电感器部件及其制造方法技术

本发明专利技术涉及能够提高线圈特性的电感器部件。电感器部件的制造方法具有：准备包括由石英构成的填充材料、玻璃材料以及树脂材料的感光性的绝缘膏和导电膏的工序；涂覆绝缘膏来形成第一绝缘层的工序；在利用掩模对第一绝缘层的第一部分进行了遮光的状态下曝光第一绝缘层的工序；除去第一绝缘层的第一部分来在与第一部分对应的位置形成槽的工序；在槽内涂覆导电膏来在槽内形成线圈导体层的工序；以及在第一绝缘层上以及线圈导体层上涂覆绝缘膏来形成第二绝缘层的工序。

【技术实现步骤摘要】
电感器部件及其制造方法
本专利技术涉及电感器部件及其制造方法。
技术介绍
以往，作为电感器部件，存在日本特开2014-207280号公报(专利文献1)所记载的电感器部件。电感器部件具有包括玻璃材料的基体和设置于基体内的线圈。基体包括多个绝缘层。线圈包括在绝缘层上平面卷绕的线圈导体层。专利文献1：日本特开2014-207280号公报然而，在上述现有的电感器部件中，由于线圈导体层的纵横比很小，所以无法增大线圈导体层的截面积，无法增多流过线圈的电流。鉴于此，为了增大纵横比而使两层的线圈导体层面接触。但是，由于使两层的线圈导体层面接触，所以在面接触的两层线圈导体层的侧面形成有多个突起，由于该多个突起导致了线圈特性降低。这里，本申请的专利技术人着眼于在现有的电感器部件的制造方法中，由于通过光刻法在绝缘层形成槽，并在该槽内形成线圈导体层，所以通过将槽形成得很深来增大线圈导体层的纵横比。然而，本申请的专利技术人发现了在现有的制造方法中存在以下问题。即，绝缘层除了包括玻璃材料之外，为了确保强度还包括由氧化铝构成的填充材料。由于填充材料的氧化铝的折射率很高，所以在对负型的感光性的绝缘层进行曝光来形成槽时，曝光所使用的光在绝缘层内散射，无法将光照射至绝缘层内的更深的部分。因此，槽很浅，难以形成纵横比很大的线圈导体层。
技术实现思路
鉴于此，本专利技术的课题在于，提供能够提高线圈特性的电感器部件及其制造方法。为了解决上述课题，本专利技术的电感器部件的制造方法具备：准备包括由石英构成的填充材料、玻璃材料以及树脂材料的感光性的绝缘膏和导电膏的工序；涂覆上述绝缘膏来形成第一绝缘层的工序；在利用掩模对上述第一绝缘层的第一部分进行了遮光的状态下对上述第一绝缘层进行曝光的工序；将上述第一绝缘层的上述第一部分除去来在与上述第一部分对应的位置形成槽的工序；在上述槽内涂覆上述导电膏来在上述槽内形成线圈导体层的工序；以及在上述第一绝缘层上以及上述线圈导体层上涂覆上述绝缘膏来形成第二绝缘层的工序。根据本专利技术的电感器部件的制造方法，由于使用包括由石英构成的填充材料和玻璃材料的绝缘膏，所以能够使填充材料与玻璃材料的折射率近似。由此，在通过曝光对第一绝缘层形成槽时，能够防止曝光所使用的光在第一绝缘层内散射，能够将光照射至第一绝缘层内的更深的部分。由此，能够增大线圈导体层的纵横比，能够增大线圈导体层的截面积。因此，不需要使多个线圈导体层面接触来进行层叠，能够将线圈导体层的侧面的形状形成得圆滑，因而能够进一步提高Q值，能够提高线圈特性。另外，在电感器部件的制造方法的一个实施方式中，在上述曝光工序中，利用不包括350nm以下的波长的光来进行曝光。根据上述实施方式，由于利用不包括350nm以下的波长的光来进行曝光，所以能够去掉容易散射的短波长，能够进一步可靠地形成深的槽。另外，在电感器部件的制造方法的一个实施方式中，在上述第二绝缘层的形成工序之后，利用800℃以上1000℃以下的温度进行烧制。根据上述实施方式，由于在第二绝缘层的形成工序之后，利用800℃以上1000℃以下的温度进行烧制，所以玻璃材料熔化而填充材料不熔化，能够进行烧制。另外，在电感器部件的制造方法的一个实施方式中，在准备上述绝缘膏与上述导电膏的工序中，上述填充材料相对于上述玻璃材料的含有率为20vol％以上50vol％以下。根据上述实施方式，由于填充材料相对于玻璃材料的含有率为20vol％以上50vol％以下，所以能够满足高纵横比与烧结性。另外，在电感器部件的一个实施方式中，具备：基体，通过层叠多个绝缘层而成；和线圈，设置于上述基体内，上述绝缘层包括由石英构成的填充材料和玻璃材料，上述线圈包括在上述绝缘层上卷绕的线圈导体层，上述线圈导体层的纵横比为1.0以上，在与上述线圈导体层的延伸方向正交的横截面中，上述线圈导体层的侧面具有一个突起或者是平滑的。这里，线圈导体层的纵横比是指(线圈导体层的线圈轴向的厚度)/(线圈导体层的宽度)。此外，线圈的轴向是指与线圈被卷绕的螺旋的中心轴平行的方向。另外，线圈导体层的宽度是指与线圈导体层的延伸方向正交的截面中的与线圈的轴向正交的方向的宽度。根据上述实施方式，能够增大线圈导体层的纵横比，能够将线圈导体层的侧面的形状形成得圆滑，能够提高线圈特性。