一种用于激光直写曝光机的内部温度控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于激光直写曝光机的内部温度控制装置，包括冷凝器、风机、过滤网、冷水机及温度控制装置，所述风机设置在冷凝器与过滤网之间且固定为一整体，所述冷水机的进水口、出水口分别通过管道与冷凝器的进水口、出水口连通，所述管道上设有液态阀门，所述液态阀门的控制端与温度控制装置的控制接口连接。本实用新型专利技术可有效解决激光直写曝光机内部温度控制问题，结构简单，使内部温度能够达到曝光工艺要求。

An Internal Temperature Control Device for Laser Direct Writing Exposure Machine

The utility model relates to an internal temperature control device for a laser direct writing exposure machine, which comprises a condenser, a fan, a filter, a water cooler and a temperature control device. The fan is arranged between the condenser and the filter screen and is fixed as a whole. The water inlet and outlet of the water cooler are respectively connected with the water inlet and outlet of the condenser through a pipeline, and the pipeline is provided with the water inlet and outlet of the condenser. A liquid valve is provided, and the control end of the liquid valve is connected with the control interface of the temperature control device. The utility model can effectively solve the internal temperature control problem of the laser direct writing exposure machine, has simple structure, and enables the internal temperature to meet the requirements of the exposure process.

【技术实现步骤摘要】
一种用于激光直写曝光机的内部温度控制装置
本技术涉及激光直写曝光
，具体涉及一种用于激光直写曝光机的内部温度控制装置。
技术介绍
在激光直写曝光过程中，对设备内部腔体的环境要求很高，这个环境包括两方面：温度和洁净度。环境温度变化范围一般为±0.5℃，洁净度要求一般是1000级，这两个技术参数相对来说比较苛刻，如果这两个指标达不到，那么激光直写曝光机的曝光效果会大打折扣，影响产品良率。因此，如何精确控制设备内部温度，同时又不会影响设备曝光良率，已经成为激光直写曝光领域一技术难题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于激光直写曝光机的内部温度控制装置，可有效解决激光直写曝光机内部温度控制问题，结构简单，使内部温度能够达到曝光工艺要求。为实现上述目的，本技术采用了以下技术方案：一种用于激光直写曝光机的内部温度控制装置，包括冷凝器、风机、过滤网、冷水机及温度控制装置，所述风机设置在冷凝器与过滤网之间且三者固定为一整体，所述冷水机的进水口、出水口分别通过管道与冷凝器的进水口、出水口连通，所述管道上设有液态阀门，所述液态阀门的控制端与温度控制装置的控制接口连接。作为上述技术方案的进一步改进：所述温度控制装置包括温度控制器及与液态阀门连接的温度探头，所述温度控制器的采样接口与温度探头连接。由上述技术方案可知，本技术所述的用于激光直写曝光机的内部温度控制装置，通过温度探头、温度控制器和液体阀门共同组成了温度闭环控制系统，在温度控制器上设定温度阈值，温度探头持续感应空气温度，当温度过高超过阈值时，温度控制器打开液态阀门，冷凝水进入冷凝器达到降温的作用。本技术可有效解决激光直写曝光机内部温度控制问题，结构简单，使内部温度能够达到曝光工艺要求。附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步说明：如图1所示，本实施例的用于激光直写曝光机的内部温度控制装置，包括冷凝器3、风机4、过滤网5、冷水机1及温度控制装置，风机4设置在冷凝器3与过滤网5之间且三者固定为一整体，冷水机1的进水口、出水口分别通过管道8与冷凝器3的进水口、出水口连通，管道8上设有液态阀门2，液态阀门2的控制端与温度控制装置的控制接口连接。本实施例的，温度控制装置包括温度控制器6及与液态阀门2连接的温度探头7，温度控制器6的采样接口与温度探头7连接。工作原理：首先在温度控制器6上设定温度阈值，温度探头7持续感应空气温度，当温度过高超过阈值时，温度控制器6打开液态阀门2，水冷机1给冷凝器3提供循环水，该循环水的温度可以设定，冷凝水进入冷凝器3达到降温的作用，当温度低于设定阈值，则关闭液态阀门2，保证设备内部温度达到一个动态平衡，有效控制了设备内部温度，提升了设备曝光的良率。该风机4可将外部空气抽到设备内部，由于设备曝光工艺对环境要求很高，不能有大的灰尘颗粒，所以从外部进入机台内部的空气需要经过高效过滤网进行过滤。以上所述的实施例仅仅是对本技术的优选实施方式进行描述，并非对本技术的范围进行限定，在不脱离本技术设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本技术的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本技术权利要求书确定的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于激光直写曝光机的内部温度控制装置，其特征在于：包括冷凝器（3）、风机（4）、过滤网（5）、冷水机（1）及温度控制装置，所述风机（4）设置在冷凝器（3）与过滤网（5）之间且固定为一整体，所述冷水机（1）的进水口、出水口分别通过管道（8）与冷凝器（3）的进水口、出水口连通，所述管道（8）上设有液态阀门（2），所述液态阀门（2）的控制端与温度控制装置的控制接口连接。

【技术特征摘要】
1.一种用于激光直写曝光机的内部温度控制装置，其特征在于：包括冷凝器（3）、风机（4）、过滤网（5）、冷水机（1）及温度控制装置，所述风机（4）设置在冷凝器（3）与过滤网（5）之间且固定为一整体，所述冷水机（1）的进水口、出水口分别通过管道（8）与冷凝器（3）的进水口、出水口连通，所述管...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏云飞，朱会敏，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34