The invention relates to the field of material testing, in particular to a universal sample rod and a transfer device for transmission, scanning and focusing ion beam electron microscopy. The device consists of sample rod, transfer seal flange sleeve, sealing flange and bellows sleeve and X_Y_Z three-dimensional sliding table and bracket. The transfer seal flange sleeve is fixed at the end of the sample rod, and the inner wall of the transfer seal flange sleeve is vacuum sealed with a sealing ring between the sample rod and the inner wall of the transfer seal flange sleeve. The outer wall of the transfer seal flange sleeve is placed in the bellows sleeve and the inner wall of the bellows sleeve is realized with a sealing ring and an inner wall of Vacuum sealing; X Y Z three-dimensional sliding platform is fixed on the sealing flange and bellows sleeve by sliding platform bracket to realize three-dimensional translation of the sample and 360 degree rotation around the axis of the rod body. The invention greatly facilitates sample processing and microstructure analysis, improves work efficiency, and is widely applicable to various types of transmission electron microscopy, scanning electron microscopy and focused ion beam electron microscopy.
【技术实现步骤摘要】
透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置
本专利技术涉及材料测试领域,具体为一种透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置,属于电子显微镜配件及低维材料原位测量研究领域。
技术介绍
透射电子显微镜分析技术同时具备时间尺度与空间尺度的高分辨特性,可从深层次理解材料的本征属性,促进材料的设计和性能优化,大大提高新材料的研发效率,是目前纳米结构表征学中最新颖和最具发展空间的研究领域。近年来,透射电镜表征技术在揭示锂离子电池阳极材料充放电反应原理、低维纳米材料力学性能、电化学腐蚀机制、电致阻变效应机制、纳米催化剂活性、生物细胞结构等众多科研领域都取得具有开创性的研究成果。研究者可使用该系统观测纳米材料发生复杂的物理、化学反应的同时,实时监测成分、晶体结构、组织缺陷的演变、表面/界面化学反应等,从而实现在纳米尺度实时研究材料在复杂环境中的服役行为,揭示材料失效的本质机制,促进更好的设计材料的显微结构和使用性能。传统技术的主要问题在于:透射电镜样品往往需要经过选样、切割、打磨、抛光,转移至聚焦离子束电镜进行微区精细加工,再进入透射电镜进行表征或是扫描电子显微镜进行表面原位分析或是其他功能测试,如此往复这些步骤,直至获得合适的样品。样品制备过程不仅复杂、耗时,而且在样品的转移、加工和不同电镜间切换使用过程中存在着极大的损坏和污染的风险,白白耗费科研人员大量的宝贵时间、精力和来之不易的科研资金。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置,可以实现同一样品杆可以在透射、扫描和聚焦离子束等多台电镜间共用,使待分析样品在透射电 ...
【技术保护点】
1.一种透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置,其特征在于,包括:样品杆、转接密封带法兰套管、带套管密封法兰、X‑Y‑Z三维滑台、旋转滑台和滑台支架,具体结构如下:样品杆的尾端直径较样品杆的其他部分直径大,转接密封带法兰套管固定在样品杆的尾端外侧,转接密封带法兰套管内壁与样品杆间使用O型密封圈进行真空密封;转接密封带法兰套管置于带套管密封法兰的波纹管套管内,转接密封带法兰套管外壁使用O型密封圈与波纹管套管内壁实现真空密封;带套管密封法兰为密封法兰与波纹管套管组成,二者采用焊接的方式实现真空密封,密封法兰与波纹管套管的中心孔相对应;X‑Y‑Z三维滑台通过滑台支架固定在带套管密封法兰上,实现样品的三维平动和绕杆体轴线360°旋转;旋转滑台、滑台支架的左立板、带套管密封法兰的波纹管套管套装于转接密封带法兰套管上,密封法兰固定在透射、扫描或者聚焦离子束电镜主腔体内壁。
【技术特征摘要】
1.一种透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置,其特征在于,包括:样品杆、转接密封带法兰套管、带套管密封法兰、X-Y-Z三维滑台、旋转滑台和滑台支架,具体结构如下:样品杆的尾端直径较样品杆的其他部分直径大,转接密封带法兰套管固定在样品杆的尾端外侧,转接密封带法兰套管内壁与样品杆间使用O型密封圈进行真空密封;转接密封带法兰套管置于带套管密封法兰的波纹管套管内,转接密封带法兰套管外壁使用O型密封圈与波纹管套管内壁实现真空密封;带套管密封法兰为密封法兰与波纹管套管组成,二者采用焊接的方式实现真空密封,密封法兰与波纹管套管的中心孔相对应;X-Y-Z三维滑台通过滑台支架固定在带套管密封法兰上,实现样品的三维平动和绕杆体轴线360°旋转;旋转滑台、滑台支架的左立板、带套管密封法兰的波纹管套管套装于转接密封带法兰套管上,密封法兰固定在透射、扫描或者聚焦离子束电镜主腔体内壁。2.按照权利要求1所述的透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置,其特征在于,样品杆的尾端外侧开设螺纹盲孔和沟槽,螺纹盲孔为两个以上沿圆周方向均匀分布,沟槽沿圆周方向开设,沟槽内安装O型密封圈。3.按照权利要求1所述的透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置,其特征在于,转接密封带法兰套管为法兰与套管的组合结构,套管的外侧开设定位孔和外沟槽,定位孔为两个以上沿圆周方向均匀分布,定位孔与螺纹盲孔一一对应,螺栓穿设于定位孔和螺纹盲孔,使转接密封带法兰套管与样品杆的尾端连接;外沟槽沿圆周方向开设,外沟槽内安装O型密封圈,波纹管套管内壁开设沟槽与外沟槽相对应;套管的中心孔为具有台阶结构的阶梯孔,...
【专利技术属性】
技术研发人员:谭军,邰凯平,赵洋,康斯清,
申请(专利权)人:中国科学院金属研究所,
类型:发明
国别省市:辽宁,21
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