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一种曝光机，包括基台部，端口部以及传送结构；所述基台部包括工作台、以及承片框，所述承片框位于所述工作台上，用于放置托盘，所述托盘用于盛放基板；所述端口部用作所述曝光机的入料口和出料口；所述传送机构包括上臂、下臂以及可移动式的托盘导轨，所述托...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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