设置成与所述声通孔处的声压无关地设定成所述多个阀状态中的一个阀状态。4.根据前述权利要求中任一项所述的MEMS麦克风，其中，所述阀具有相对于所述声通孔能够位移的一个或多个活瓣，所述活瓣相对于所述声通孔的位置限定所述多个阀状态中的一个阀状态。5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其中，所述阀的所述一个或多个活瓣中的一个活瓣被提供在所述第一膜处。6.根据前述权利要求中任一项所述的MEMS麦克风，其中，所述第一膜是由导电材料形成的。7.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其中，所述第一膜具有彼此电绝缘的多个膜区段。8.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，并在权利要求7引用权利要求5的情况下，其中，所述阀的被提供在所述第一膜处的活瓣与所述第一膜的多个膜区段中的一个膜区段电连接。9.根据权利要求4至8中任一项所述的MEMS麦克风，其中，所述阀的所述一个或多个活瓣中的一个活瓣被提供在所述第二膜处。10.根据前述...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·德厄，U·克鲁宾，G·梅茨格布吕克尔，J·斯特拉塞，J·瓦格纳，A·沃瑟，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE