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本发明公开了提供一种等离子体淀积炉的反应室结构，包括：内层石英管，其内部为用于盛装反应气体的反应腔；外层石英管，其套在内层石英管外并与所述内层石英管同轴，外层石英管与所述内层石英管之间具有间距；用于将反应气体电离产生碳原子的电感线圈，其缠绕...
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