一种高精度压电传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种高精度压电传感器，包括底座，依次设置在底座上的第一胶粘层、压电薄膜层、第二胶粘层和质量块，所述质量块包括本体、至少一个位于本体底部的凸起部、以及至少一个与凸起部相邻的空缺部，所述凸起部与所述第二胶粘层接触，所述空缺部的高度大于第二粘胶层的厚度。本发明专利技术通过第一胶粘层来将压电薄膜层叠加在底座上，通过第二胶粘层将质量块叠加在压电薄膜层上，以将三者形成连接，不需要设置中心柱，可以避免传统压缩型加速度传感器的质量偏心的问题，减少机械部件，进一步调高器件的共振频率和均匀性。进一步地，本发明专利技术可以在质量块的底部设置空缺部，以减少质量块与压电薄膜层的接触面积和质量块的重量来提高器件的精度。

A High Precision Piezoelectric Sensor

The invention discloses a high-precision piezoelectric sensor, which comprises a base, a first adhesive layer, a piezoelectric film layer, a second adhesive layer and a mass block arranged on the base in turn. The mass block comprises a body, at least one protrusion at the bottom of the body, and at least one vacancy part adjacent to the protrusion. The protrusion part contacts the second adhesive layer and the vacancy part. The height is greater than the thickness of the second viscose layer. The piezoelectric film is superimposed on the base by the first adhesive layer, and the mass block is superimposed on the piezoelectric film layer by the second adhesive layer to form a connection between the three layers without the need for a central column. The problem of mass eccentricity of the traditional compression acceleration sensor can be avoided, the mechanical components can be reduced, and the resonance frequency and uniformity of the device can be further improved. Further, the invention can set a vacancy at the bottom of the mass block to reduce the contact area between the mass block and the piezoelectric film layer and the weight of the mass block to improve the accuracy of the device.

【技术实现步骤摘要】
一种高精度压电传感器
本专利技术涉及传感器
，尤其涉及一种高精度压电传感器。
技术介绍
压电式传感器是基于压电效应的传感器。压电式传感器可以对各种动态力、机械冲击和振动进行测量，将力或者形变转换成电信号，广泛应用在声学、医学、力学、导航等领域。锆钛酸铅(PZT)是一种PbZrO3和PbTiO3的混合材料，有着优异的压电特性和介电特性，因此，PZT是现有压电式传感器中应用最广泛的压电材料。其中，PZT中Zr/Ti配比发生变化或者添加一种或者两种其它微量元素(如锑、锡、锰、钨等)，其性能也会发生改变。PZT压电加速度传感器是PZT压电传感器中的一种。它主要分为压缩和剪切两大类，压缩式传感器与剪切型相比具有更高的响应频率。图1是传统单轴压缩式压电加速度传感器的结构示意图，传统单轴压缩式压电加速度传感器包括中心柱1、压电片2、质量块3、预压弹簧4、固定部件5、外壳6和底座7。现有的压电片2为压电陶瓷片，由压电陶瓷粉末压制烧结而成，由于粉末的颗粒比较大，烧制成的压电陶瓷片中不可避免的存在空隙，而且材料组成、密度、厚度也存在偏差。为了减小不均匀性，在使用前，需要对每个压电陶瓷片进行打磨处理本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度压电传感器，其特征在于，包括底座，依次设置在底座上的第一胶粘层、压电薄膜层、第二胶粘层和质量块，所述质量块包括本体、至少一个位于本体底部的凸起部、以及至少一个与凸起部相邻的空缺部，所述凸起部与所述第二胶粘层接触，所述空缺部的高度大于第二粘胶层的厚度。

【技术特征摘要】
1.一种高精度压电传感器，其特征在于，包括底座，依次设置在底座上的第一胶粘层、压电薄膜层、第二胶粘层和质量块，所述质量块包括本体、至少一个位于本体底部的凸起部、以及至少一个与凸起部相邻的空缺部，所述凸起部与所述第二胶粘层接触，所述空缺部的高度大于第二粘胶层的厚度。2.如权利要求1所述的高精度压电传感器，其特征在于，所述空缺部的高度等于凸起部的高度，且凸起部与压电薄膜层的接触面积小于质量块本体的底面面积。3.如权利要求2所述的高精度压电传感器，其特征在于，包括多个空缺部和多个凸起部，所述空缺部与凸起部纵横交错。4.如权利要求1所述的高精度压电传感器，其特征在于，所述压电薄膜层包括支撑体，依次设置在支撑体上的第一电极、压电薄膜和第二电极，所述压电薄膜的厚度为0.1-10μm。5.如权利要求4所述的高精度压电传感器，其特征在于，所述支撑体由不产生电荷的硬质材料制成，或者由产生电荷数量小于压电...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈显锋，
申请(专利权)人：佛山市卓膜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44