应用于扫描电镜的样品固定装置制造方法及图纸

本申请公开了应用于扫描电镜的样品固定装置，特别适用于碳纤维生产领域，所述装置包括中间夹持部，和设置于一侧的端夹持部，所述端夹持部靠近所述中间夹持部的侧壁与所述中间夹持部侧壁可拆卸连接。本申请应用于扫描电镜的样品固定装置实现样品的截面和表面同时观察，并保证观察区域与光束垂直。

Sample Fixing Device for Scanning Electron Microscope

The present application discloses a sample fixing device for scanning electron microscopy, especially in the field of carbon fiber production. The device comprises an intermediate clamping part and an end clamping part arranged on one side. The end clamping part is detachably connected with the side wall of the intermediate clamping part near the side wall of the intermediate clamping part. This application is applied to a sample fixing device for scanning electron microscopy to realize simultaneous observation of the cross section and surface of the sample and to ensure that the observation area is perpendicular to the light beam.

【技术实现步骤摘要】
应用于扫描电镜的样品固定装置
本申请涉及微观分析领域常用的设备，尤其涉及一种应用于扫描电镜的样品固定装置。
技术介绍
扫描电镜是微观分析领域常用的设备，可用于多种样品的形貌观察，样品的制备直接关系到成像质量，传统的制样方式是将样品用导电胶带粘在样品台上，然后将样品台固定在样品基座上，样品截面制备时需要将样品竖直放置，使样品截面朝上，粘在样品台上，或是用多层导电胶带固定，粘在样品台的侧面，但由于样品竖直放置不稳固，如果粘在侧面，可能会超出观察范围，尤其是在观察长条状样品截面时，制样弊端尤其明显。而目前，虽然有关于公告号为CN204088258U的专利文献公开了一种有凹槽的样品台，样品台上设于至少一对竖直凹槽和一对倾斜凹槽。竖直凹槽的槽壁上设有螺孔，螺孔内设有配合的顶丝；一对倾斜凹槽对称设于样品台的两侧，倾斜凹槽与样品台的夹角为20-40度。采用竖直凹槽将待测样品固定在凹槽内，便于样品截面的垂直观察，采用倾斜凹槽进行样品截面和表面的多角度观察。但对于上述文献中实际上所述样品台凹槽宽度为0.5-1mm，宽度较小，观察样品的种类有局限性，并且倾斜凹槽在观察表面或截面时，只能在成像部位很小的范围内成像清晰，效果不是很好。尤其是对于扩大观察样品的厚度范围，在同一样品台上实现样品的截面和表面同时观察，并不保证观察区域与光束垂直,并能在样品台上固定样品的装置，所以亟待改进。
技术实现思路
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种同一样品台上实现样品的截面和表面同时观察，并保证观察区域与光束垂直的应用于扫描电镜的样品固定装置。第一方面，应用于扫描电镜的样品固定装置，包括中间夹持部，和设置于一侧的端夹持部，所述端夹持部靠近所述中间夹持部的侧壁与所述中间夹持部侧壁可拆卸连接。根据本申请实施例提供的技术方案，所述中间夹持部相对靠近所述端夹持部的侧壁设有至少两个配接孔，所述端夹持部与所述中间夹持部的配接孔正对应位置设有的贯穿孔，配接杆贯穿所述端夹持部的贯穿孔与所述中间夹持部配接孔配接，通过旋动配接杆，来调节所述端夹持部与所述中间夹持部的距离。根据本申请实施例提供的技术方案，所述中间夹持部为长方体，且其所述中间夹持部的两端部为弧形。根据本申请实施例提供的技术方案，所述端夹持部为长方体。根据本申请实施例提供的技术方案，所述中间夹持部的两侧边长度与宽度均大于所述端夹持部的长度与宽度。根据本申请实施例提供的技术方案，所述端夹持部设有数个，且均与所述中间夹持部可拆卸连接。根据本申请实施例提供的技术方案，所述端夹持部设2个，且对称分布在所述中间夹持部的两侧。根据本申请实施例提供的技术方案，所述端夹持部设4个，且环形阵列排布在所述中间夹持部周围。根据本申请实施例提供的技术方案，所述端夹持部与所述中间夹持部相对内侧壁均设有护板，所述护板上均设有弹性垫。综上所述，本申请的上述技术方案通过将样品台分为三部分，中间夹持部、端夹持部和中间夹持部、端夹持部之间设有固定样品的夹持区域部分，该区域设有连接中间夹持部和端夹持部的固定工具配接杆，通过旋动配接杆来调节端夹持部和中间夹持部之间的距离，以便固定和夹持样品。中间夹持部可直接粘贴样品，此类样品通过粘贴即可起到较好的固定作用，进行样品的表面观察，也可粘贴其他样品，如粉末样品、片状样品等。中间夹持部与端夹持部之间夹持条状或块状样品，以保持样品的截面向上，与光束垂直，夹持好样品后，旋动配接杆贯穿端夹持部的贯穿孔并拧紧，直至将配接杆拧入中间夹持部的配接孔内，将样品固定好，以便观察样品的截面，实现一台多用。相较于现有技术而言，不管是粘贴样品还是夹持样品，均保持了观察区域与光束的垂直，还可以解决观察样品厚度的局限性以及同时观察样品表面和截面，也保持观察区域与光束垂直的技术问题。可得到较高质量的图像。附图说明通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本申请应用于扫描电镜的样品固定装置的主视图；图2为图1的俯视图；图3为本申请应用于扫描电镜的样品固定装置实施中的俯视图；图中标号：1、中间夹持部；2.端夹持部；3.配接杆。具体实施方式下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与专利技术相关的部分。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。请参考图1、图2、图3，本实施例中具体地提供有扫描电镜样品台的结构。应用于扫描电镜的样品固定装置，包括中间夹持部1，和设置于一侧的端夹持部2，所述端夹持部2靠近所述中间夹持部1的侧壁与所述中间夹持部1侧壁可拆卸连接。在任一优选的实施例中，所述中间夹持部1相对靠近所述端夹持部2的侧壁设有至少两个配接孔，所述端夹持部2与所述中间夹持部1的配接孔正对应位置设有的贯穿孔，配接杆3贯穿所述端夹持部2的贯穿孔与所述中间夹持部1配接孔配接，通过旋动配接杆3，来调节所述端夹持部2与所述中间夹持部1的距离。观察条状或块状样品时，随着样品的厚度大小，采用旋动配接杆3，使得端夹持部向中间夹持部移动，逐渐靠近中间夹持部，紧固样品，方便观察，成像清晰，不易常产生图像漂移。其中：配接孔可以是螺纹孔；配接杆3可以是螺杆、螺丝等；在任一优选的实施例中，所述中间夹持部1为长方体，且其所述中间夹持部1的两端部为弧形。增大样品的放置面积。在任一优选的实施例中，所述端夹持部2为长方体。在任一优选的实施例中，所述中间夹持部1的两侧边长度与宽度均大于所述端夹持部2的长度与宽度。且中间夹持部1两端部为弧形，使得该固定装置可在圆形样品托内自由旋转。在任一优选的实施例中，所述端夹持部2设有数个，且均与所述中间夹持部1可拆卸连接。中间夹持部、端夹持部之间为固定样品的夹持区域，这样可以有多个夹持区域，每个夹持区域放置块状样品，这样在同一视野可以重复观察截面。在任一优选的实施例中，所述端夹持部设有2个，且均与所述中间夹持部可拆卸连接。在任一优选的实施例中，所述端夹持部设有4个，且均与所述中间夹持部可拆卸连接。在任一优选的实施例中，所述端夹持部与所述中间夹持部相对内侧壁均设有护板，所述护板上均设有弹性垫。其中：端夹持部与所述中间夹持部相对内侧壁均设有护板，该护板与所述端夹持部与所述中间夹持部均可拆卸连接的；护板另一侧壁即两个护板相对的侧壁正相对位置上均设有弹性垫，弹性垫可粘贴到所述护板上。护板是为了使纤维样品的直立，有的时候由于纤维样条比较细，端夹持部与中间夹持部之间均有弹性垫这样使得纤维样品更稳固，更直立，便于观察，如果操作者不想用护板，可以拆卸该护板及弹性垫来正常使用该固定装置。实施例应用于扫描电镜的样品固定装置包括中间夹持部和端夹持部，观察碳纤维复材样条的表面时，将样条直接用导电胶带粘在样品台的中间夹持部上表面，以观察样条的表面形貌。中间夹持部相对靠近端夹持部的侧壁上设有两个配接孔，配接孔可以是螺纹孔，对称分布在中间夹持部两侧还设有端夹持部，端夹持部与中间夹持部的配接孔正对应位置设有贯穿孔，贯穿孔可以是通孔，端夹持部和中间夹持部之间设有螺栓连接，螺栓沿着并本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.应用于扫描电镜的样品固定装置，其特征在于：包括中间夹持部(1)，和设置于一侧的端夹持部(2)，所述端夹持部(2)靠近所述中间夹持部(1)的侧壁与所述中间夹持部(1)侧壁可拆卸连接。

【技术特征摘要】
1.应用于扫描电镜的样品固定装置，其特征在于：包括中间夹持部(1)，和设置于一侧的端夹持部(2)，所述端夹持部(2)靠近所述中间夹持部(1)的侧壁与所述中间夹持部(1)侧壁可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的应用于扫描电镜的样品固定装置，其特征在于：所述中间夹持部(1)相对靠近所述端夹持部(2)的侧壁设有至少两个配接孔，所述端夹持部(2)与所述中间夹持部(1)的配接孔正对应位置设有贯穿孔，配接杆(3)贯穿所述端夹持部(2)的贯穿孔与所述中间夹持部(1)配接孔配接，通过旋动配接杆(3)，来调节所述端夹持部(2)与所述中间夹持部(1)的距离。3.根据权利要求1-2任一项所述的应用于扫描电镜的样品固定装置，其特征在于：所述中间夹持部(1)为长方体，且其所述中间夹持部(1)的两端部为弧形。4.根据权利要求1-2任一项所述的应用于扫描电镜的样品固定装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐明媚，丁光强，丁月里，刘洋，刘凡，齐志军，张永明，王永生，洪占勇，
申请(专利权)人：中安信科技有限公司，康得碳谷科技有限公司，合肥工业大学，
类型：发明
国别省市：河北,13