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本实用新型涉及一种用于激光直写曝光机的内部温度控制装置，包括冷凝器、风机、过滤网、冷水机及温度控制装置，所述风机设置在冷凝器与过滤网之间且固定为一整体，所述冷水机的进水口、出水口分别通过管道与冷凝器的进水口、出水口连通，所述管道上设有液态阀...
该专利属于合肥芯碁微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备有限公司授权不得商用。

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