一种锗烷的充装配气系统技术方案

一种锗烷的充装配气系统，包括进料管、出料管、汽化部、充装阀、配气阀、产品瓶组和载气瓶组；进料管的输出端设有进料阀；汽化部包括低温闪蒸罐、汽化器和增压阀；进料管的输出端连接于低温闪蒸罐的输入端，低温闪蒸罐的输出端连接于汽化器的输入端，汽化器的输出端连接于增压阀；出料管的输入端连接于低温闪蒸罐，出料管的输出端设有出料阀，出料管的输出端连接于产品瓶组的输入端；载气瓶组的输出端连接于产品瓶组的输入端；充装阀设于出料管，充装阀位于出料阀的输出端；配气阀设于载气瓶组的输出端。本实用新型专利技术的目的在于提出一种锗烷的充装配气系统，其能够安全高效地对锗烷进行充装配气。

【技术实现步骤摘要】
一种锗烷的充装配气系统
本技术涉及锗烷充装配气设备领域，尤其涉及一种锗烷的充装配气系统。
技术介绍
锗烷是通式为GenH2n+2的一系列锗与氢的化合物的总称。一般来讲锗烷即指甲锗烷，常温下为有毒、易燃和无色的气体，分子式GeH4。锗烷为无色、剧毒、可自燃、非腐蚀性气体。热稳定性差，160～180℃时锗烷缓慢氧化，大约在280℃就能检测到锗烷分解为锗和氢，在350℃锗烷几乎全部分解成单质锗和氢气；锗烷的自催化性很强，一旦分解形成了金属覆盖膜，就会急剧分解，故其分解爆炸危险性很高。锗烷一般通过化学还原法、电化学反应法、等离子合成法合成，在半导体工业上有重要的用途。由于锗烷的热稳定性差，现有的充装配气系统在对锗烷进行充装配气时，容易发生危险的情况。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种锗烷的充装配气系统，其能够安全高效地对锗烷进行充装配气。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种锗烷的充装配气系统，包括进料管、出料管、汽化部、充装阀、配气阀、产品瓶组和载气瓶组；所述进料管的输出端设有进料阀；所述汽化部包括低温闪蒸罐、汽化器和增压阀；所述进料管的输出端连接于所述低温闪蒸罐的输入端，所述低温闪蒸罐的输出端连接于所述汽化器的输入端，所述汽化器的输出端连接于所述增压阀；所述出料管的输入端连接于所述低温闪蒸罐，所述出料管的输出端设有出料阀，所述出料管的输出端连接于产品瓶组的输入端；所述载气瓶组的输出端连接于所述产品瓶组的输入端；所述充装阀设于所述出料管，所述充装阀位于所述出料阀的输出端；所述配气阀设于所述载气瓶组的输出端。进一步，还包括吹扫管，所述吹扫管设有吹扫阀；所述吹扫管用于吹扫锗烷的充装配气系统的管路。进一步，还包括抽空管，所述抽空管设有抽空阀；所述抽空管用于抽空锗烷的充装配气系统的管路。进一步，还包括排空管，所述排空管设有排空阀；所述排空管用于排空锗烷的充装配气系统的管路。进一步，还包括温度计，其设于所述低温闪蒸罐。进一步，所述汽化部的数量至少为二。进一步，所述产品瓶组包括多个产品瓶，每个所述产品瓶的输入端设有阀门。进一步，所述载气瓶组包括多个载气瓶，每个所述载气瓶的输出端设有阀门。进一步，还包括多个压力表，其设于锗烷的充装配气系统的管路；每个所述压力表均串联有阀门。本技术根据上述内容提出一种锗烷的充装配气系统，其能够安全高效地对锗烷进行充装配气。先打开所述进料管的进料阀，锗烷从进料管的输出端输入至所述低温闪蒸罐内，低温闪蒸罐的外壁设有夹套，夹套内通有液氮作为冷媒，使低温闪蒸罐内的锗烷保持在低温状态。然后，锗烷从所述低温闪蒸罐进入至所述汽化器内，本实施例的汽化器为盘管，可以增加锗烷汽化行程，锗烷在汽化器中汽化，变成锗烷气体，然后，再通过所述增压阀，增加所述汽化部内的气压，锗烷在所述汽化部内，不断循环地汽化，待低温闪蒸罐内的气压上升至指定压力值时，打开出料阀和充装阀，令锗烷气体充装至产品瓶组内的产品瓶，待锗烷气体充装至指定量时，关闭出料阀和充装阀，打开所述配气阀，然后载气瓶组的载气瓶内的氢气便会充装至产品瓶内，实现对锗烷气体的配气。通过以上的方式对锗烷进行充装配气，会更加安全高效，因为锗烷是高毒易燃易爆的气体，热稳定性极差，不适合使用压缩方式进行充装，压缩气体过程中容易产生高温，使气体分解，产生危险，并且影响产品的品质。附图说明图1是本技术其中一个实施例的管路示意图。其中：进料管11、进料阀111、出料管12、出料阀121、汽化部2、低温闪蒸罐21、温度计211、汽化器22、增压阀23、充装阀3、配气阀4、产品瓶组5、产品瓶51、载气瓶组6、载气瓶61、吹扫管71、吹扫阀711、抽空管72、抽空阀721、排空管73、排空阀731、阀门8、压力表9。具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。如图1所示，一种锗烷的充装配气系统，包括进料管11、出料管12、汽化部2、充装阀3、配气阀4、产品瓶组5和载气瓶组6；所述进料管11的输出端设有进料阀111；所述汽化部2包括低温闪蒸罐21、汽化器22和增压阀23；所述进料管11的输出端连接于所述低温闪蒸罐21的输入端，所述低温闪蒸罐21的输出端连接于所述汽化器22的输入端，所述汽化器22的输出端连接于所述增压阀23；所述出料管12的输入端连接于所述低温闪蒸罐21，所述出料管12的输出端设有出料阀121，所述出料管12的输出端连接于产品瓶组5的输入端；所述载气瓶组6的输出端连接于所述产品瓶组5的输入端；所述充装阀3设于所述出料管12，所述充装阀3位于所述出料阀121的输出端；所述配气阀4设于所述载气瓶组6的输出端。在本实施例中，先打开所述进料管11的进料阀111，锗烷从进料管111的输出端输入至所述低温闪蒸罐21内，低温闪蒸罐21的外壁设有夹套，夹套内通有液氮作为冷媒，使低温闪蒸罐21内的锗烷保持在低温状态。然后，锗烷从所述低温闪蒸罐21进入至所述汽化器22内，本实施例的汽化器22为盘管，可以增加锗烷汽化行程，锗烷在汽化器22中汽化，变成锗烷气体，然后，再通过所述增压阀23，增加所述汽化部2内的气压，锗烷在所述汽化部2内，不断循环地汽化，待低温闪蒸罐21内的气压上升至指定压力值时，打开出料阀121和充装阀3，令锗烷气体充装至产品瓶组5内的产品瓶51，待锗烷气体充装至指定量时，关闭出料阀121和充装阀3，打开所述配气阀4，然后载气瓶组6的载气瓶61内的氢气便会充装至产品瓶51内，实现对锗烷气体的配气。通过以上的方式对锗烷进行充装配气，会更加安全高效，因为锗烷是高毒易燃易爆的气体，热稳定性极差，不适合使用压缩方式进行充装，压缩气体过程中容易产生高温，使气体分解，产生危险，并且影响产品的品质。进一步，还包括吹扫管71，所述吹扫管71设有吹扫阀711；所述吹扫管71用于吹扫锗烷的充装配气系统的管路。当需要对锗烷的充装配气系统的管路进行吹扫操作时，打开吹扫阀711，往锗烷的充装配气系统的管路通入氮气或者氦气进行吹扫；本实施例的所述吹扫管71的一端连接于出料管12，更加方便地对整个锗烷的充装配气系统的管路进行吹扫。进一步，还包括抽空管72，所述抽空管72设有抽空阀721；所述抽空管72用于抽空锗烷的充装配气系统的管路。当需要对锗烷的充装配气系统的管路进行抽空操作时，打开抽空阀721，管路内的杂质气体便能够快速地抽走，操作方便快捷；本实施例的抽空管72的一端连接于出料管12，更加方便地对整个锗烷的充装配气系统的管路进行抽空。进一步，还包括排空管73，所述排空管73设有排空阀731；所述排空管73用于排空锗烷的充装配气系统的管路。当需要对锗烷的充装配气系统的管路进行排空操作时，打开排空阀731，管路内的杂质气体便能够快速地排走，操作方便快捷；本实施例的排空管73的一端连接于出料管12，更加方便地对整个锗烷的充装配气系统的管路进行排空。进一步，还包括温度计211，其设于所述低温闪蒸罐21。通过设置所述温度计211，能够方便观察低温闪蒸罐21内的温度，使其处于合适的工作状态。进一步，所述汽化部2的数量至少为二。本实施例的汽化部2的数量为二，保证能够持续不断地对原料锗烷进行汽化，保证锗烷汽化的可持续性。进一步，所述产品瓶组5包括多本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种锗烷的充装配气系统，其特征在于:包括进料管、出料管、汽化部、充装阀、配气阀、产品瓶组和载气瓶组；所述进料管的输出端设有进料阀；所述汽化部包括低温闪蒸罐、汽化器和增压阀；所述进料管的输出端连接于所述低温闪蒸罐的输入端，所述低温闪蒸罐的输出端连接于所述汽化器的输入端，所述汽化器的输出端连接于所述增压阀；所述出料管的输入端连接于所述低温闪蒸罐，所述出料管的输出端设有出料阀，所述出料管的输出端连接于产品瓶组的输入端；所述载气瓶组的输出端连接于所述产品瓶组的输入端；所述充装阀设于所述出料管，所述充装阀位于所述出料阀的输出端；所述配气阀设于所述载气瓶组的输出端。

