测试方法及测试系统技术方案

本申请实施例提供一种测试方法及一种测试系统，该方法通过确定对应扫描振镜任一扫描轴的驱动信号的扫频范围及扫频间隔。扫描振镜任一扫描轴包括扫描振镜慢轴或扫描振镜快轴。基于扫频范围及扫频间隔，确定多个驱动频率。利用基于多个驱动频率生成的驱动信号依次驱动待测MEMS的扫描振镜任一扫描轴振动，以从多个驱动频率中确定使扫描振镜任一扫描轴产生最大振动幅值的目标驱动频率。判断扫频间隔是否满足精度要求。如果是，将目标驱动频率作为扫描振镜任一扫描轴的共振频率。如果否，基于目标驱动频率调整扫频范围以及扫描间隔，并返回基于扫频范围及扫频间隔，确定多个驱动频率的步骤继续执行。本申请可获得待测MEMS中扫描振镜慢轴和快轴的共振频率。

Test method and test system

The embodiment of this application provides a test method and a test system by determining the sweep range and the sweep interval of the driving signal corresponding to any scanning axis of the scanning galvanometer. Any scanning axis of a scanning galvanometer includes a slow axis of the scanning galvanometer or a fast axis of the scanning galvanometer. Multiple driving frequencies are determined based on sweep range and sweep interval. The driving signals generated from multiple driving frequencies are used to drive the vibration of any scanning axis of the scanning mirror in order to determine the target driving frequency from multiple driving frequencies to maximize the vibration amplitude of any scanning axis of the scanning mirror. Determine whether the sweep interval meets the accuracy requirements. If so, the target driving frequency is used as the resonance frequency of any scanning axis of the scanning galvanometer. If not, the sweep range and the scan interval are adjusted based on the target drive frequency, and the step of determining multiple drive frequencies is continued based on the sweep range and the sweep interval. This application can obtain the resonance frequencies of the slow and fast axes of the scanning galvanometer in the MEMS to be measured.

