一种载台升降装置及应用其的长晶炉制造方法及图纸

本技术提供一种载台升降装置及应用其的长晶炉，其中载台升降装置包括第一丝杠模组，包括沿第一方向延伸、可转动的第一丝杆；沿第一丝杆活动的第一运动件；安装于第一丝杆一端的第一从动轮；第二丝杠模组，包括可转动、且平行于第一丝杆的第二丝杆；沿第二丝杆活动的第二运动件；安装于第二丝杆对应第一丝杆同一端的第二从动轮；载台，连接于第一运动件和第二运动件；主动轮，通过同步带连接于第一从动轮和第二从动轮；驱动单元，用于驱动主动轮定轴转动，以使同步带带动第一从动轮和第二从动轮同步转动，并使载台随第一运动件和第二运动件沿第一方向运动。该装置以单电机驱动传动轮组带动双丝杠在滑块导向配合下驱使载台升降，避免载台卡阻。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及碳化硅晶体生长，特别涉及一种载台升降装置及应用其的长晶炉。

技术介绍

1、碳化硅作为重要的第三代半导体材料，拥有禁带宽度、击穿强度大，饱和电子迁移率、热导率高等优势，已被广泛应用于电力电子、射频及光电子器件等领域。目前，碳化硅晶体的生长一般采用物理气相传输法(physical vapor transport，pvt)。pvt法常采用中频感应线圈作为碳化硅长晶炉的加热电源，在线圈的涡流作用下高密度石墨坩埚被加热，使置于石墨坩埚底部的碳化硅粉体分解升华成sic、sic2、si2c等气相物质。这类气相物质在炉膛内温度梯度分布形成的压力梯度的驱动下，向炉膛低温区的晶体生长腔输送，在碳化硅籽晶上结晶，进而生长为碳化硅晶体。

2、现有的碳化硅长晶炉，其炉体下端通常设置开口，并在开口处设置可升降的盖体以启闭开口，从而通过盖体上升敞开来开口，方便执行对炉膛装料、取料、清理等作业。然而，现有的碳化硅长晶炉，由于其内部安装空间有限，因此其传动装置通常采用电机(例如伺服电机、步进电机等)经减速机驱动单个皮带轮或丝杠螺母机构，配合单个滑块滑轨引导结构组成，以本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种载台升降装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的载台升降装置，其特征在于，还包括：

3.如权利要求2所述的载台升降装置，其特征在于，还包括：

4.如权利要求3所述的载台升降装置，其特征在于，所述第一丝杠模组(1)和所述第二丝杠模组(3)的两端分别可转动地安装于安装竖板(9)同一面设置的对应轴承座(91)上，所述导向支撑结构(10)设于安装竖板(9)上并位于第一丝杠模组(1)和第二丝杠模组(3)之间。

5.如权利要求4所述的载台升降装置，其特征在于，所述驱动单元(8)安装于所述安装竖板(9)背向所述第一丝杠模组(1)和所述第二...

【技术特征摘要】

1.一种载台升降装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的载台升降装置，其特征在于，还包括：

3.如权利要求2所述的载台升降装置，其特征在于，还包括：

4.如权利要求3所述的载台升降装置，其特征在于，所述第一丝杠模组(1)和所述第二丝杠模组(3)的两端分别可转动地安装于安装竖板(9)同一面设置的对应轴承座(91)上，所述导向支撑结构(10)设于安装竖板(9)上并位于第一丝杠模组(1)和第二丝杠模组(3)之间。

5.如权利要求4所述的载台升降装置，其特征在于，所述驱动单元(8)安装于所述安装竖板(9)背向所述第一丝杠模组(1)和所述第二丝杠模组(3)的相对另一面，一对所述张紧轮(71)间隔安装于所述安装竖板(9)设置第一丝杠模组(1)和第二丝杠模组(3)的同一面，所述安装竖板(9)设有供所述同步带(7)穿过的让位结构。

6.如权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓斌，王学仕，王宝财，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：