封装天线及其制造方法技术

本公开涉及一种封装天线及其制造方法，所述封装天线包括芯片、基板和第一再布线层和第二再布线层，所述芯片固定在所述基板中，所述基板的一个表面层压所述第一再布线层，另一个表面层压所述第二再布线层，其中，第一再布线层制作天线图形，第二再布线层制作反射地平面和馈线图形，或者，反射地平面由基板金属层形成。所述封装天线能够降低其自身的寄生参数，同时改善天线性能。

【技术实现步骤摘要】
封装天线及其制造方法
本公开涉及封装天线
，具体地，涉及一种封装天线和封装天线的制造方法。
技术介绍
随着近几十年科学技术的发展，毫米波逐渐向民用小型化多功能的方向发展，在汽车雷达、高速数据通信、工业自动化传感器、医疗器材等方面获得了广泛的应用。天线是无线系统中的重要部件，有分离和集成两种形式。其中集成天线包括片上天线(Antenna-on-Chip，简称“AoC”)和封装天线(Antenna-in-Package，简称“AiP”)两大类型。片上天线技术通过半导体材料与工艺将天线与其他电路集成在同一个芯片上，优点是集成度高，不需要额外的互连，寄生效应小，尤其对于太赫兹频段更适用一些。缺点是天线占用成本较高的采用微波工艺的芯片面积，以及工艺本身对天线结构和性能产生了限制。另外集成电路设计和纠错周期长、费用高也限制了AoC技术的应用。AiP技术是通过封装材料与工艺将天线集成在携带芯片的封装内。AiP技术很好地兼顾了天线性能、成本及体积，代表着近年来天线技术重大成就，因而是目前毫米波应用的主流方向。同AoC相比，AiP系统设计周期短，方便灵活，可以采用同一颗芯片搭配不同的天线结构，实现需要的性能。如今几乎所有的60GHz无线通信和手势雷达芯片都采用了AiP技术。除此之外，在79GHz汽车雷达，5G通信，122GHz传感器等应用和研究中也都广泛应用AiP天线解决方案。毫米波频段在30-300GHz之间，频带非常宽。同微波雷达相比，毫米波雷达具有波束窄、天线体积小的优点、同激光和远红外相比又有穿透性强的优势。天线是毫米波系统中的重要部件，如果将天线设计在系统封装的外面，则需要用同轴线、波导或微带线等实现系统到天线的连接，不仅体积大，而且引入寄生的电感、电容，影响系统的性能，此外制作加工过程引入的误差以及误差控制也提高了成本，使毫米波方案难以普及。封装天线(AiP)技术将天线与射频收发系统集成在一个小的封装模块中，大大减轻了天线到芯片互连的设计问题，在整个系统获得更高集成度的同时，降低了成本，提升了系统性能。在AiP技术中，天线和MMIC(MonolithicMicrowaveIntegratedCircuit，单片微波集成电路)芯片的互连可以采用引线键合、倒装凸点或者扇出(fanout)技术。采用引线键合做芯片和天线的互连是最标准和低成本的封装形式，键合引线直接将芯片的毫米波信号焊盘引出到基板上或接到天线模块的馈线焊盘。由于键合引线寄生电感大，对带宽产生限制。同时严重影响匹配，需要做补偿。当键合引线的长度和波长可以比拟时，则形成寄生天线，使天线增益和辐射效率降低。倒装凸点焊接采用转接基板，是另一种常用的封装形式，通常天线图形做在基板上，芯片通过焊球接到基板上的馈线，由于凸点寄生效应比较小，更适合毫米波连接。但这种结构只能用于芯片焊盘间距较大的情况，对于小尺寸焊盘应用较为困难，实现成本较高。通常采用CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor，互补金属氧化物半导体)工艺的芯片标准50ohm特征阻抗接地共面波导输出焊盘，其焊盘节距限制难以应用较低成本的凸点倒装焊的封装形式。同前两种封装相比，采用扇出(Fanout)实现AiP的天线和电连接具有不可比拟的优势，对扇出结构来说，RDL层(Redistributedlayer，再布线层)连接芯片焊盘的通孔寄生效应在毫米波频段几乎可以忽略，尤其对于超过100GHz的应用性能优越。毫米波天线对形成天线和馈线的金属布线的尺寸精度要求较高，扇出工艺RDL布线层采用的光刻工艺精度远高于普通基板布线工艺，满足毫米波天线制作的误差要求。MMIC芯片通常功耗很大，同倒装凸点封装相比，扇出封装无需基板，热阻也小。随着集成度的提高，扇出封装越来越成为封装技术的必经之路。对于毫米波芯片AiP封装而言，传统的封装技术是将MMIC芯片扇出封装起来，再集成到AiP系统中，但这会增加互连的寄生参数。此外，目前多家厂商均提供扇出封装工艺，如英飞凌(Infineon)的eWLB(embeddedWaferLevelBallgridarray，嵌入式圆片级球栅阵列封装)，TSMC的InFO-WLP等，但不提供工艺定制服务。以eWLB工艺为例，采用eWLB工艺制造的封装结构只有一层RDL再布线层，在实现AiP时，若使用RDL金属层形成天线图形，则无法在eWLB封装上做反射地平面，只能用PCB(PrintedCircuitBoard，印制电路板)上的布线层做地平面，需要仔细优化PCB结构以协同天线设计，给应用带来麻烦，提高了应用成本。
技术实现思路
本公开的目的是提供一种封装天线及其制造方法，以降低其自身的寄生参数，同时改善天线性能。为了实现上述目的，根据本公开的第一方面，提供一种封装天线，包括：芯片，该芯片具有相对的正面和反面；基板，该基板具有相对的第一表面和第二表面，所述第二表面上设置有基板金属层，该基板金属层形成有反射地平面，所述基板在所述第二表面开设有基板槽，所述芯片容纳在所述基板槽中并固定于所述基板，所述芯片的正面暴露于所述第二表面且与所述第二表面平齐；第一再布线层，该第一再布线层设置在所述第一表面上，且包括第一RDL金属层，该第一RDL金属层形成有天线辐射贴片，该天线辐射贴片的辐射方向背离所述反射地平面；第二再布线层，该第二再布线层包括设置在所述第二表面和所述正面上的第二RDL金属层，该第二RDL金属层形成有馈线、多个扇出引线和多个焊盘，所述馈线连接于所述芯片，以向与所述天线辐射贴片馈电；以及多个焊球，植于所述焊盘上。根据本公开的第一方面，提供一种封装天线，包括：芯片，该芯片具有相对的正面和反面；基板，该基板具有相对的第一表面和第二表面，所述基板在所述第二表面开设有基板槽，所述芯片容纳在所述基板槽中并固定于所述基板，所述芯片的正面暴露于所述第二表面且与所述第二表面平齐；第一再布线层，该第一再布线层设置在所述第一表面上，且包括第一RDL金属层，该第一RDL金属层形成有天线辐射贴片；第二再布线层，该第二再布线层包括设置在所述第二表面和所述正面上的第二RDL金属层，该第二RDL金属层形成有反射地平面、馈线、多个扇出引线和多个焊盘，所述馈线连接于所述芯片，以向与所述天线辐射贴片馈电，所述天线辐射贴片的辐射方向背离所述反射地平面；以及多个焊球，植于所述焊盘上。可选择地，所述芯片通过塑料材料模塑固定在所述基板槽中。可选择地，所述正面上设置有多个凸点，所述第二再布线层包括设置在所述第二表面和所述正面上的第二RDL介质层，所述凸点暴露于所述第二RDL介质层。可选择地，所述第二RDL金属层包括两层，靠近所述基板的一层形成有所述反射地平面，远离所述基板的一层形成有所述馈线、多个扇出引线和多个焊盘。可选择地，所述反射地平面形成有馈电孔，以使得所述馈线通过孔径耦合或同轴馈电的方式向所述天线辐射贴片馈电。基于本公开的第一方面，本公开第三方面提供一种封装天线的制造方法，所述封装天线为本公开的第一方面所述的封装天线，所述制造方法包括：提供芯片，该芯片具有相对的正面和反面；提供基板，该基板具有相对的第一表面和第二表面，所述第二表面上设置有基板金属层，该基板金属层形成有反射地平面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种封装天线，其特征在于，所述封装天线包括：芯片(1)，该芯片(1)具有相对的正面和反面；基板(2)，该基板(2)具有相对的第一表面和第二表面，所述第二表面上设置有基板金属层，