下载一种高精度压电传感器的技术资料

文档序号:20565267

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本发明公开了一种高精度压电传感器,包括底座,依次设置在底座上的第一胶粘层、压电薄膜层、第二胶粘层和质量块,所述质量块包括本体、至少一个位于本体底部的凸起部、以及至少一个与凸起部相邻的空缺部,所述凸起部与所述第二胶粘层接触,所述空缺部的高度大...
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