一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置，包括支架和激光发生器，电机输出端连接转轴，转轴固定连接主动半齿轮，从动齿轮固定连接螺纹杆，螺纹杆另一端延伸至支架右侧内壁上，且通过轴承与支架转动连接，套管上端铰接连接第二连杆，第二连杆另一端铰接连接第二固定块，第二固定块固定安装在第二固定杆上，第一固定杆和第二固定杆分别与支架内壁滑动连接，直杆另一端固定连接连接块，连接块通过连接轴固定连接安装座，安装座上表面固定连接安装板，安装板上设置有激光发生器，激光发生器底面固定安装预留座，预留座上设置有与锲型块相适配的锲型卡槽。该发明专利技术具有能够对薄膜进行均匀全面进行辐射和激光发生器方便安装拆卸的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置
本专利技术涉及非晶硅薄膜的
，具体是一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置。
技术介绍
成本高、效率低是太阳能电池发展的瓶颈，薄膜太阳能电池在降低成本方面比晶体硅太阳能电池具有更大的优势：薄膜化可极大地节省昂贵的半导体材料；薄膜电池的材料制备和电池同时形成，可节省了许多工序。非晶硅薄膜太阳能电池便于实现大规模连续化生产，同时能采用不锈钢或玻璃等材料作基底，因而容易降低成本，并且可以做成叠成结构，提高效率，因此得到人们的普遍重视并迅速发展。激光技术是涉及光、机、电、材料及检测等多门学科的一门综合技术。目前激光技术的应用越来越广泛，其中，应用最大的领域为激光加工
激光加工技术是利用高能激光束与物质相互作用的特性对材料（包括金属与非金属）进行切割、焊接、标记、表面处理、打孔、微加工以及作为光源，识别物体的一门技术。中国专利申请号201320466068.X和公开号CN203415609U公开了一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置，包括激光系统、反应腔室、样品加热器、抽真空系统和进气系统，激光系统位于反应腔室的正上方，抽真空系统位于反应腔室的右下方，进气系统位于反应腔室侧方，样品加热器置于反应腔室下方中央。该专利利用激光对非晶硅薄膜进行磷或硼的掺杂，反应速度快，杂质激活率高，均匀性好，能制备光电性能较好的N型/P型非晶硅薄膜。但是，其存在着激光装置固定在加工机架上，出现加工局限的问题，不能均匀全面地对非晶硅薄膜进行辐射，和激光装置中的激光发生器属于精密仪器，通常用螺丝固定在机架上，因此在对激光发生器进行拆卸维修时，容易碰撞和损坏激光发生器，现在，我们提出了一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置。
技术实现思路
1、要解决的问题针对现有激光装置不能均匀全面地对非晶硅薄膜进行辐射和激光发生器不易进行拆卸安装的问题，本专利技术的目的在于提供一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。2、技术方案为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置，包括支架和激光发生器，所述支架左侧外壁上通过三角架固定安装电机，所述电机输出端连接转轴，所述转轴固定连接主动半齿轮，所述主动半齿轮啮合连接从动齿轮，所述从动齿轮固定连接螺纹杆，所述螺纹杆另一端延伸至支架右侧内壁上，且通过轴承与支架转动连接，所述螺纹杆螺纹连接套管，所述套管沿着螺纹杆对称设置，所述套管底端铰接连接第一连杆，所述第一连杆另一端铰接连接第一固定块，所述第一固定块固定安装在第一固定杆上，所述套管上端铰接连接第二连杆，所述第二连杆另一端铰接连接第二固定块，所述第二固定块固定安装在第二固定杆上，所述第一连杆、第二连杆、第一固定块和第二固定块沿着支架对称设置，所述第一固定杆和第二固定杆分别与支架内壁滑动连接，所述第二固定杆位于第一固定杆上方。作为本专利技术进一步的方案：所述第一固定杆和第二固定杆上分别对称设置有四个安装块，所述安装块分别与第一固定杆和第二固定杆滑动连接，所述第一固定杆和第二固定杆分别固定安装双轴液压缸，所述双轴液压缸输出端连接液压柱一，所述液压柱一固定连接安装块。作为本专利技术再进一步的方案：所述安装块固定连接直杆，所述直杆另一端固定连接连接块，所述连接块通过连接轴固定连接安装座，所述安装座上表面固定连接安装板，所述安装板上设置有激光发生器。作为本专利技术再进一步的方案：所述安装板内设置有第一空腔，且上端设置有开口，所述第一空腔内固定安装液压缸，所述液压缸输出端连接液压柱，所述液压柱顶端固定连接第一移动块，所述第一移动块设置有卡槽，所述第一移动块内设置有第二空腔。作为本专利技术再进一步的方案：所述第二空腔内设置有第二移动块，所述第二移动块对称安装滑块，所述滑块滑动连接滑杆，所述滑杆对称固定安装在第二空腔内，所述第二移动块固定连接弹簧，所述弹簧与第二空腔内壁固定连接。作为本专利技术再进一步的方案：所述第二移动块内设置有第三空腔，所述第三空腔内固定安装电动伸缩杆，所述电动伸缩杆另一端固定连接滑板，所述滑板与第二移动块滑动连接。作为本专利技术再进一步的方案：所述滑板上固定安装锲型块，所述锲型块贯穿第二移动块，且与第二移动块滑动连接。作为本专利技术再进一步的方案：所述激光发生器底面固定安装预留座，所述预留座与卡槽相适配，所述预留座上设置有与锲型块相适配的锲型卡槽。3、有益效果与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：（1）本专利技术通过开启电机正反转动，带动主动半齿轮转动，通过啮合作用带动从动齿轮间隙式转动，从动齿轮带动螺纹杆转动，螺纹杆带动套管左右移动，套管通过第一连杆和第二连杆分别带动第一固定杆和第二固定杆沿着支架内壁上下移动，同时，开启双轴液压缸，带动安装块分别沿着第一固定杆和第二固定杆左右移动，所述安装块通过直杆、连接块、连接轴和安装座左右移动，安装座带动激光发生器左右移动，通过激光发生器左右移动配合着螺纹杆间歇式转动，进而可以达到对非晶硅薄膜表面均匀全面的辐射；（2）本专利技术控制液压缸带动液压柱伸长，液压柱带动第一移动块向上移动至第一空腔的顶部，然后将激光发生器上的预留座插入到卡槽内，在开启电动伸缩杆伸长，带动滑板沿着第三空腔内移动，滑板带动锲型块插入到预留座上的锲型卡槽内，此时，弹簧处于压缩状态，使得锲型块与锲型卡槽更加牢固地进行抵接，最后，通过液压缸带动液压柱收缩，带动第一移动块移动至第一空腔的底部，便可完成激光发生器的安装工作，同理，也就可以完成激光发生器的拆卸工作，进而提高自动化程度，方便对激光发生器进行安装和拆卸，解决了激光发生器出现故障时，不易进行拆卸检修的问题。附图说明图1为一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置的结构示意图。图2为一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置中正视图。图3为一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置中安装板的结构示意图。图4为一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置中激光发生器与预留座连接关系的结构示意图。图中：1、支架；2、螺纹杆；3、套管；4、第一连杆；5、第二连杆；6、第一固定块；7、第二固定块；8、第一固定杆；9、第二固定杆；10、安装块；11、直杆；12、连接块；13、连接轴；14、安装座；15、安装板；16、激光发生器；17、双轴液压缸；18、从动齿轮；19、主动半齿轮；20、电机；21、液压缸；22、液压柱；23、第一移动块；24、第一空腔；25、第二空腔；26、弹簧；27、滑杆；28、滑块；29、第二移动块；30、第三空腔；31、电动伸缩杆；32、滑板；33、锲型块；34、锲型卡槽；35、预留座。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1～4，本专利技术实施例中，一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置，包括支架1和激光发生器16，所述支架1左侧外壁上通过三角架固定安装电机20，所述电机20输出端连接转轴，所述转轴固定连接主动半齿轮19，所述主动半齿轮19啮合连接从动齿轮18，所述从动齿轮18固定连接螺纹杆2，所述螺纹杆2另一端延伸至支架1右侧内壁上，且通过轴承与支本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置，包括支架（1）和激光发生器（16），其特征在于，所述支架（1）左侧外壁上通过三角架固定安装电机（20），所述电机（20）输出端连接转轴，所述转轴固定连接主动半齿轮（19），所述主动半齿轮（19）啮合连接从动齿轮（18），所述从动齿轮（18）固定连接螺纹杆（2），所述螺纹杆（2）另一端延伸至支架（1）右侧内壁上，且通过轴承与支架（1）转动连接，所述螺纹杆（2）螺纹连接套管（3），所述套管（3）沿着螺纹杆（2）对称设置，所述套管（3）底端铰接连接第一连杆（4），所述第一连杆（4）另一端铰接连接第一固定块（6），所述第一固定块（6）固定安装在第一固定杆（8）上，所述套管（3）上端铰接连接第二连杆（5），所述第二连杆（5）另一端铰接连接第二固定块（7），所述第二固定块（7）固定安装在第二固定杆（9）上，所述第一连杆（4）、第二连杆（5）、第一固定块（6）和第二固定块（7）沿着支架（1）对称设置，所述第一固定杆（8）和第二固定杆（9）分别与支架（1）内壁滑动连接，所述第二固定杆（9）位于第一固定杆（8）上方。

【技术特征摘要】
1.一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置，包括支架（1）和激光发生器（16），其特征在于，所述支架（1）左侧外壁上通过三角架固定安装电机（20），所述电机（20）输出端连接转轴，所述转轴固定连接主动半齿轮（19），所述主动半齿轮（19）啮合连接从动齿轮（18），所述从动齿轮（18）固定连接螺纹杆（2），所述螺纹杆（2）另一端延伸至支架（1）右侧内壁上，且通过轴承与支架（1）转动连接，所述螺纹杆（2）螺纹连接套管（3），所述套管（3）沿着螺纹杆（2）对称设置，所述套管（3）底端铰接连接第一连杆（4），所述第一连杆（4）另一端铰接连接第一固定块（6），所述第一固定块（6）固定安装在第一固定杆（8）上，所述套管（3）上端铰接连接第二连杆（5），所述第二连杆（5）另一端铰接连接第二固定块（7），所述第二固定块（7）固定安装在第二固定杆（9）上，所述第一连杆（4）、第二连杆（5）、第一固定块（6）和第二固定块（7）沿着支架（1）对称设置，所述第一固定杆（8）和第二固定杆（9）分别与支架（1）内壁滑动连接，所述第二固定杆（9）位于第一固定杆（8）上方。2.根据权利要求1所述的一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置，其特征在于，所述第一固定杆（8）和第二固定杆（9）上分别对称设置有四个安装块（10），所述安装块（10）分别与第一固定杆（8）和第二固定杆（9）滑动连接，所述第一固定杆（8）和第二固定杆（9）分别固定安装双轴液压缸（17），所述双轴液压缸（17）输出端连接液压柱一，所述液压柱一固定连接安装块（10）。3.根据权利要求1所述的一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置，其特征在于，所述安装块（10）固定连接直杆（11），所述直杆（11）另一端固定连接连接块（12），所述连接块（12）通过连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：何武岗，代恒，刘文仓，
申请(专利权)人：中山市睿普自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44