An exposure machine includes a base part, a port part and a transmission structure; the base part includes a workbench and a supporting frame, which is located on the workbench for placing a pallet, which is used for placing a substrate; the port part is used as an inlet and outlet of the exposure machine; the transmission mechanism includes an upper arm, a lower arm and a movable pallet guide rail. The tray guide rail connects the base part and the port part, wherein the lower arm is provided with a hook for hooking the tray and moving the tray to the port part. Beneficial effect: The invention draws the pallet directly from the base to the port by hooking the pallet on the lower arm, and then transmits it to the exposure machine. At the same time, it uses the upper arm to clamp the next group of baseboard for exposure process, which reduces the loss of rhythm time caused by the exchange of upper and lower arms in the exposure machine, and achieves the technical effect of improving production efficiency.
【技术实现步骤摘要】
一种曝光机及其传送基板的方法
本专利技术涉及显示
,尤其涉及一种曝光机及其传送基板的方法。
技术介绍
近年来,中小尺寸液晶显示器发展迅猛,LTPS(LowTemperaturePoly-silicon,中文简称:低温多晶硅)制程过程中会应用到高精度的曝光机,目前基板从上游做完涂布制程后,robot(机器人)手臂将基板送入曝光机,现有技术为,在曝光机port(端口)部设计两个UPER/LOWERarm(上/下臂),两个arm(臂)将基板从port部和stage(基台)部之间相互转换进行传送片。综上所述,现有技术的曝光机,由于采取上下臂交换夹取基板进行传送的方式,导致节拍时间的流失。故,有必要提供一种新型的曝光机及其传送基板的方法来改善这一缺陷。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种曝光机,用于解决现有技术由于采取上下臂交换夹取基板进行传送的方式,导致节拍时间流失的技术问题。本专利技术实施例提供一种曝光机,包括:基台部,包括工作台以及承片框,所述承片框位于所述工作台上,用于放置托盘,所述托盘用于盛放基板;端口部,用作所述曝光机的入料口和出料口;传送机构,包括上臂、下臂以及可移动式的托盘导轨,所述托盘导轨连接所述基台部与所述端口部;其中,所述下臂设置有挂钩,用于钩取所述托盘并将所述托盘移至所述端口部。其中,所述端口部包括滚轮以及板式装载机。其中,所述滚轮位于所述板式装载机的两侧,用于限定所述托盘的移动方向。其中,所述板式装载机上设置有用于支撑所述基板的第一顶针组,以及用于支撑所述托盘的第二顶针组。其中,所述曝光机的机架上设置有用于上臂移动的第一轨道,以及用于 ...
【技术保护点】
1.一种曝光机,其特征在于,包括:基台部,包括工作台以及承片框,所述承片框位于所述工作台上,用于放置托盘,所述托盘用于盛放基板;端口部,用作所述曝光机的入料口和出料口;传送机构,包括上臂、下臂以及可移动式的托盘导轨,所述托盘导轨连接所述基台部与所述端口部;其中,所述下臂设置有挂钩,用于钩取所述托盘并将所述托盘移至所述端口部。
【技术特征摘要】
1.一种曝光机,其特征在于,包括:基台部,包括工作台以及承片框,所述承片框位于所述工作台上,用于放置托盘,所述托盘用于盛放基板;端口部,用作所述曝光机的入料口和出料口;传送机构,包括上臂、下臂以及可移动式的托盘导轨,所述托盘导轨连接所述基台部与所述端口部;其中,所述下臂设置有挂钩,用于钩取所述托盘并将所述托盘移至所述端口部。2.如权利要求1所述的曝光机,其特征在于,所述端口部包括滚轮以及板式装载机。3.如权利要求2所述的曝光机,其特征在于,所述滚轮位于所述板式装载机的两侧,用于限定所述托盘的移动方向。4.如权利要求3所述的曝光机,其特征在于,所述板式装载机上设置有用于支撑所述基板的第一顶针组,以及用于支撑所述托盘的第二顶针组。5.如权利要求1所述的曝光机,其特征在于,所述曝光机的机架上设置有用于上臂移动的第一轨道,以及用于下臂移动的第二轨道。6.如权利要求1所述的曝光机,其特征在于,所述托盘导轨包...
【专利技术属性】
技术研发人员:王威,
申请(专利权)人:武汉华星光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北,42
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。