该基板金属层形成有反射地平面(52)，所述基板(2)在所述第二表面开设有基板槽，所述芯片(1)容纳在所述基板槽中并固定于所述基板(2)，所述芯片(1)的正面暴露于所述第二表面且与所述第二表面平齐；第一再布线层(3)，该第一再布线层(3)设置在所述第一表面上，且包括第一RDL金属层(32)，该第一RDL金属层(32)形成有天线辐射贴片(51)，该天线辐射贴片(51)的辐射方向背离所述反射地平面(52)；第二再布线层(4)，该第二再布线层(4)包括设置在所述第二表面和所述正面上的第二RDL金属层，该第二RDL金属层形成有馈线(53)、多个扇出引线和多个焊盘(55)，所述馈线(53)连接于所述芯片(1)，以向与所述天线辐射贴片(51)馈电；以及多个焊球，植于所述焊盘(55)上。

【技术特征摘要】
1.一种封装天线，其特征在于，所述封装天线包括：芯片(1)，该芯片(1)具有相对的正面和反面；基板(2)，该基板(2)具有相对的第一表面和第二表面，所述第二表面上设置有基板金属层，该基板金属层形成有反射地平面(52)，所述基板(2)在所述第二表面开设有基板槽，所述芯片(1)容纳在所述基板槽中并固定于所述基板(2)，所述芯片(1)的正面暴露于所述第二表面且与所述第二表面平齐；第一再布线层(3)，该第一再布线层(3)设置在所述第一表面上，且包括第一RDL金属层(32)，该第一RDL金属层(32)形成有天线辐射贴片(51)，该天线辐射贴片(51)的辐射方向背离所述反射地平面(52)；第二再布线层(4)，该第二再布线层(4)包括设置在所述第二表面和所述正面上的第二RDL金属层，该第二RDL金属层形成有馈线(53)、多个扇出引线和多个焊盘(55)，所述馈线(53)连接于所述芯片(1)，以向与所述天线辐射贴片(51)馈电；以及多个焊球，植于所述焊盘(55)上。2.一种封装天线，其特征在于，所述封装天线包括：芯片(1)，该芯片(1)具有相对的正面和反面；基板(2)，该基板(2)具有相对的第一表面和第二表面，所述基板(2)在所述第二表面开设有基板槽，所述芯片(1)容纳在所述基板槽中并固定于所述基板(2)，所述芯片(1)的正面暴露于所述第二表面且与所述第二表面平齐；第一再布线层(3)，该第一再布线层(3)设置在所述第一表面上，且包括第一RDL金属层(32)，该第一RDL金属层(32)形成有天线辐射贴片(51)；第二再布线层(4)，该第二再布线层(4)包括设置在所述第二表面和所述正面上的第二RDL金属层，该第二RDL金属层形成有反射地平面(52)、馈线(53)、多个扇出引线和多个焊盘(55)，所述馈线(53)连接于所述芯片(1)，以向与所述天线辐射贴片(51)馈电，所述天线辐射贴片(51)的辐射方向背离所述反射地平面(52)；以及多个焊球，植于所述焊盘(55)上。3.根据权利要求1或2所述的封装天线，其特征在于，所述芯片(1)通过塑料材料(71)模塑固定在所述基板槽中。4.根据权利要求1或2所述的封装天线，其特征在于，所述正面上设置有多个凸点，所述第二再布线层(4)包括设置在所述第二表面和所述正面上的第二RDL介质层(41)，所述凸点暴露于所述第二RDL介质层(41)。5.根据权利要求2所述的封装天线，其特征在于，所述第二RDL金属层包括两层，靠近所述基板(2)的一层形成有所述反射地平面(52)，远离所述基板(2)的一层形成有所述馈线(53)、多个扇出引线和多个焊盘(55)。6.根据权利要求1或2所述的封装天线，其特征在于，所述反射地平面(52)形成有馈电孔(54)，以使得所述馈线(53)通过孔径耦合或同轴馈电的方式向所述天线辐射贴片(51)馈电。7.一种封装天线的制造方法，其特征在于，所述封装天线为权利要求1和3-6中任意一项所述的封装天线...

【专利技术属性】
技术研发人员：王谦，蔡坚，张雪松，周晟娟，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：北京,11