【技术特征摘要】
1.一种锗烷的充装配气系统，其特征在于:包括进料管、出料管、汽化部、充装阀、配气阀、产品瓶组和载气瓶组；所述进料管的输出端设有进料阀；所述汽化部包括低温闪蒸罐、汽化器和增压阀；所述进料管的输出端连接于所述低温闪蒸罐的输入端，所述低温闪蒸罐的输出端连接于所述汽化器的输入端，所述汽化器的输出端连接于所述增压阀；所述出料管的输入端连接于所述低温闪蒸罐，所述出料管的输出端设有出料阀，所述出料管的输出端连接于产品瓶组的输入端；所述载气瓶组的输出端连接于所述产品瓶组的输入端；所述充装阀设于所述出料管，所述充装阀位于所述出料阀的输出端；所述配气阀设于所述载气瓶组的输出端。2.根据权利要求1所述的一种锗烷的充装配气系统，其特征在于:还包括吹扫管，所述吹扫管设有吹扫阀；所述吹扫管用于吹扫锗烷的充装配气系统的管路。3.根据权利要求1所述的一种锗烷的充装配气系统，其特征在于:还包括抽...

【专利技术属性】
技术研发人员：程紧，廖恒易，吴祥虎，
申请(专利权)人：江西华特电子化学品有限公司，
类型：新型
国别省市：江西,36