【技术实现步骤摘要】
测试方法及测试系统
本申请实施例涉及虚拟现实
，尤其涉一种测试方法及一种测试系统。
技术介绍
MEMS(微机电系统，MicroelectromechanicalSystems)中的扫描振镜是激光扫描投影设备中的关键器件。激光器发射的激光光束需要通过扫描振镜的快速震动将激光光束反射到光幕上的不同位置处，从而实现待扫描图像快速的点扫描最终呈现该待扫描图像。扫描振镜扫描方式可以分为快轴扫描和慢轴扫描。其中，快轴扫描利用扫描振镜快轴的共振实现水平方向快速扫描，慢轴扫描是利用电磁力或者静电力等外力驱动扫描振镜慢轴实现垂直方向匀速扫描，且扫描振镜快轴的驱动信号需要与扫描振镜快轴的共振频率一致，而扫描振镜慢轴的驱动信号频率需要远离扫描振镜慢轴的共振频率。但由于现有制作工艺会导致不同的扫描振镜具有不同的共振频率，因此在生产激光扫描投影设备时需要获得准确地扫描振镜慢轴的共振频率和扫描振镜快轴的共振频率，以实现对激光扫描投影设备中电路设计。
技术实现思路
本申请实施例提供一种测试方法及一种测试系统，用以通过测试获得待测MEMS中扫描振镜慢轴的共振频率和扫描振镜快轴的共振频率。本申请提供了一种测试方法，包括：确定对应扫描振镜任一扫描轴的驱动信号的扫频范围及扫频间隔；其中，所述扫描振镜任一扫描轴包括扫描振镜慢轴或扫描振镜快轴；基于所述扫频范围及所述扫频间隔，确定多个驱动频率；利用基于所述多个驱动频率生成的驱动信号依次驱动所述待测MEMS的扫描振镜任一扫描轴振动，以从所述多个驱动频率中确定使所述扫描振镜任一扫描轴产生最大振动幅值的目标驱动频率；判断所述扫频间隔是否满足精度要求；如果是，将所述目标驱动频率作为所述扫描振镜任一扫描轴的共振频率；如果否，基于所述目标驱动频率调整所述扫频范围以及所述扫描间隔，并返回基于所述扫频范围及所述扫频间隔，确定多个驱动频率的步骤继续执行。优选地，所述基于所述目标驱动频率调整所述扫频范围以及所述扫描间隔包括：减小所述扫频间隔，使调整后的扫描间隔小于调整前的扫描间隔；基于所述目标驱动频率及所述扫频间隔调整所述扫描范围，获得以所述目标驱动频率为中心，以分别与所述目标驱动频率相差所述扫频间隔的第一频率和第二频率为两端的扫描范围。优选地，判断所述扫频间隔是否满足精度要求包括：判断所述扫频间隔是否大于间隔阈值；如果是，确定所述扫频间隔不满足所述精度要求；如果否，确定所述扫频间隔满足所述精度要求。优选地，所述利用基于所述多个驱动频率生成的驱动信号依次驱动所述待测MEMS的扫描振镜任一扫描轴振动，以从所述多个驱动频率中确定使所述扫描振镜任一扫描轴产生最大振动幅值的目标驱动频率包括：控制信号发生器基于所述多个驱动频率生成各自对应的正弦驱动信号；其中，每个正弦驱动信号持续的扫描时间及对应的扫描幅值均相同；控制所述信号发生器依次发送所述多个驱动频率各自对应的正弦驱动信号至所述待测MEMS，以驱动所述待测MEMS的扫描振镜任一扫描轴振动；控制所述数据采集器采集所述扫描振镜任一扫描轴振动时的振动信号并获取所述数据采集器采集的振动信号；确定所述振动信中最大振动幅值对应的驱动频率为目标驱动频率。优选地，所述待测MEMS包括传感组件；所述控制所述数据采集器采集所述扫描振镜任一扫描轴振动时的振动信号包括：控制所述数据采集器采集所述传感组件检测所述扫描振镜任一扫描轴振动时角位移随时间变化而生成的振动信号，其中所述振动信号为电压信号。本申请提供了一种测试系统，包括：处理器、与所述处理器及待测MEMS连接的信号发生器；所述信号发生器接收处理器发送的信号生成指令；基于所述多个驱动频率生成扫描振镜任一扫描轴的驱动信号并发送所述驱动信号至所述待测MEMS，以使所述待测MEMS的扫描振镜任一扫描轴振动；其中，所述扫描振镜任一扫描轴包括扫描振镜慢轴或扫描振镜快轴；所述处理器用于确定对应扫描振镜任一扫描轴的驱动信号的扫频范围及扫频间隔；基于所述扫频范围及所述扫频间隔，确定多个驱动频率；发送所述信号生成指令至所述信号发生器；从所述多个驱动频率中确定使所述扫描振镜任一扫描轴产生最大振动幅值的目标驱动频率；判断所述扫频间隔是否满足精度要求；如果是，将所述目标驱动频率作为所述扫描振镜任一扫描轴的共振频率；如果否，基于所述目标驱动频率调整所述扫频范围以及所述扫描间隔，并返回继续执行基于所述扫频范围及所述扫频间隔，确定多个驱动频率的操作。优选地，还包括分别与所述处理器及待测MEMS连接的数据采集器；所述处理器从所述多个驱动频率中确定使所述扫描振镜任一扫描轴产生最大振动幅值的目标驱动频率具体是发送信号采集指令至所述数据采集器；基于所述数据采集器采集的振动信号，确定所述振动信中最大振动幅值对应的驱动频率为所述目标驱动频率；所述数据采集器基于所述信号采集指令采集所述扫描振镜任一扫描轴振动时的振动信号，并将所述振动信号发送至所述处理器。优选地，所述信号发生器基于所述多个驱动频率生成扫描振镜任一扫描轴的驱动信号并发送所述驱动信号至所述待测MEMS具体是：基于所述多个驱动频率生成各自对应的正弦驱动信号；依次发送所述多个驱动频率各自对应的正弦驱动信号至所述待测MEMS；其中，每个正弦驱动信号持续的扫描时间及对应的扫描幅值均相同。优选地，所述待测MEMS包括与所述扫描振镜任一扫描轴连接的线圈及用于检测所述扫描振任一扫描轴的角位移的传感组件；其中，所述信号发生器与所述待测MEMS的线圈连接用于发送驱动信号至所述待测MEMS，以使所述线圈基于所述驱动信号发生扭转并触发与所述线圈相连的扫描振镜任一扫描轴振动产生角位移；所述数据采集器与所述传感组件连接，用于采集所述传感组件检测所述扫描振镜任一扫描轴振动时角位移随时间变化而生成的振动信号，并将所述振动信号传输至所述处理器。优选地，还包括与所述处理器连接的电源模块；所述处理器用于发送电源控制指令至所述电源模块；所述电源模块与所述传感组件连接，用于根据所述电源控制指令为所述传感组件提供偏置电源。本申请实施实例提供了一种测试方法及一种测试系统，该测试方法通过确定对应扫描振镜任一扫描轴的驱动信号的扫频范围及扫频间隔并基于所述扫频范围及所述扫频间隔，确定多个驱动频率。利用基于所述多个驱动频率生成的驱动信号依次驱动所述待测MEMS的扫描振镜任一扫描轴振动，以从所述多个驱动频率中确定使所述扫描振镜任一扫描轴产生最大振动幅值的目标驱动频率；判断所述扫频间隔是否满足精度要求；如果是，将所述目标驱动频率作为所述扫描振镜任一扫描轴的共振频率；如果否，基于所述目标驱动频率调整所述扫频范围以及所述扫描间隔，并返回基于所述扫频范围及所述扫频间隔，确定多个驱动频率的步骤继续执行。所述扫描振镜任一轴包括扫描振镜快轴或扫描振镜慢轴，从而可依次确定所述待测MEMS的扫描振镜快轴的共振频率及扫描振镜慢轴的共振频率，为后续设计和生产激光扫描投影设备奠定基础。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1示出了本申请提供的一种测试系统一个实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测试方法，其特征在于，包括：确定对应扫描振镜任一扫描轴的驱动信号的扫频范围及扫频间隔；其中，所述扫描振镜任一扫描轴包括扫描振镜慢轴或扫描振镜快轴；基于所述扫频范围及所述扫频间隔，确定多个驱动频率；利用基于所述多个驱动频率生成的驱动信号依次驱动所述待测MEMS的扫描振镜任一扫描轴振动，以从所述多个驱动频率中确定使所述扫描振镜任一扫描轴产生最大振动幅值的目标驱动频率；判断所述扫频间隔是否满足精度要求；如果是，将所述目标驱动频率作为所述扫描振镜任一扫描轴的共振频率；如果否，基于所述目标驱动频率调整所述扫频范围以及所述扫描间隔，并返回基于所述扫频范围及所述扫频间隔，确定多个驱动频率的步骤继续执行。

