The utility model relates to the technical field of crystal processing, in particular to a crystal rod adjusting mechanism, which comprises a driving roll assembly and a driven roll assembly. The driving roll assembly comprises a driving roll, a driving roll seat, a first moving mechanism and a rotating mechanism. The driving roll seat moves horizontally in the left and right direction through the first moving mechanism, and the driving roll and the rotating mechanism are arranged in the driving roll. The driven roll assembly includes a driven roll, a driven roll seat and a second moving mechanism. The driven roll seat moves horizontally in the left and right directions through the second moving mechanism, and the driven roll is installed on the driven roll seat. The crystal rod is clamped and supported by the driving roll and the driven roll when the mechanism works, and through the said driving roll and the driven roll. The driving roll drives rotation, and the upper side of the driving roll assembly and the driven roll assembly is provided with an encoder assembly moving in the front and rear directions. The utility model can accurately adjust the rotation angle of the crystal rod and effectively guarantee the quality of the subsequent crystal slice products.
【技术实现步骤摘要】
一种晶棒调整机构
本技术涉及晶体加工
,具体地说是一种晶棒调整机构。
技术介绍
人工生长出来的单晶硅晶棒在加工出各种规格的晶片前,需要先将毛胚晶棒进行定向,找出需要的方向后,利用磨削设备将晶棒柱面加工出参考边或刻痕,然后按测定角度值将晶棒粘接在料板上,并且进行晶棒粘接时,晶棒柱面参考边或刻痕需指向指定角度,而在上述过程中,晶棒调整尤为重要,如果晶棒位置调整不准确,就无法满足方向精度要求,会严重影响后续单晶硅切片精度,导致晶体切片制品的不合格率较高。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶棒调整机构,能够精确调整晶棒旋转角度,有效保证后续晶体切片制品质量。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的:一种晶棒调整机构,包括驱动辊组件和从动辊组件,所述驱动辊组件包括驱动辊、驱动辊座、第一移动机构和旋转机构,所述驱动辊座通过所述第一移动机构驱动沿左右方向水平移动,驱动辊和旋转机构设置于所述驱动辊座上,且所述驱动辊通过所述旋转机构驱动旋转,从动辊组件包括从动辊、从动辊座和第二移动机构,从动辊座通过所述第二移动机构驱动沿左右方向水平移动,且从动辊安装于所述从动辊座上,机构工作时晶 ...
【技术保护点】
1.一种晶棒调整机构,其特征在于:包括驱动辊组件和从动辊组件,所述驱动辊组件包括驱动辊、驱动辊座(2)、第一移动机构和旋转机构,所述驱动辊座(2)通过所述第一移动机构驱动沿左右方向水平移动,驱动辊和旋转机构设置于所述驱动辊座(2)上,且所述驱动辊通过所述旋转机构驱动旋转,从动辊组件包括从动辊、从动辊座(7)和第二移动机构,从动辊座(7)通过所述第二移动机构驱动沿左右方向水平移动,且从动辊安装于所述从动辊座(7)上,机构工作时晶棒(1)通过所述驱动辊和从动辊夹持支撑,并通过所述驱动辊驱动旋转,在所述驱动辊组件和从动辊组件上侧设有沿前后方向移动的编码器组件(9)。
【技术特征摘要】
2018.02.23 CN 20181015525531.一种晶棒调整机构,其特征在于:包括驱动辊组件和从动辊组件,所述驱动辊组件包括驱动辊、驱动辊座(2)、第一移动机构和旋转机构,所述驱动辊座(2)通过所述第一移动机构驱动沿左右方向水平移动,驱动辊和旋转机构设置于所述驱动辊座(2)上,且所述驱动辊通过所述旋转机构驱动旋转,从动辊组件包括从动辊、从动辊座(7)和第二移动机构,从动辊座(7)通过所述第二移动机构驱动沿左右方向水平移动,且从动辊安装于所述从动辊座(7)上,机构工作时晶棒(1)通过所述驱动辊和从动辊夹持支撑,并通过所述驱动辊驱动旋转,在所述驱动辊组件和从动辊组件上侧设有沿前后方向移动的编码器组件(9)。2.根据权利要求1所述的晶棒调整机构,其特征在于:所述第一移动机构和第二移动机构结构相同,均包括移动驱动装置(3)、丝杠(4)和丝母(5),丝杠(4)通过所述移动驱动装置(3)驱动旋转,丝母(5)安装于丝杠(4)上,驱动辊座(2)与第一移动机构的丝母(5)固连,从动辊座(7)与第二移动机构的丝母(5)固连。3.根据权利要求1所述的晶棒调整机构,其特征在于:所述旋转机构包括旋转驱动装置(10)和传动组件(11),所述驱动辊通过所述旋转驱动装置(10)驱动旋转,且...
【专利技术属性】
技术研发人员:甄伟,赵松彬,
申请(专利权)人:丹东新东方晶体仪器有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁,21
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