另外，在电感器部件的一个实施方式中，上述线圈导体层的纵横比为2.0以下。根据上述实施方式，由于线圈导体层的纵横比为2.0以下，所以能够稳定地形成纵横比高的线圈导体层。另外，在电感器部件的一个实施方式中，在上述横截面中，上述线圈导体层包括主体部和与上述主体部连接的头部，上述头部的宽度比上述主体部的宽度宽，上述头部的厚度具有比上述主体部的厚度薄的部分。根据上述实施方式，由于头部的宽度方向的端部构成突起，头部的厚度很薄，所以能够防止线圈特性的降低。能够增大掩模的开口来进行曝光，以便形成线圈导体层的头部，即便产生曝光偏差也能够可靠地形成线圈导体层。根据本专利技术的电感器部件及其制造方法，能够提高线圈特性。附图说明图1是表示本专利技术的电感器部件的第一实施方式的透视立体图。图2是电感器部件的分解立体图。图3是电感器部件的剖视图。图4是线圈导体层的剖视图。图5A是对电感器部件的制造方法进行说明的说明图。图5B是对电感器部件的制造方法进行说明的说明图。图5C是对电感器部件的制造方法进行说明的说明图。图5D是对电感器部件的制造方法进行说明的说明图。图5E是对电感器部件的制造方法进行说明的说明图。图5F是对电感器部件的制造方法进行说明的说明图。图6是表示本专利技术的电感器部件的第二实施方式的剖视图。图7是线圈导体层的图像图。附图标记说明：1…电感器部件；10…基体；11…绝缘层；20…线圈；25、25A…线圈导体层；25a…侧面；26…通孔(via)导体层；30…第一外部电极；33…第一外部电极导体层；40…第二外部电极；43…第二外部电极导体层；250…突起；251…主体部(bodyportion)；252…头部；A…层叠方向；L…轴向；t…线圈导体层的厚度；w…线圈导体层的宽度具体实施方式以下，利用图示的实施方式对本专利技术详细进行说明。(第一实施方式)图1是表示电感器部件的第一实施方式的透视立体图。图2是电感器部件的分解立体图。图3是电感器部件的剖视图。如图1、图2以及图3所示，电感器部件1具有基体10、设置于基体10的内部的螺旋状的线圈20、以及设置于基体10并与线圈20电连接的第一外部电极30和第二外部电极40。在图1中，基体10被描绘成透明，以便能够容易地理解构造。图3是图1的III-III截面。电感器部件1经由第一外部电极30、第二外部电极40与未图示的电路基板的配线电连接。电感器部件1例如被使用为高频电路的阻抗匹配用线圈(matchingcoil)，在个人计算机、DVD播放器、数码相机、TV、移动电话、汽车电子、医疗用/工业用机械等的电子设备中使用。但是，电感器部件1的用途并不局限于此，例如还能够在调谐电路、滤波电路、整流平滑电路等中使用。基体10通过层叠多个绝缘层11而构成。基体10形成为大致直六面体状。基体10的表面具有第一端面15、与第一端面15对置的第二端面16、连接在第一端面15与第二端面16之间的底面17、以及与底面17对置的顶面18。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电感器部件的制造方法，其特征在于，具备：准备包括由石英构成的填充材料、玻璃材料以及树脂材料的感光性的绝缘膏和导电膏的工序；涂覆所述绝缘膏来形成第一绝缘层的工序；在利用掩模对所述第一绝缘层的第一部分进行了遮光的状态下对所述第一绝缘层进行曝光的工序；将所述第一绝缘层的所述第一部分除去来在与所述第一部分对应的位置形成槽的工序；在所述槽内涂覆所述导电膏来在所述槽内形成线圈导体层的工序；以及在所述第一绝缘层上以及所述线圈导体层上涂覆所述绝缘膏来形成第二绝缘层的工序。

【技术特征摘要】
2017.09.20 JP 2017-1804591.一种电感器部件的制造方法，其特征在于，具备：准备包括由石英构成的填充材料、玻璃材料以及树脂材料的感光性的绝缘膏和导电膏的工序；涂覆所述绝缘膏来形成第一绝缘层的工序；在利用掩模对所述第一绝缘层的第一部分进行了遮光的状态下对所述第一绝缘层进行曝光的工序；将所述第一绝缘层的所述第一部分除去来在与所述第一部分对应的位置形成槽的工序；在所述槽内涂覆所述导电膏来在所述槽内形成线圈导体层的工序；以及在所述第一绝缘层上以及所述线圈导体层上涂覆所述绝缘膏来形成第二绝缘层的工序。2.根据权利要求1所述的电感器部件的制造方法，其特征在于，在所述曝光工序中，利用不包括350nm以下的波长的光来进行曝光。3.根据权利要求1或2所述的电感器部件的制造方法，其特征在于，在所述第二绝缘层的形成工序之后，利用800℃以上1...

【专利技术属性】
技术研发人员：太田由士行，木户智洋，阪田智则，久保田正博，近藤健太，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP