一种基于等离子体波导的逻辑输出光源制造技术

本发明专利技术公开一种基于等离子体波导的逻辑输出光源。其特征：主要包括金属薄膜及金属薄膜上的矩形波导和矩形谐振腔；波导由入射波导、中间波导和出射波导组成；中间波导的一端与入射波导相连，另一端与出射波导相连；入射波导一端延伸到金属薄膜的一侧形成光的入射口，出射波导另一端延伸到金属薄膜的另一侧形成光的出射口；当输出信号源输出两种信号时，谐振腔个数为一个，当输出信号源输出三种信号时，增加一个出射波导，同时增加一个垂直于出射波导的谐振腔。此结构能输出三位二进制信号，通过改变入射光的波长控制输出的逻辑信号，同时通过调节谐振腔的长度可调整信号源输出频率。本发明专利技术将在未来全光学计算的光子集成电路中有潜在应用。

【技术实现步骤摘要】
一种基于等离子体波导的逻辑输出光源(一)
本专利技术涉及微纳光子
，具体涉及一种基于等离子体波导的逻辑输出光源。(二)
技术介绍
表面等离激元(SPP)是沿着金属介质界面传播的倏逝波，它能有效的克服传统光学的衍射极限，在入射光波波长与数值孔径相比拟的时候实现光的异常透射(EOT)现象。对EOT现象的研究，将人类对光与金属/介质界面的电磁学研究带入了纳米尺度的世界。具有微纳尺寸的等离子体波导组件能够克服传统光学衍射极限的缺点，具有尺寸小、速度快的优点，是有效克服制约集成电路发展问题的下一代芯片的新技术。近十年来，具有强电磁波耦合的亚波长尺寸下的等离子体波导已经被学者广泛而深入的研究。在早期研究中，对于不同类型的等离子体波导的基本原理和固有特性以及波导的有效激发方式已经研究透彻。然而，基于表面等离激元组件的研究也有其缺陷，即光学波长范围内贵金属所具有的不可避免的欧姆热损耗。基于此，科研人员开始专注于解决降低等离子体损耗的关键问题。最近，研究人员开发了各种功能组件和装置，例如：HuangC课题组及ShapovalOV课题组研究的等离子体激光器[1]-[2]，KawashimaT课题组本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于等离子体波导的逻辑输出光源，其特征在于：本结构包括金属薄膜1、以及开设在金属薄膜上的弯曲波导和与波导接触的矩形谐振腔；弯曲波导由入射波导2(同时作为一个出射波导)；中间波导3和出射波导4组成(入射波导随着信号源的增加而增加)；入射波导2、中间波导3、和出射波导4均为矩形；中间波导3的一端与入射波导2的中间相连，中间波导3的另一端与出射波导4相连；入射波导2的一端延伸到金属薄膜1的一侧边缘形成光的入射口，出射波导2和出射波导4的另一端延伸到金属薄膜1的另一侧边缘形成光的出射口；入射波导2与出射波导4平行，中间波导3同时垂直于入射波导2和出射波导4；当输出信号源输出两种信号时，谐振腔个...

【技术特征摘要】
1.一种基于等离子体波导的逻辑输出光源，其特征在于：本结构包括金属薄膜1、以及开设在金属薄膜上的弯曲波导和与波导接触的矩形谐振腔；弯曲波导由入射波导2(同时作为一个出射波导)；中间波导3和出射波导4组成(入射波导随着信号源的增加而增加)；入射波导2、中间波导3、和出射波导4均为矩形；中间波导3的一端与入射波导2的中间相连，中间波导3的另一端与出射波导4相连；入射波导2的一端延伸到金属薄膜1的一侧边缘形成光的入射口，出射波导2和出射波导4的另一端延伸到金属薄膜1的另一侧边缘形成光的出射口；入射波导2与出射波导4平行，中间波导3同时垂直于入射波导2和出射波导4；当输出信号源输出两种信号时，谐振腔个数为一个，且谐振腔垂直于入射波导1，当输出信号源输出三种信号时，增加一个垂直于入射波导2的出射波导6，同时增加一个垂直于出射波导6的谐振腔7；上述谐振腔及波导均为矩形。2.在本发明中，谐振腔5沿着竖直方向延伸，谐振腔7沿着水平方向延伸，且谐振腔与中间波导皆接触。平面光在金属薄膜1左侧沿着中间波导2水平入射时，金属膜表面激发的表面等离激元...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖功利，徐俊林，杨宏艳，韦清臣，杨秀华，窦婉滢，李海鸥，傅涛，孙堂友，张法碧，
申请(专利权)人：桂林电子科技大学，
类型：发明
国别省市：广西,45