等离子体淀积炉的反应室结构制造技术

本发明专利技术公开了提供一种等离子体淀积炉的反应室结构，包括：内层石英管，其内部为用于盛装反应气体的反应腔；外层石英管，其套在内层石英管外并与所述内层石英管同轴，外层石英管与所述内层石英管之间具有间距；用于将反应气体电离产生碳原子的电感线圈，其缠绕在内层石英管上，且电感线圈沿内层石英管的轴向延伸，电感线圈与射频电源连接。本发明专利技术电感线圈通入射频电源后，电感线圈将反应腔内的反应气体电离产生碳原子，这样碳原子会一层一层的落在铜箔或铝箔上，而碳原子与碳原子之间会通过化学键联接在一起，从而在铜箔或铝箔上生长出石墨烯，这样石墨烯具有特定的结构，更有利于锂离子电池的储能，从而使该锂离子电池具有更高的能量密度。

【技术实现步骤摘要】
等离子体淀积炉的反应室结构
本专利技术涉及等离子体淀积炉设备
，更具体地说是涉及一种等离子体淀积炉的反应室结构。
技术介绍
目前，随着电动汽车、电动单车的大量应用，以及光伏发电、风力发电的大量推广，对电的储能装置需求越来越多，而锂离子电池是其中不错的选择。锂离子电池主要由正极片、负极片和隔膜组成，而其中的负极片是由铜箔或铝箔及其上的石墨组成。当前，负极片的生产是由涂布机来完成的，大致工艺是由石墨、粘结剂、稀释剂和助剂制成浆料，铜箔或铝箔以卷料的形式放入涂布机，开卷后，通过辊筒印刷的形式在铜箔或铝箔的表面涂覆上石墨浆料，再经过烘干固化，最后分条形成所需的宽度尺寸的负极片。但是通过涂布机来生产负极片时，铜箔或铝箔上的石墨仅仅是石墨固体小颗粒的堆砌，不利于锂离子电池的储能，从而锂离子电池能量密度比较低。
技术实现思路
为解决现有通过涂布机来生产负极片而导致锂离子电池能量密度比较低的问题，本专利技术提供一种等离子体淀积炉的反应室结构，用于生产负极片，使得锂离子电池具有更高的能量密度。本专利技术的技术方案为：提供一种等离子体淀积炉的反应室结构，包括：内层石英管，其内部为用于盛装反应气体的反应本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子体淀积炉的反应室结构，其特征在于，包括：内层石英管（1），其内部为用于盛装反应气体的反应腔（1）；外层石英管（3），其套在所述内层石英管（1）外并与所述内层石英管（1）同轴，所述外层石英管（2）与所述内层石英管（1）之间具有间距；用于将所述反应气体电离产生碳原子的电感线圈（3），其缠绕在所述内层石英管（1）上，且所述电感线圈（3）沿所述内层石英管（1）的轴向延伸，所述电感线圈（3）与射频电源连接。

【技术特征摘要】
1.一种等离子体淀积炉的反应室结构，其特征在于，包括：内层石英管（1），其内部为用于盛装反应气体的反应腔（1）；外层石英管（3），其套在所述内层石英管（1）外并与所述内层石英管（1）同轴，所述外层石英管（2）与所述内层石英管（1）之间具有间距；用于将所述反应气体电离产生碳原子的电感线圈（3），其缠绕在所述内层石英管（1）上，且所述电感线圈（3）沿所述内层石英管（1）的轴向延伸，所述电感线圈（3）与射频电源连接。2.根据权利要求1所述的等离子体淀积炉的反应室结构，其特征在于，所述电感线圈（3）安装在一支架（28）上，所述支架（28）套在内层石英管（1）上。3.根据权利要求2所述的等离子体淀积炉的反应室结构，其特征在于，所述支架（28）包括两个环形固定板（281）和设在所述两个环形固定板（281）之间的多个绝缘支撑杆（282），所述多个绝缘支撑杆（282）相互平行且每个绝缘支撑杆（282）均沿内层石英管（1）的轴向延伸，电感线圈（3）固定在多个绝缘支撑杆（282）之间。4.根据权利要求3所述的等离子体淀积炉的反应室结构，其特征在于，所述支架（28）还包括多个连接杆（283），连接杆（283）与绝缘支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨宝立，张勇，李时俊，伍波，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44