【技术特征摘要】
1.一种测试方法，其特征在于，包括：确定对应扫描振镜任一扫描轴的驱动信号的扫频范围及扫频间隔；其中，所述扫描振镜任一扫描轴包括扫描振镜慢轴或扫描振镜快轴；基于所述扫频范围及所述扫频间隔，确定多个驱动频率；利用基于所述多个驱动频率生成的驱动信号依次驱动所述待测MEMS的扫描振镜任一扫描轴振动，以从所述多个驱动频率中确定使所述扫描振镜任一扫描轴产生最大振动幅值的目标驱动频率；判断所述扫频间隔是否满足精度要求；如果是，将所述目标驱动频率作为所述扫描振镜任一扫描轴的共振频率；如果否，基于所述目标驱动频率调整所述扫频范围以及所述扫描间隔，并返回基于所述扫频范围及所述扫频间隔，确定多个驱动频率的步骤继续执行。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述目标驱动频率调整所述扫频范围以及所述扫描间隔包括：减小所述扫频间隔，使调整后的扫描间隔小于调整前的扫描间隔；基于所述目标驱动频率及所述扫频间隔调整所述扫描范围，获得以所述目标驱动频率为中心，以分别与所述目标驱动频率相差所述扫频间隔的第一频率和第二频率为两端的扫描范围。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，判断所述扫频间隔是否满足精度要求包括：判断所述扫频间隔是否大于间隔阈值；如果是，确定所述扫频间隔不满足所述精度要求；如果否，确定所述扫频间隔满足所述精度要求。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述利用基于所述多个驱动频率生成的驱动信号依次驱动所述待测MEMS的扫描振镜任一扫描轴振动，以从所述多个驱动频率中确定使所述扫描振镜任一扫描轴产生最大振动幅值的目标驱动频率包括：控制信号发生器基于所述多个驱动频率生成各自对应的正弦驱动信号；其中，每个正弦驱动信号持续的扫描时间及对应的扫描幅值均相同；控制所述信号发生器依次发送所述多个驱动频率各自对应的正弦驱动信号至所述待测MEMS，以驱动所述待测MEMS的扫描振镜任一扫描轴振动；控制数据采集器采集所述扫描振镜任一扫描轴振动时的振动信号并获取所述数据采集器采集的振动信号；确定所述振动信号中最大振动幅值对应的驱动频率为目标驱动频率。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述待测MEMS包括传感组件；所述控制所述数据采集器采集所述扫描振镜任一扫描轴振动时的振动信号包括：控制所述数据采集器采集所述传感组件检测所述扫描振镜任一扫描轴振动时角位移随时间变化而生成的振动信号，其中所述振动信号为电压信号。6.一种测试系统，其特征在于，包括：处理器、与所述处理器及待测MEMS连接的信号发生器；所述信号发生器接收处...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝瑞娜，赵团伟，
申请(专利权)人：歌尔股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东,37